装置内の ULPA とクリーンルーム天井の ULPA のどちらを選択すればよいですか?設置と給気の境界

デバイス内でULPA フィルターとクリーン ルーム天井の ULPA の選択の違いは、主に境界、空間、空気流路の保護、およびメンテナンス方法にあります。同じレベルの濾過でも、まったく異なるインターフェースとテストの配置が必要になる場合があります。装置内のULPAと天井のULPAは一見ULPAですが、装置内のワークや機構を保護するものと、室内の動作領域や人員環境を保護するものと、その「サービス対象」が異なります。サービス対象が異なり、給気範囲、設置方法、受け入れ条件も異なります。 Aili Industrial の製品ラインは天井シナリオもカバーしていますFFUファンフィルターユニットと機器側のシナリオEFU 機器側ファン フィルター ユニットの場合、サプライヤーから個別の見積もりを探してそれらをつなぎ合わせるのではなく、同じプロジェクト内で 2 つの設置方法を比較して選択できます。

1. 保護対象を明確にする。装置内のワークに注目し、天井にある部屋や人員に注目する。

ワークの移動範囲や装置内の機構に注意してください。天井からの空気供給は、部屋、人員、および還気システムと組み合わせる必要があります。認定された部屋が機器の内部準拠であると直接推定することはできません。

装置におけるULPAの保護対象は、ワーク表面、伝達機構、キャビティ環境です。粒子制御の判断ポイントは、多くの場合、装置内の特定の場所にあります。天井ULPAの保護対象は動作領域と室内全体の環境であり、判定点は室内サンプリングルールに従って配置されています。両者の認定基準は異なります。クリーンルーム内では、室内の清浄度が基準を満たしていても、機構部や扉の開閉などにより発生する塵埃により、内部機器が基準を超える場合があります。アイリ産業はEFU装置側のファンフィルタユニットとのマッチングの際は、装置内のワークの位置や機構の動作に合わせて給気境界を確認してください。FFU ファン フィルター ユニット天井ソリューションは、部屋のレイアウトと還気条件に基づいて適用範囲を確認します。レベルとフィルタリング要件の関係は、次のとおりです。ISO清浄度レベルの比較。

2. 設置条件を比較します。機器スペースが狭い、エアダクトが短い、リンケージ動作がある可能性があります。

機器のスペースが狭くなり、エアダクトが短くなり、リンク動作が発生する可能性があります。天井システムは、モジュール、耐荷重、メンテナンス チャネル、および複数のモジュールを調整する必要があります。

装置内でのULPAの設置スペースは装置の構造により制限されます。ボックスのサイズ、排気方向、交換経路は機器に適合する必要があります。ファンの出口側もメカアームやキャリアなどの構造物に面しており、動きに応じて背圧が変化します。吊り天井ULPAの設置スペースは比較的規則的ですが、天井モジュール、キール耐荷重、アクセスチャンネル、複数のモジュール間のジョイントを調整する必要があります。アイリ産業は非標準のULPAフィルターと超薄型EFUの装置側支持においては、キャビティのネットサイズと機構の可動範囲に応じて構造が決定され、天井ソリューションはFFUファンフィルターユニットを組み合わせる場合は、天井モジュールと耐荷重条件に応じてボックス形状を確認してください。機器側に搭載されるインターフェースのポイントを参考にしてください。EFU FAQ とテクニカル サポート。

3. 受け入れ条件をそれぞれ決定します。機器のドア、機構の動作、および部屋の動作モードを明確に記述する必要があります。

実際に設置されている空気量、完全性、均一性、保護ゾーンの状態に注意し、装置のドア、プロセス排気、または部屋の動作モードを記録します。

装置内の ULPA 承認条件は、装置の実際の動作状態をカバーする必要があります。ドアの開閉、機構の動き、ステージの出入りにより、気流経路や局所的な粒子濃度が変化する可能性があります。天井 ULPA の受け入れ条件は、部屋の動作モード (空、静的、または動的) に応じて決定されます。契約書には人員数や設備の稼働状況を記載する必要があります。 2 種類の労働条件を相互に適用することはできません。アイリ産業はULPA超高効率フィルターが納入された際には、プロジェクトパートナーと協力して、該当する受け入れ状況を明らかにすることができます。FFU コンピュータ グループ制御システムは、パーティションの動作パラメータを記録し、受け入れ時の実際の動作状態との比較を容易にします。受け入れ労働条件の決定方法を参照してください。HEPA FAQ と選択ガイド。

4. 装置がクリーンルーム内にある場合でも、内部機構により粒子が発生する可能性があります。

機器はクリーンルーム内に配置されており、内部の機械的動作により粒子が発生する可能性があるため、局所的な空気供給を個別に評価する必要があります。室内の清浄度が基準を満たしているからといって、機器の内部環境が基準を満たしていることを意味するものではありません。装置内部の移動機構の摩擦、ワークの取り扱い、ドアの開閉などが局所的な汚染源となる可能性があります。

Aili Industry は、装置側のソリューションを組み合わせることができます。EFU装置側のファンフィルターユニットは別構成となっており、室内条件に依存して装置内をカバーするのではなく、装置内の汚染源の位置やワーク保護要件に応じて給気方向を決定します。吊り天井に使用される ULPA を機器に直接設置できるかどうかも、サイズ、密閉性、抵抗、保護境界の観点から再確認する必要があります。グレードが同じという理由で交換することはできません。装置内部のローカル保護の設定ポイントについては、こちらを参照してください。ULPA超高性能フィルターFAQと選定ガイド。

5. 関連する質問と回答

吊り天井に使用されているULPAを機器に直接設置できますか?
寸法、シール、抵抗、保護境界を再確認する必要があり、同じグレードに基づいて単純に交換することはできません。

装置がクリーンルームに設置されている場合でも、装置内 ULPA は必要ですか?
ウエハやワークの露光量や装置から発生する塵埃などから判断する必要があります。部屋の状態は自動的に内部保護を表すことはできません。

装置内部と天井の受入条件は共通化できますか？
できません。ドアの開閉や機構の動作を機器内でカバーする必要があり、天井は部屋の動作モードに応じて決定する必要があります。両者の労働条件は異なります。

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8. Aili Industrial による製品マッチングと技術サポート

Aili Industrial の製品ラインは天井シナリオもカバーしていますFFUファンフィルターユニットと機器側のシナリオEFU装置側ファンフィルタユニットは同一プロジェクト内で2つの設置方法を比較選択できます。EFU装置側ファンフィルタユニットは、装置内のワークの位置や機構動作に応じた給気境界を確認するためのファンフィルタユニットを搭載しています。FFU ファン フィルター ユニット天井ソリューションは、部屋のレイアウトと還気条件に応じて適用範囲を確認します。非標準のULPAフィルターと超薄型 EFUの構造は、キャビティの正味サイズと機構の可動範囲に基づいて決定されます。天井プランは、天井モジュールと耐荷重条件に基づいてボックスの形状を決定します。ULPA 超高効率フィルターの納品は、それぞれの該当する受け入れステータスに合わせて調整できます。FFU コンピュータ グループ制御システムは、容易な受け入れ制御のためにパーティションの動作パラメータを記録します。プロセスの目標、設置図面、動作条件、および受け入れ要件を提供し、さらに ULPA 標準仕様、非標準インターフェース、サンプル、バッ​​チマッチングについても伝達できます。具体的なパラメータとテスト範囲は、確認されたモデルと技術文書に基づいています。