Chức năng của EFU phía thiết bị là gì? Vị trí và ranh giới sử dụng cấp khí sạch phía thiết bị

Chức năng của EFU phía thiết bị là gì? Bạn không thể chỉ trả lời 'gửi không khí sạch'. Chức năng của EFU phía thiết bị là hình thành nguồn cung cấp không khí sạch cục bộ bên trong hoặc bên cạnh thiết bị, cung cấp không khí đã lọc đến các khu vực quan trọng và giảm ô nhiễm hạt của các bộ phận nhạy cảm như tấm bán dẫn, bộ phận quang học và vị trí lắp đặt. Phạm vi hoạt động của nó là một khu vực cục bộ bên trong thiết bị chứ không phải toàn bộ phòng sạch. Để hiểu vai trò của EFU phía thiết bị, bạn cũng phải xem xét vị trí của nó trong đường dẫn khí, ranh giới bộ lọc ở đâu, mức tăng tốc mà quạt cung cấp, cách giao diện thiết bị hợp tác và những vấn đề nào không nằm trong phạm vi của EFU. Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Có thể kiểm tra thành phần máy hoàn chỉnh, cấu hình lọc và giao diện điều khiển của EFU phía thiết bị theo bản vẽ thiết bị trong cùng hệ thống sản xuất. Đây là lý do tại sao nhiều nhà sản xuất thiết bị sẽ tham khảo mô tả sản phẩm Aili Industrial khi hiểu các chức năng của EFU cũng như việc lập kế hoạch và lựa chọn phía thiết bị.

Vị trí trong đường dẫn khí: từ không khí nạp đến không khí cung cấp

EFU phía thiết bị chịu trách nhiệm về phần 'hút-lọc-điều áp-gửi' trong đường dẫn khí. Không khí đi vào đầu vào không khí EFU từ bên trong hoặc bên ngoài thiết bị, được lọc bằng bộ lọc, được điều áp bởi quạt, sau đó được đưa từ cửa thoát khí đến khu vực quan trọng của thiết bị. Vị trí của nó trong đường dẫn khí xác định phần nào nó chịu trách nhiệm và phần nào không chịu trách nhiệm. Đường dẫn khí hồi lưu, quá trình xả khí thải và tổ chức luồng không khí tổng thể bên trong thiết bị thường được điều phối bởi nhà thiết kế thiết bị và không phải là trách nhiệm duy nhất của EFU.

Về cấu tạo và nguyên lý làm việc của EFU trong toàn bộ máy vui lòng tham khảoEFU là gì? Cấu trúc, chức năng, nguyên lý làm việc và mô tả thiết bị áp dụng được giải thích trong phần mô tả và chức năng của EFU phía thiết bị được hiểu trong đường dẫn khí của toàn bộ máy.

Ranh giới bộ lọc: nó được lọc ở mức độ nào, được xác định theo cấp độ và độ kín

Hiệu quả lọc của EFU ở phía thiết bị phụ thuộc vào cấp độ bộ lọc và trạng thái bịt kín. Cấp bộ lọc xác định mức độ có thể lọc ra các hạt lớn và trạng thái bịt kín xác định xem có đường vòng cho không khí chưa được lọc hay không. Nếu lớp được chọn cao nhưng không có lớp đệm kín thì hiệu quả bảo vệ thực tế vẫn sẽ bị giảm. Ranh giới lọc của EFU ở đầu thiết bị là đường dẫn sau bề mặt đầu ra của bộ lọc và trước khi nó được đưa đến khu vực quan trọng. Trạng thái bịt kín và sạch sẽ trên đường dẫn cũng ảnh hưởng đến hiệu quả cuối cùng.

công nghiệp Ái LýCác trang về bộ lọc không khí HEPA và ULPA liệt kê các hướng dẫn cấu hình bộ lọc theo cấp độ. Khi xác nhận ranh giới lọc, nhà sản xuất thiết bị có thể tương ứng trực tiếp với mô hình và kiểm tra mức độ bộ lọc, phương pháp bịt kín và các điều kiện phát hiện rò rỉ cùng nhau. Về phương pháp lựa chọn bộ lọc H13, vui lòng tham khảoLàm cách nào để chọn bộ lọc H13 cho EFU? hiệu suất, độ bền, độ kín và phương pháp khớp máy tổng thể .Kiểm tra các điểm về

Fan boost: cung cấp năng lượng cấp khí nhưng không bằng điều khiển áp suất hệ thống

Quạt EFU ở đầu thiết bị có nhiệm vụ cung cấp năng lượng cấp khí, khắc phục lực cản của bộ lọc và lực cản ống dẫn khí bên trong của thiết bị, đồng thời đưa không khí sạch đến các khu vực quan trọng. Việc tăng cường quạt giải quyết được vấn đề cản trở ở phần cấp khí EFU và không bằng khả năng điều khiển áp suất chung của thiết bị. Việc cân bằng áp suất bên trong thiết bị, mối quan hệ giữa khí thải quá trình và không khí bổ sung vẫn cần được người thiết kế thiết bị phối hợp. Việc quy vấn đề áp suất chung của thiết bị cho quạt EFU thường không giải quyết được vấn đề cơ bản.

Về mối quan hệ giữa điểm làm việc của quạt và sự phù hợp của toàn bộ máy, vui lòng tham khảoLàm thế nào để chọn quạt ly tâm EFU? điểm làm việc, công suất, mức tăng nhiệt độ và các yêu cầu vận hành liên tục là để xác nhận hiệu ứng điều áp của EFU ở đầu thiết bị trong điều kiện điện trở của toàn bộ máy.Phương pháp xác minh

Giao diện thiết bị: Hợp tác với cấu trúc, điều khiển và bảo trì thiết bị

EFU phía thiết bị có thể đóng vai trò hay không tùy thuộc vào giao diện thiết bị. Vị trí lắp đặt xác định khoảng hở đầu vào và đầu ra không khí, giao diện điều khiển xác định xem nó có thể được liên kết với thiết bị hay không và đường dẫn bảo trì xác định xem có thể duy trì trạng thái vận hành lâu dài hay không. Nếu các giao diện không khớp thì hiệu suất của EFU đã đạt tiêu chuẩn và nó có thể không hoạt động tốt khi được cài đặt trên thiết bị. Vai trò của EFU phía thiết bị không được thực hiện một cách biệt lập mà được thực hiện cùng với cấu trúc thiết bị, logic điều khiển và các phương pháp bảo trì.

công nghiệp Ái LýCác sản phẩm EFU và cấu hình tùy chỉnh liệt kê các giao diện cài đặt và hướng dẫn hỗ trợ điều khiển theo kiểu máy. Các nhà sản xuất thiết bị có thể tương ứng trực tiếp với các kiểu máy cụ thể khi lập kế hoạch EFU phía thiết bị và đặt vị trí lắp đặt, giao diện điều khiển và đường dẫn bảo trì trên cùng một sơ đồ xác nhận.

Ranh giới sử dụng: Những vấn đề nào không nằm trong phạm vi của EFU

Hiểu vai trò của EFU phía thiết bị, đồng thời hiểu những vấn đề nào không nằm trong phạm vi của nó. Mức độ sạch tổng thể của thiết bị, các chất ô nhiễm bị loại bỏ bởi khí thải của quá trình, môi trường bên ngoài của thiết bị và các hạt do hoạt động của nhân viên mang lại không thể được giải quyết bằng một EFU duy nhất. EFU chịu trách nhiệm cung cấp không khí sạch cho các khu vực cục bộ bên trong thiết bị. Mục tiêu tổng thể về độ sạch của thiết bị đòi hỏi sự hợp tác của nhà thiết kế thiết bị, bên xử lý và nhà cung cấp EFU. Chỉ bằng cách vạch ra ranh giới rõ ràng mới có cơ sở hợp lý để lựa chọn và chấp nhận.

Để biết mối quan hệ giữa ranh giới luồng không khí và hiệu quả bảo vệ, vui lòng tham khảoTại sao cùng một thể tích không khí lại tạo ra hiệu quả làm sạch và bảo vệ khác nhau? Trong phần mô tả, hãy xem xét phạm vi của EFU cùng với điều kiện luồng khí bên trong thiết bị.

Thiết bị áp dụng: Phạm vi hành động thay đổi theo bối cảnh thiết bị

Phạm vi của EFU phía thiết bị thay đổi theo kịch bản thiết bị. Thiết bị ngoại vi bán dẫn tập trung vào độ sạch cục bộ của đường dẫn wafer, EFEM tập trung vào việc bảo vệ khu vực truyền wafer, thiết bị in thạch bản tập trung vào độ sạch của đường dẫn quang và máy định vị SMT tập trung vào việc bảo vệ khu vực lắp đặt. Các thiết bị khác nhau có vị trí lắp đặt, thể tích không khí mục tiêu và phương pháp bảo trì khác nhau, đồng thời các chức năng của EFU cũng khác nhau. Khi lựa chọn, trước tiên hãy làm rõ tình huống thiết bị và khu vực bảo vệ, sau đó xác định số lượng, vị trí và thiết bị vận hành của EFU.

Để biết các phương pháp cấu hình EFU của các thiết bị khác nhau, vui lòng tham khảoLàm cách nào để định cấu hình EFU thiết bị đầu cuối bán dẫn? các điểm chính của khu vực sạch sẽ, lọc thể tích không khí và giao diện thiết bị .Ý tưởng phân chia khu vực và xác nhận giao diện ở

Giải pháp EFU phía thiết bị của Aili Industrial

Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Thành phần tổng thể, cấu hình lọc và giao diện điều khiển của EFU phía thiết bị có thể được kiểm tra theo bản vẽ thiết bị trong cùng một hệ thống sản xuất mà không cần truyền các thông số qua lại giữa nhà máy quạt, nhà máy lọc và nhà máy điều khiển. Đối với các dự án làm sạch một phần ở đầu thiết bị, Aili Industrial có thể tổ chức xác minh nguyên mẫu và xử lý hàng loạt theo bản vẽ xác nhận, đồng thời giảm diện tích hoạt động, ranh giới bộ lọc và giao diện điều khiển để có được dữ liệu máy hoàn chỉnh có thể xác minh được. Các máy liên quan có thể tham khảoCó thể xem trang bộ lọc quạt thiết bị EFU và sơ đồ điều chỉnh tốc độ DCmô tả cấu trúc trên trang bộ lọc quạt thiết bị EFU điều chỉnh tốc độ DC .Hướng dẫn điều khiển trên

Cách tạo kết quả xác nhận thực thi

Đầu tiên hãy hoàn thành việc sàng lọc thông tin sơ bộ, sau đó tiến hành xác nhận kỹ thuật trên mẫu máy sẽ mua. Thêm vùng hành động, ranh giới bộ lọc, tăng áp suất quạt, giao diện thiết bị và ranh giới sử dụng vào danh sách bổ sung, sau đó tổ chức so sánh sau khi nhà cung cấp phản hồi. Mô hình, cấu hình và giao diện EFU đã được xác nhận được sử dụng để thực hiện đơn hàng và không thể sử dụng các tham số mẫu để thay thế dữ liệu dự án này. Trong nguồn cung cấp EFU, Aili Industrial cấu hình máy hoàn chỉnh theo bản vẽ xác nhận và yêu cầu thực tế. Quạt, bộ lọc, hộp và bộ điều khiển tương ứng với từng hạng mục trong danh sách đặt hàng, điều này tạo điều kiện thuận lợi cho nhà sản xuất thiết bị đặt vai trò của EFU phía thiết bị đối với các điều kiện máy hoàn chỉnh có thể kiểm chứng được.

Những hiểu lầm cần tránh

Cần tránh đánh đồng EFU phía thiết bị với kế hoạch làm sạch tổng thể của thiết bị. Nên tránh quy vấn đề áp suất chung của thiết bị cho quạt EFU. Nên tránh chỉ xác nhận cấp bộ lọc mà không xác nhận trạng thái niêm phong. Nên tránh bỏ qua ảnh hưởng của vị trí lắp đặt đến phạm vi cung cấp không khí. Nên tránh đổ lỗi vấn đề ô nhiễm bên ngoài của thiết bị lên EFU. Vai trò của EFU phía thiết bị là cục bộ và có ranh giới. Chỉ bằng cách vạch ra ranh giới rõ ràng thì việc lựa chọn và chấp nhận mới có cơ sở. Trước tiên, Aili Industrial có thể lập danh sách cần xác nhận theo bản vẽ thiết bị và liệt kê các khu vực hoạt động, giao diện và điều kiện biên cùng nhau.

Câu hỏi và câu trả lời liên quan

EFU có tương đương với quạt cung cấp thông thường không?

KHÔNG. EFU cũng bao gồm các yêu cầu về lọc, niêm phong, cấu trúc và kiểm soát, cần được đánh giá theo điều kiện vận hành của toàn bộ máy.

Làm cách nào để thúc đẩy việc lựa chọn EFU phía thiết bị khi thông tin dự án chưa đầy đủ?

Sơ đồ chung của thiết bị, không gian sẵn có, thể tích không khí mục tiêu hoặc tốc độ gió, mức lọc, phương pháp điều khiển và cung cấp điện có thể được cung cấp trước và nhà cung cấp sẽ xây dựng các hạng mục cần được xác nhận; trước khi các điều kiện làm việc chính được xác nhận, việc hoàn thiện dựa trên hình thức bên ngoài hoặc một đánh giá duy nhất là không phù hợp. Trước tiên, Aili Industrial có thể lập danh sách cần xác nhận theo bản vẽ thiết bị, liệt kê các khu vực hoạt động, các giao diện và điều kiện biên cùng nhau.

Tôi cần chuẩn bị những thông tin cụ thể nào cho câu hỏi này?

Chuẩn bị thông tin dự án hiện tại xung quanh ranh giới chức năng, điều kiện vận hành định mức và giao diện thiết bị. Bản vẽ chung của thiết bị, bảng xác nhận EFU và hồ sơ kiểm tra máy hoàn chỉnh phải tương ứng với cấu hình thực tế đã mua; nếu danh mục, bản vẽ xác nhận và biên bản giao hàng không nhất quán thì trước tiên phải xác định rõ phiên bản và phạm vi áp dụng. Khi hiểu rõ vai trò của EFU ở phía thiết bị, bạn có thể tham khảo hướng dẫn hỗ trợ giao diện và máy hoàn chỉnh do Aili Industry cung cấp theo kiểu máy.

Bài viết liên quan

EFU là gì? Cấu tạo, chức năng, nguyên lý làm việc và mô tả thiết bị áp dụng

Sự khác biệt giữa EFU và FFU là gì? So sánh cấu trúc, hiệu suất, điều khiển và các kịch bản áp dụng

Chức năng của EFU phía thiết bị là gì? Vị trí và ranh giới sử dụng cấp khí sạch phía thiết bị

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Hỗ trợ lựa chọn và mua sắm EFU công nghiệp Aili

Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Thành phần tổng thể, cấu hình lọc và giao diện điều khiển của EFU phía thiết bị có thể được kiểm tra theo bản vẽ thiết bị trong cùng một hệ thống sản xuất, loại bỏ nhu cầu chuyển thông số giữa nhiều nhà cung cấp. Nhà máy sản xuất thiết bị hoàn thành việc khớp EFU phía thiết bị và máy hoàn chỉnh trong cùng một hệ thống, việc duy trì tính nhất quán của phiên bản sẽ dễ dàng hơn so với sự phối hợp giữa các nhà cung cấp.

học hỏiCác sản phẩm EFU công nghiệp của Aili và cấu hình tùy chỉnh , có thể xem cấu trúc máy hoàn chỉnhBộ lọc quạt thiết bị EFU , có thể xem sơ đồ điều khiểnbộ lọc quạt thiết bị EFU điều chỉnh tốc độ DC , gói bộ lọcCó thể xem Bộ lọc không khí HEPA và ULPA . Vui lòng gửi các hạng mục kiểm tra, cách sử dụng thiết bị và số lượng ước tính trong bài viết này để tạo điều kiện xác nhận mẫu mã và phạm vi cung cấp tương ứng.