ULPA フィルターと AMC フィルターを組み合わせるにはどうすればよいですか?設置順序とシステム抵抗

ULPA フィルターと AMC フィルターの組み合わせは、それぞれ粒子および対象ガス状汚染物質の制御を満たす必要があり、設置順序、物質の放出、総抵抗を合わせてチェックする必要があります。 ULPA 自体を汎用ガス除去装置として使用しないでください。粒子濾過とガス濾過は 2 つの異なるメカニズムです。 ULPA は粒子を解決し、AMC はガス状分子汚染を解決します。この 2 つは互いに置き換えることはできません。組み合わせ計画では、ガスろ過を粒子ろ過の前に配置するか後に配置するか、組み合わせた全抵抗ファンを押すことができるかどうか、および 2 つのフィルターの物質放出が相互に影響を与えるかどうかという 3 つの質問に答える必要があります。 Aili Industrial の製品ラインは両方をカバーしますHEPA/ULPAフィルターとケミカルフィルターを含むボックスケミカルフィルター、タイプVケミカルフィルターとFFU ケミカルフィルターと他の構造形態は、粒子とガスの両方のニーズに応じて同じシステム内で適合させることができます。

1. 汚染物質による選択: 粒子は ULPA に属し、ガスは AMC に属します。混合することはできません。

ガスの種類、濃度、湿度、プロセス要件を明確にします。 AMC 媒体は対象となる汚染物質をターゲットにする必要があり、ULPA は対応する粒子濾過を担当します。

半導体や精密製造のシナリオでは、粒子汚染と分子汚染が共存することがよくありますが、それらの制御対象と検出方法は異なります。 ULPAの効率指数は粒子径に基づいており、AMCフィルターの指数は対象ガスの種類と除去効率に基づいています。ガスの問題を粒子の問題として扱ったり、ULPA レベルを改善したりすることは役に立ちません。粒子の問題を化学フィルターに任せても、粒子濃度は改善されません。愛麗工業は統合計画における粒子制御目標とガス汚染目標を個別に確認した。HEPA/ULPAフィルターは微粒子に対応し、ケミカルフィルターは対象汚染物質に対応し、その性能や試験方法を別途記載しています。レベルとフィルタリング要件の関係は、次のとおりです。ISO清浄度レベルの比較。

2. 注文は特定のシステムと組み合わせる必要があります。すべての構造をカバーする注文はありません。

化学媒体によって侵入する可能性のある粒子、上流の保護、ファンの位置、メンテナンス方法を考慮すると、固定された順序ですべての構造をカバーすることは不可能です。

AMC フィルターを ULPA の前に置くか後ろに置くかは、システムとメンテナンス方法によって異なります。 ULPA の前に配置すると、化学媒体はガス状汚染物質から ULPA を保護できますが、化学媒体自体が粒子を生成する可能性があるため、下流で ULPA を遮断する必要があります。 ULPA の後に配置すると、化学媒体はクリーン側に直接面しますが、化学媒体から粒子が放出されるリスクが最終的な空気供給の品質に影響します。アイリ産業はFFUケミカルフィルターとボックス型ケミカルフィルタパッケージでは、ファンの位置、メンテナンス方法、パーティクル制御の要求に応じてフィルタの相対位置が決まります。異なる構造は、異なる設置順序に対応します。FFUファンフィルターユニットとEFU装置側ファンフィルタユニット組み合わせシナリオにより、内部スペースやメンテナンス経路に応じたシーケンス計画を確認できます。ケミカルフィルターの選定ポイントをご参照ください。HEPA FAQ と選択ガイド。

3. 組み合わせた性能を検証します。合計抵抗と 2 つの汚染物質を個別に確認します。

総圧力損失、空気流分布、および材料の洗浄要件を確認し、プロジェクトに従って粒子およびガス関連のテストを決定し、それぞれの結論を記録します。

ULPA と AMC を組み合わせた後の合計システム抵抗は、2 つにエア ダクトとその他のコンポーネントを加えた合計になります。 ULPAの抵抗値のみでファンを構成した場合、AMC追加後の風量が不足する場合があります。 Aili Industries では、ULPA と AMC のそれぞれの抵抗データを組み合わせプランに記載しています。FFU ファンフィルターユニットは、合計抵抗値の合計に基づいてファンの動作点を確認できます。FFU コンピュータ グループ制御システムは、組み合わせたシステムの実際の動作パラメータを記録します。性能検証の観点からは、粒子と気体は個別にテストする必要があり、一方の指標を使用して他方の指標を推測することはできません。組み合わせたシステムの検証方法については、こちらをご覧ください。ULPA超高性能フィルターFAQと選定ガイド。

4. AMC取付後、風量が低下した場合は動作点の再確認が必要です。

AMC取付後、風量が低下した場合は動作点を再確認してください。フィルターをインストールするだけで元の速度設定を使用し続けることはお勧めできません。 AMC フィルターの抵抗はシステムの総抵抗に重畳され、同じ速度でのファンの動作点は風量が小さい方向に移動します。

アイリ産業は非標準の ULPA フィルタ組み合わせスキームでは、元のファン曲線と組み合わせた全抵抗を組み合わせて動作点を評価し、必要に応じてテストに合格できます。FFUファンフィルターユニットの速度調整機能により風量を補います。V字型ケミカルフィルターの構造形状により、限られたスペースで大きなろ過面積を確保でき、抵抗とスペースのバランスが取れます。動作点オフセットを判断するには、以下を参照してください。FFU FAQ とテクニカル サポート。

5. 関連する質問と回答

AMCフィルターを設置することであらゆるガスを制御できますか?
いいえ、対象となる汚染物質や作業条件に応じて選択し、該当する試験や交換基準を確認する必要があります。

ULPA はガス状分子汚染を除去できますか?
できません。 ULPA は粒子の濾過に使用され、ガス状汚染には対応する化学濾過ソリューションが必要です。

複合システムでは、AMC は ULPA の前に配置する必要がありますか? それとも後ろに配置する必要がありますか?
システム アーキテクチャ、ファンの位置、メンテナンス方法によって異なります。異なる構造は異なるシーケンスに対応するため、特定の計画で確認する必要があります。

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Aili Industrial の製品ラインは両方をカバーしますHEPA/ULPAフィルターとケミカルフィルターを含むボックスケミカルフィルター、タイプVケミカルフィルターとFFU ケミカルフィルターと他の構造形態は、粒子とガスの両方のニーズに応じて同じシステム内で適合させることができます。組み合わせ計画では、粒子制御目標とガス状汚染目標をそれぞれ確認し、ファンの位置、メンテナンス方法、粒子制御要件に応じてフィルターの相対位置を決定し、ULPA と AMC のそれぞれの抵抗データをセクションにリストします。FFUファンフィルターユニットは、組み合わせ後の合計抵抗に基づいてファンの動作点をチェックします。FFU コンピュータ グループ制御システムは、組み合わせたシステムの実際の動作パラメータを記録します。非標準のULPAフィルター組み合わせプロジェクトは、オリジナルのファンカーブ評価動作点を組み合わせ、V 字型のケミカルフィルターは、限られたスペースで抵抗と面積のバランスをとります。プロセスの目標、設置図、動作条件、さらなるコミュニケーションのための受け入れ要件を提供します。ULPA超高性能フィルターの標準仕様、非標準インターフェース、サンプル、バッ​​チマッチング。具体的なパラメータとテスト範囲は、確認されたモデルと技術文書に基づいています。