Quelle est la fonction de l’EFU côté appareil ? Position et limites d'utilisation de l'alimentation en air propre côté équipement

Quelle est la fonction de l’EFU côté appareil ? Vous ne pouvez pas simplement répondre « envoyer de l’air pur ». La fonction de l'EFU côté équipement est de former une alimentation locale en air pur à l'intérieur ou sur le côté de l'équipement, de fournir de l'air filtré aux zones clés et de réduire la contamination par les particules des composants sensibles tels que les plaquettes, les composants optiques et les emplacements de montage. Son champ d’action s’étend à une zone locale à l’intérieur de l’équipement et non à l’ensemble de la salle blanche. Pour comprendre le rôle de l'EFU côté équipement, vous devez également examiner sa position dans le trajet de l'air, où se trouve la limite du filtre, la puissance fournie par le ventilateur, la manière dont l'interface de l'équipement coopère et quels problèmes ne relèvent pas de la portée de l'EFU. Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et l'assemblage complet de machines. La composition complète de la machine, la configuration du filtrage et l'interface de contrôle de l'EFU côté équipement peuvent être vérifiées selon les dessins de l'équipement dans le même système de fabrication. C'est pourquoi de nombreux fabricants d'équipements se référeront à la description du produit Aili Industrial pour comprendre les fonctions de l'EFU côté équipement, ainsi que la planification et la sélection.

Position dans le trajet de l'air : de l'air d'admission à l'air soufflé

L'EFU côté équipement est responsable de la section « aspiration-filtration-pressurisation-envoi » dans le trajet de l'air. L'air pénètre dans l'entrée d'air EFU depuis l'intérieur ou l'extérieur de l'équipement, est filtré par le filtre, est pressurisé par le ventilateur, puis envoyé de la sortie d'air vers la zone critique de l'équipement. Sa position dans le trajet aérien détermine de quelle section il est responsable et de quelle section il n'est pas responsable. Le chemin de retour d'air, l'évacuation du procédé et l'organisation globale du flux d'air à l'intérieur de l'équipement sont généralement coordonnés par le concepteur de l'équipement et ne relèvent pas de la seule responsabilité de l'EFU.

Concernant la composition et le principe de fonctionnement de l'EFU dans l'ensemble de la machine, veuillez vous référer àQu’est-ce que l’EFU ? La structure, la fonction, le principe de fonctionnement et la description de l'équipement applicable sont expliqués dans la description, et la fonction de l'EFU côté équipement est comprise dans le trajet d'air de l'ensemble de la machine.

Limite de filtration : dans quelle mesure elle est filtrée, déterminée par le niveau et l'étanchéité

L'effet de filtration de l'EFU côté équipement dépend de la qualité du filtre et de l'état d'étanchéité. La qualité du filtre détermine la manière dont les grosses particules peuvent être filtrées et l'état d'étanchéité détermine s'il existe une dérivation pour l'air non filtré. Si le niveau est sélectionné élevé mais que l'étanchéité n'est pas en place, l'effet de protection réel sera quand même réduit. La limite de filtration de l'EFU à l'extrémité de l'équipement est le chemin après la surface de sortie du filtre et avant son envoi vers la zone critique. L’état d’étanchéité et de propreté du chemin affecte également l’effet final.

Ai Li industrielLes pages des filtres à air HEPA et ULPA répertorient les instructions de configuration du filtre par niveau. Lors de la confirmation des limites de filtration, l'équipementier peut correspondre directement au modèle et vérifier ensemble le niveau du filtre, la méthode d'étanchéité et les conditions de détection des fuites. Concernant la méthode de sélection du filtre H13, veuillez vous référer àComment choisir le filtre H13 pour EFU ? l'efficacité, de la résistance, de l'étanchéité et des méthodes globales d'adaptation des machines .Points de contrôle de

Boost du ventilateur : fournit la puissance d'alimentation en air, mais n'est pas égale au contrôle de la pression du système

Le ventilateur EFU situé à l'extrémité de l'équipement est chargé de fournir l'alimentation en air, de surmonter la résistance du filtre et la résistance du conduit d'air interne de l'équipement et de fournir de l'air pur aux zones clés. L'augmentation du ventilateur résout le problème de résistance dans la section d'alimentation en air de l'EFU et n'est pas égale au contrôle global de la pression de l'équipement. L'équilibre de pression à l'intérieur de l'équipement, la relation entre les gaz d'échappement du procédé et l'air supplémentaire doivent encore être coordonnés par le concepteur de l'équipement. Attribuer le problème global de pression de l'équipement au ventilateur EFU ne parvient souvent pas à résoudre le problème fondamental.

Concernant la relation entre le point de fonctionnement du ventilateur et la correspondance de l'ensemble de la machine, veuillez vous référer àComment choisir le ventilateur centrifuge EFU ? exigences de point de fonctionnement, de puissance, d'augmentation de température et de fonctionnement continu consiste à confirmer l'effet de pressurisation de l'EFU à l'extrémité de l'équipement dans les conditions de résistance de l'ensemble de la machine.La méthode de vérification des

Interface de l'équipement : coopérer avec la structure, le contrôle et la maintenance de l'équipement

La capacité de l'EFU côté appareil de jouer son rôle dépend de l'interface de l'appareil. L'emplacement d'installation détermine le dégagement d'entrée d'air et la couverture de sortie, l'interface de contrôle détermine si elle peut être liée à l'équipement et le chemin de maintenance détermine si l'état de fonctionnement à long terme peut être maintenu. Si les interfaces ne correspondent pas, les performances de l'EFU lui-même sont conformes aux normes et il se peut qu'il ne fonctionne pas correctement une fois installé sur l'appareil. Le rôle de l'EFU côté appareil n'est pas joué de manière isolée, mais est réalisé en collaboration avec la structure de l'appareil, la logique de contrôle et les méthodes de maintenance.

Ai Li industrielLes produits EFU et les configurations personnalisées répertorient les interfaces d'installation et les instructions de contrôle par modèle. Les fabricants d'équipements peuvent correspondre directement à des modèles spécifiques lors de la planification de l'EFU côté équipement et placer l'emplacement d'installation, l'interface de contrôle et le chemin de maintenance sur le même schéma de confirmation.

Limites d'utilisation : quelles questions ne relèvent pas du champ d'application de l'EFU

Comprenez le rôle de l'EFU côté appareil et comprenez également quels problèmes ne relèvent pas de sa portée. Le niveau de propreté global de l'équipement, les polluants éliminés par les gaz d'échappement du procédé, l'environnement extérieur de l'équipement et les particules apportées par les opérations du personnel ne peuvent être résolus par une seule EFU. EFU est responsable de l’approvisionnement en air pur dans les zones locales à l’intérieur de l’équipement. L'objectif global de propreté de l'équipement nécessite la coopération du concepteur de l'équipement, du processus et du fournisseur d'EFU. Ce n’est qu’en fixant des limites claires qu’il sera possible d’établir une base raisonnable de sélection et d’acceptation.

Pour la relation entre la limite du flux d'air et l'effet de protection, veuillez vous référer àPourquoi le même volume d’air produit-il des effets de nettoyage et de protection différents ? Dans la description, tenez compte de la portée de l'EFU ainsi que des conditions de circulation d'air à l'intérieur de l'appareil.

Équipement applicable : le champ d'action change en fonction de la scène de l'équipement

La portée de l’EFU côté appareil change en fonction du scénario de l’appareil. L'équipement frontal des semi-conducteurs se concentre sur la propreté locale du chemin de la tranche, l'EFEM se concentre sur la protection de la zone de transmission de la tranche, l'équipement de lithographie se concentre sur la propreté du chemin optique et les machines de placement SMT se concentrent sur la protection de la zone de montage. Différents équipements ont des emplacements d'installation, des volumes d'air cibles et des méthodes de maintenance différents, et les fonctions EFU sont également différentes. Lors de la sélection, clarifiez d'abord le scénario de l'équipement et la zone de protection, puis déterminez le nombre, l'emplacement et l'équipement de fonctionnement de l'EFU.

Pour les méthodes de configuration EFU de différents appareils, veuillez vous référer àComment configurer l'équipement frontal semi-conducteur EFU ? les points clés des zones propres, de la filtration du volume d'air et des interfaces des équipements .Idées de division de zone et de confirmation d'interface dans

Solution EFU côté équipement d'Aili Industrial

Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et l'assemblage complet de machines. La composition globale, la configuration de la filtration et l'interface de contrôle de l'EFU côté équipement peuvent être vérifiées selon les dessins de l'équipement au sein du même système de fabrication, sans qu'il soit nécessaire de transmettre les paramètres entre l'usine de ventilateurs, l'usine de filtres et l'usine de contrôleurs. Pour les projets de nettoyage partiel au niveau de l'équipement, Aili Industrial peut organiser la vérification des prototypes et le durcissement des lots selon le dessin de confirmation, et réduire la zone d'action, les limites du filtre et l'interface de contrôle à des données complètes vérifiables de la machine. Les machines associées peuvent être référencéesde l'unité de filtre de ventilateur de l'équipement EFU et le schéma de régulation de la vitesse CC peuvent être consultésLa description de la structure sur la page la page de l'unité de filtre de ventilateur de l'équipement EFU de régulation de vitesse CC .Instructions de contrôle sur

Comment générer des résultats de confirmation exécutables

Effectuez d’abord la sélection préliminaire des informations, puis effectuez une confirmation technique sur le modèle à acheter. Ajoutez la zone d'action, la limite du filtre, l'augmentation de la pression du ventilateur, l'interface de l'équipement et la limite d'utilisation à la liste supplémentaire, puis organisez la comparaison après la réponse du fournisseur. Le modèle, la configuration et l'interface EFU confirmés sont utilisés pour l'exécution des commandes, et les exemples de paramètres ne peuvent pas être utilisés pour remplacer ces données de projet. Dans la fourniture EFU, Aili Industrial configure la machine complète selon le dessin de confirmation et les exigences réelles. Les ventilateurs, les filtres, les boîtiers et les commandes correspondent à chaque élément de la liste de commande, ce qui permet au fabricant de l'équipement de placer plus facilement le rôle de l'EFU côté équipement sur les conditions complètes vérifiables de la machine.

Des malentendus à éviter

Il convient d'éviter d'assimiler l'EFU côté équipement au plan de propreté global de l'équipement. Il convient d'éviter d'attribuer le problème global de pression de l'équipement au ventilateur de l'EFU. Il convient d'éviter de confirmer uniquement la qualité du filtre mais pas l'état d'étanchéité. Il convient d'éviter d'ignorer l'impact de la position d'installation sur la couverture d'alimentation en air. Il faut éviter d'imputer le problème de pollution externe de l'équipement à l'EFU. Le rôle de l’EFU côté équipement est local et a des limites. Ce n’est qu’en traçant clairement les limites que la sélection et l’acceptation pourront être fondées. Aili Industrial peut d'abord dresser une liste à confirmer en fonction des dessins d'équipement, répertoriant ensemble la zone d'action, les interfaces et les conditions aux limites.

Questions et réponses connexes

L'EFU est-il équivalent à un ventilateur d'alimentation ordinaire ?

Non. L'EFU comprend également des exigences en matière de filtration, d'étanchéité, de structure et de contrôle, qui doivent être évaluées en fonction des conditions de fonctionnement de l'ensemble de la machine.

Comment favoriser la sélection des EFU côté équipement lorsque les informations du projet sont incomplètes ?

Le schéma général de l'équipement, de l'espace disponible, du volume ou de la vitesse d'air cible, du niveau de filtration, de l'alimentation électrique et de la méthode de contrôle peuvent être fournis en premier, et le fournisseur formulera les éléments à confirmer ; avant que les conditions de travail clés ne soient confirmées, il n'est pas approprié de les finaliser sur la base de l'apparence ou d'une seule note. Aili Industrial peut d'abord dresser une liste à confirmer en fonction des dessins d'équipement, répertoriant ensemble la zone d'action, les interfaces et les conditions aux limites.

De quelles informations spécifiques ai-je besoin pour préparer cette question ?

Préparer les informations actuelles sur le projet concernant les limites fonctionnelles, les conditions de fonctionnement nominales et les interfaces des équipements. Le dessin général de l'équipement, la feuille de confirmation EFU et le dossier complet de test de la machine doivent correspondre à la configuration réelle achetée ; si le catalogue, le dessin de confirmation et le dossier de livraison sont incohérents, la version et le champ d'application doivent être vérifiés en premier. Pour comprendre le rôle de l'EFU côté appareil, vous pouvez vous référer aux instructions complètes de support de la machine et de l'interface fournies par Aili Industry par modèle.

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Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Aili Industrial EFU sélection et assistance à l’approvisionnement

Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et l'assemblage complet de machines. La composition globale, la configuration du filtrage et l'interface de contrôle de l'EFU côté équipement peuvent être vérifiées selon les dessins de l'équipement au sein du même système de fabrication, éliminant ainsi le besoin de transférer des paramètres entre plusieurs fournisseurs. L'usine d'équipement complète la mise en correspondance de l'EFU côté équipement et de la machine complète dans le même système, ce qui est plus facile à maintenir la cohérence des versions que la coordination entre fournisseurs.

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