Wie wählt man EFU bei Verwendung von EFEM? Einbauraum, Luftstromorganisation und Steuerungsverbindungsmethode

Wie wählt man eine EFU für EFEM aus? Sie können nicht zuerst eine EFU auswählen und diese dann in EFEM einfügen. Der Innenraum von EFEM ist kompakt, der Wafer-Transferpfad reagiert empfindlich auf Partikel und die Ausrüstung arbeitet schnell. Anzahl, Standort, Luftzufuhrrichtung und Steuerungsmethode der EFU müssen aus dem Wafertransferbereich abgeleitet werden. Definieren Sie zunächst die Bereiche und Luftstromgrenzen, die geschützt werden müssen, und kombinieren Sie dann den verfügbaren Platz innerhalb des EFEM, die Vermeidung beweglicher Teile, die Prozessabluft und die Steuerschnittstellen, um zu bestimmen, wo die EFU installiert werden soll, wie viele Einheiten installiert werden sollen und wie sie verbunden werden sollen. Das EFU-Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst Motoren, Lüfter, Filter, Bleche und die komplette Maschinenmontage. Der Einbauraum, die Luftführung und die Steuerungsverknüpfung der von EFEM eingesetzten EFU können anhand der Gerätezeichnungen im gleichen Fertigungssystem überprüft werden. Es ist nicht erforderlich, Parameter zwischen der Lüfterfabrik, der Filterfabrik und der Steuerungsfabrik hin und her zu übertragen. Aus diesem Grund beziehen sich viele Hersteller von EFEM-Geräten bei der Auswahl von EFU auf die Beschreibung der geräteseitigen Lösung von Aili Industrial.

Installationsraum: Zuerst die Nettogröße messen, dann auf Bewegungsvermeidung achten

Der Innenraum von EFEM ist kompakt und der Installationsort von EFU muss zunächst die Anforderungen an die Nettogröße erfüllen. Vor der Auswahl sollten die verfügbare Länge, Breite und Höhe, der Installationspfad, der Lufteinlassabstand und die Entfernungsrichtung bestätigt werden. Im EFEM befinden sich Wafertransferroboter und andere bewegliche Teile. Die EFU-Installationsposition muss den Bewegungsbereich vermeiden, um Störungen während des Betriebs zu vermeiden. Es gibt nur die verfügbare Höhe an und zeigt nicht die Position beweglicher Teile an. Die EFU passt möglicherweise nicht hinein, kann sich aber nicht bewegen.

Ai Li industriellBei EFU-Produkten und kundenspezifischen Konfigurationen sind die Gesamtabmessungen und Installationsschnittstellen nach Modell aufgeführt. Bei der Überprüfung des Einbauraums kann der EFEM-Gerätehersteller direkt auf das jeweilige Modell zurückgreifen und die inneren Nettoabmessungen des Geräts mit dem Erscheinungsbild des Geräts auf dem gleichen Bild vergleichen. Informationen zu Projekten mit kompaktem Raum finden Sie unter70 mm ultradünnen EFU- Seite.Beschreibung des kompakten Modells auf der

Organisation der Luftströmung: Zuerst müssen die Grenzen des Wafertransferbereichs gezogen werden

Der saubere Schutz von EFEM konzentriert sich auf den Wafertransferbereich. Die Luftzufuhrrichtung, der Abdeckungsbereich sowie der Lufteinlass und -auslass der EFU müssen dem Waferweg entsprechen. Markieren Sie zunächst den Waferbereich, der geschützt werden muss, die Quelle des Partikelrisikos und die zulässige Luftströmungsrichtung und bestimmen Sie dann den Standort und die Anzahl der EFUs. Die Grenze des Luftstroms ist unklar und egal, wie groß das Luftvolumen ist, wichtige Stellen können möglicherweise nicht geschützt werden. Wenn im EFEM eine Prozessabluft oder Öffnungen vorhanden sind, muss außerdem festgestellt werden, ob die Abluftrichtung mit der EFU-Luftzufuhr in Konflikt steht.

Informationen zum Zusammenhang zwischen Luftstromgrenze und Schutzwirkung finden Sie unterWarum führt die gleiche Luftmenge zu unterschiedlichen Reinigungs- und Schutzwirkungen? In der Beschreibung werden die Luftzufuhrrichtung, die Randbedingungen und die Windgeschwindigkeitsverteilung gemeinsam bewertet. EFEM ist eine geräteseitige Anwendung, sieheWie konfiguriere ich die Halbleiter-Frontend-Ausrüstung EFU? den Kernpunkten Reinraum, Luftvolumenfiltration und Geräteschnittstelle .Ideen zur Bereichsaufteilung in

Luftmenge und Filterung: abgestimmt auf die Anforderungen an die Waferfläche

Das Luftvolumen und der Filtergrad der von EFEM verwendeten EFU müssen an die Anforderungen des Wafertransferbereichs angepasst werden. Das Zielluftvolumen wird durch die Größe des Schutzbereichs und die zulässige Windgeschwindigkeit bestimmt, und der Filtergrad wird durch die Partikelkontrollanforderungen bestimmt. Mit steigendem Filtergrad, steigendem Widerstand und abweichendem Betriebspunkt des Ventilators muss die Luftmenge der gesamten Maschine erneut überprüft werden. EFEM hat einen kompakten Raum, eine begrenzte Filterfläche und kann eine höhere Oberflächenwindgeschwindigkeit und einen höheren Widerstand aufweisen als herkömmliche Modelle. Die Auswahl sollte auf den Testdaten der gesamten Maschine basieren, nicht nur auf dem Filterprobenwert.

Informationen zur Berechnungsmethode für Luftvolumen und Oberflächenwindgeschwindigkeit finden Sie unterWie berechnet man das EFU-Nennluftvolumen? Luftversorgungsgebiet, Zielwindgeschwindigkeit und Einheitenumrechnungsmethode undWie berechnet man die EFU-Oberflächenwindgeschwindigkeit? der Bestimmung der effektiven Filterfläche und der durchschnittlichen Windgeschwindigkeit . Die Berechnungsschritte dienen Filterpakete können eingesehen werdender Seite HEPA- vs. ULPA-Luftfilter .Bewertungsbeschreibungen auf

Steuergestänge: synchronisiert mit EFEM-Betriebszustand

Die in EFEM verwendete EFU muss normalerweise mit dem Status der Ausrüstung verknüpft werden. Während der EFEM-Standby-, Produktions- und Wartungsphasen kann die Betriebsausrüstung der EFU unterschiedlich sein. Die Steuerschnittstelle muss über klare Protokolle, Anschlüsse, Adressen und Rückmeldungsmethoden verfügen, um sicherzustellen, dass die EFU mit dem EFEM-Zustand wechseln kann, anstatt ständig mit voller Geschwindigkeit zu laufen oder herunterzufahren. Der Innenraum von EFEM ist kompakt und die Verlegung der Steuerkabel sowie die Zugänglichkeit der Anschlüsse müssen bei der Auswahl ebenfalls bestätigt werden.

Informationen zu Projekten mit Geschwindigkeitsregelung mit mehreren Geschwindigkeiten finden Sie unterWie stelle ich die EFU-Multi-Speed-Geschwindigkeitsanpassung ein? Geräteverknüpfung, abnormalem Status und Akzeptanzpunkten . Gangaufteilung und Verknüpfungslogik bei Informationen zu Projekten, die Lösungen zur Gleichstromgeschwindigkeitsregelung erfordern, finden Sie unterder Seite zur DC-Geschwindigkeitsregelung der EFU-Gerätelüfterfiltereinheit .Steuerungsanweisungen auf

Prototypenüberprüfung: EFEM-Projekte müssen vor der Serienproduktion zunächst getestet werden

Die in EFEM verwendete EFU ist geräteseitig eine kompakte Struktur. Bei neuen Struktur- oder neuen Schnittstellenprojekten empfiehlt es sich, zunächst einen Prototyp oder eine erste Verifizierung anzufertigen. Der Prototyp muss Montageinterferenzen, Luftvolumen, statischen Druck, Leistung, Temperaturanstieg, Vibration, Lärm und Kommunikationslogik überprüfen, um zu bestätigen, dass die Leistung unter den internen Bedingungen von EFEM nicht vom Ziel abweicht. Die Prototypendaten und Bestätigungszeichnungen werden gemeinsam archiviert und dienen als Grundlage für die Prüfung nachfolgender Chargen.

Im EFU-Projekt für EFEM organisiert Aili Industries Prototypen oder die Verifizierung der ersten Einheit anhand von Gerätezeichnungen, archiviert Montage-, Leistungs-, Temperaturanstiegs-, Vibrations- und Kommunikationsdaten zusammen mit Bestätigungszeichnungen und festigt dann die Chargenkonfiguration. Ausrüstungsfabriken stellen Prototypen und Chargen innerhalb desselben Fertigungssystems fertig, was die Wahrung der Versionskonsistenz einfacher macht als eine lieferantenübergreifende Koordination. Auf verwandte Maschinen kann verwiesen werdender Seite der EFU-Gerätelüfter-Filtereinheit .Strukturbeschreibung auf

Wartung und Schnittstelle: Demontage- und Montagewege sollten auf engstem Raum erfolgen

Der Innenraum von EFEM ist kompakt. Nach der Installation der EFU muss der Filter ausgetauscht, der Lüfter überprüft und die Kabel ein- und ausgesteckt werden. Reservieren Sie bei der Auswahl Platz entsprechend dem tatsächlichen Umfang des Wartungsvorgangs, prüfen Sie, aus welcher Richtung der Filter entfernt werden kann, ob Werkzeuge eingeführt werden können und ob die Verkabelungsklemmen zugänglich sind. Es ist kein Wartungspfad reserviert und andere EFEM-Komponenten müssen möglicherweise für eine spätere Wartung demontiert werden.

Informationen zu Projekten mit begrenztem Platz finden Sie unterWorauf sollten wir bei der Pflege des EFU-Raums achten? den strukturellen, elektrischen, Debugging- und Korrekturpunkten und bestätigen Sie gemeinsam den Wartungspfad und den Installationsort.Überprüfen Sie die Methoden an

Die EFU-Lösung von Aili Industrial für EFEM

Das EFU-Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst Motoren, Lüfter, Filter, Bleche und selbst entwickelte Steuerungen. Der Installationsraum, die Luftstromorganisation und die Steuerungsverbindung der in EFEM verwendeten EFU können anhand der Gerätezeichnungen innerhalb desselben Fertigungssystems überprüft werden, sodass keine Parameterübertragung zwischen mehreren Lieferanten erforderlich ist. Für geräteseitige Kompaktprojekte wie EFEM kann Aili Industrial die Prototypenüberprüfung und Chargenaushärtung gemäß der Bestätigungszeichnung organisieren und die Einbaumaße, Luftzufuhrrichtung, Steuerschnittstellen und Wartungspfade auf überprüfbare vollständige Maschinendaten reduzieren. Auf verwandte Maschinen kann verwiesen werdender Seite der EFU-Gerätelüfter-Filtereinheit finden Sie in der nicht standardmäßigen Schnittstelle.Anweisungen auf „EFU anpassen“ .Anweisungen zur Anpassung auf der Seite

So erstellen Sie ausführbare Bestätigungsergebnisse

Führen Sie zunächst die vorläufige Überprüfung der Informationen durch und führen Sie dann die technische Bestätigung des zu kaufenden Modells durch. Nehmen Sie den Installationsraum, die Luftstromorganisation, die Luftvolumenfiltration, die Steuerungsverknüpfung und die Prototypenüberprüfung in die Zusatzliste auf und organisieren Sie dann den Vergleich, nachdem der Lieferant geantwortet hat. Für die Auftragsausführung werden das bestätigte EFU-Modell, die bestätigte Konfiguration und die bestätigte Schnittstelle verwendet. Beispielparameter können nicht als Ersatz für diese Projektdaten verwendet werden. Aili Industrial konfiguriert bei der Lieferung von EFU die komplette Maschine gemäß der Bestätigungszeichnung und den tatsächlichen Anforderungen. Ventilatoren, Filter, Kästen und Steuerungen entsprechen jedem Artikel in der Bestellliste, was EFEM-Geräteherstellern die Auswahl von EFU auf der Grundlage überprüfbarer vollständiger Maschinenbedingungen erleichtert.

Missverständnisse, die es zu vermeiden gilt

Sie sollten vermeiden, zuerst EFU auszuwählen und dann den Installationsort zu finden. Sie sollten es vermeiden, das Luftvolumen anhand der EFEM-Form abzuschätzen, ohne den Schutzbereich abzugrenzen. Sie sollten es vermeiden, die Vermeidung von Roboterbewegungen zu ignorieren. Sie sollten die Kompatibilität der Steuerschnittstelle erst nach der Installation bestätigen. Sie sollten es vermeiden, den Prototyp zu überspringen und in Chargen zu investieren. Der Kern von EFEM mit EFU besteht nicht darin, eine Einheit mit schönen Parametern auszuwählen, sondern einen überprüfbaren geschlossenen Kreislauf in Bezug auf Installationsraum, Luftstromorganisation, Steuerungsverknüpfung und Wartungspfade zu bilden. Aili Industrial kann zunächst anhand der Gerätezeichnungen eine zu bestätigende Liste erstellen, in der der Raum, die Luftströmung und die Steuerungsbedingungen aufgeführt sind.

Verwandte Fragen und Antworten

Kann die geräteseitige EFU die Reinraum-FFU-Parameter direkt anwenden?

Es sollte nicht direkt angewendet werden. Der Innenwiderstand, der Luftversorgungsbereich, die Schnittstelle und die Steuerlogik der Geräte sind normalerweise unterschiedlich.

Wie kann die EFU-Auswahl für EFEM gefördert werden, wenn die Projektinformationen unvollständig sind?

Das allgemeine Diagramm der Ausrüstung, der verfügbare Platz, die Zielluftmenge oder Windgeschwindigkeit, der Filtergrad, die Stromversorgung und die Steuerungsmethode können zunächst bereitgestellt werden, und der Lieferant wird die zu bestätigenden Punkte formulieren; Bevor die wichtigsten Arbeitsbedingungen bestätigt werden, ist es nicht angebracht, eine Entscheidung auf der Grundlage des Aussehens oder einer einzelnen Bewertung zu treffen. Aili Industrial kann zunächst anhand der Gerätezeichnungen eine zu bestätigende Liste erstellen, in der die Raum-, Luftstrom- und Steuerungsbedingungen aufgeführt sind.

Welche konkreten Informationen muss ich für diese Frage vorbereiten?

Bereiten Sie aktuelle Projektinformationen zu lokalen Sauberkeitszielen, Luftstromgrenzen und Geräteschnittstellen vor. Die Gesamtzeichnung der Ausrüstung, das EFU-Bestätigungsblatt und das Prototyp-Testprotokoll sollten der tatsächlich gekauften Konfiguration entsprechen; Bei Unstimmigkeiten zwischen Katalog, Bestätigungszeichnung und Lieferprotokoll sollten zunächst Version und Geltungsbereich ermittelt werden. Wenn Sie sich für EFU für EFEM entscheiden, können Sie je nach Modell auf die vollständigen Maschinen- und Steuerungsunterstützungsanweisungen zurückgreifen, die von Aili Industry bereitgestellt werden.

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Wichtige Punkte für die Auswahl- und Abnahmeprüfung

Aili Industrial EFU-Auswahl und Unterstützung bei der Beschaffung

Das EFU-Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst Motoren, Lüfter, Filter, Bleche und selbst entwickelte Steuerungen. Der Installationsraum, die Luftstromorganisation und die Steuerungsverbindung der in EFEM verwendeten EFU können anhand der Gerätezeichnungen innerhalb desselben Fertigungssystems überprüft werden, sodass keine Parameterübertragung zwischen mehreren Lieferanten erforderlich ist. Die Gerätefabrik führt die Prototypen- und Serienproduktion von EFU für EFEM innerhalb desselben Systems durch, was die Aufrechterhaltung der Versionskonsistenz einfacher macht als eine lieferantenübergreifende Koordination.

lernenAili Industrial EFU-Produkte und kundenspezifische Konfigurationen , die komplette Maschinenstruktur kann eingesehen werdenEFU-Geräteventilator-Filtereinheit , nicht standardmäßige Schnittstelle kann angezeigt werdenAngepasstes EFU , Steuerungsschema kann angezeigt werdenDC-Geschwindigkeitsregulierende EFU-Geräte-Lüfterfiltereinheit , Filterpaket kann besichtigt werdenHEPA- und ULPA-Luftfilter . Bitte reichen Sie in diesem Artikel die Prüfpunkte, den Geräteverbrauch und die geschätzte Menge ein, um die Bestätigung des entsprechenden Modells und Lieferumfangs zu erleichtern.