Wie kann man zwischen ULPA in der Ausrüstung und ULPA an der Decke eines Reinraums wählen? Installations- und Luftversorgungsgrenzen

innerhalb des GerätsDie Unterschiede bei der Auswahl zwischen ULPA-Filtern und Reinraumdecken-ULPA liegen hauptsächlich im Schutz von Grenzen, Räumen, Luftströmungswegen und Wartungsmethoden. Derselbe Filtergrad erfordert möglicherweise völlig unterschiedliche Schnittstellen und Testanordnungen. Der ULPA im Inneren des Geräts und der ULPA an der Decke scheinen ULPA zu sein, aber ihre „Serviceobjekte“ sind unterschiedlich: Einer schützt die Werkstücke und Mechanismen im Inneren des Geräts und der andere schützt den Betriebsbereich und die Personalumgebung im Raum. Die Serviceobjekte sind unterschiedlich, und auch die Luftversorgungsgrenzen, Installationsmethoden und Akzeptanzbedingungen sind unterschiedlich. Die Produktlinie von Aili Industrial deckt auch Deckenszenarien abFFU-Lüfterfiltereinheit und Nebenszenarien der AusrüstungFür die EFU-Lüfterfiltereinheit am Geräteende können Sie zwei Installationsmethoden im selben Projekt vergleichen und zwischen ihnen wählen, anstatt separate Angebote von Lieferanten einzuholen und diese zusammenzustellen.

1. Klären Sie die Schutzobjekte: Achten Sie auf das Werkstück im Gerät sowie auf den Raum und das Personal an der Decke.

Achten Sie auf den Bewegungsbereich des Werkstücks und der Mechanik in der Anlage. Die Luftzufuhr von der Decke muss mit den Raum-, Personal- und Abluftsystemen kombiniert werden. Es kann nicht direkt davon ausgegangen werden, dass der qualifizierte Raum die interne Konformität der Ausrüstung gewährleistet.

Die Schutzobjekte von ULPA in der Ausrüstung sind die Werkstückoberfläche, der Übertragungsmechanismus und die Hohlraumumgebung. Die Beurteilungspunkte für die Partikelkontrolle befinden sich oft an bestimmten Stellen innerhalb der Anlage; Die Schutzobjekte der Decken-ULPA sind der Betriebsbereich und die Gesamtumgebung im Raum, und die Beurteilungspunkte sind gemäß den Regeln für die Raumprobenahme angeordnet. Die Qualifikationsstandards der beiden sind unterschiedlich. In einem Reinraum, in dem die Sauberkeit des Raums dem Standard entspricht, kann die Innenausstattung aufgrund von Staub, der durch den Mechanismus oder die Türöffnung entsteht, dennoch über dem Standard liegen. Aili Industry istBestätigen Sie beim Anpassen der Lüfterfiltereinheit an der EFU-Geräteseite die Luftzufuhrgrenze entsprechend der Position des Werkstücks innerhalb des Geräts und der Wirkungsweise des Mechanismus.Die Deckenlösung der FFU-Lüfterfiltereinheit bestätigt die Abdeckung basierend auf der Raumaufteilung und den Rückluftbedingungen. Die Beziehung zwischen Ebenen und Filteranforderungen finden Sie inVergleich der ISO-Reinheitsgrade。

2. Vergleichen Sie die Einbaubedingungen: Der Geräteraum kann enger sein, die Luftkanäle können kürzer sein und es kann zu Gestängevorgängen kommen

Der Geräteraum kann enger sein, die Luftkanäle können kürzer sein und es kann zu Gestängebewegungen kommen; Das Deckensystem muss die Module, Tragfähigkeit, Wartungskanäle und mehrere Module koordinieren.

Der Einbauraum von ULPA im Gerät ist durch die Gerätestruktur begrenzt. Die Kastengröße, die Luftaustrittsrichtung und der Austauschweg müssen zur Ausstattung passen. Die Auslassseite des Ventilators ist ebenfalls dem mechanischen Arm, dem Träger und anderen Strukturen zugewandt, und der Gegendruck ändert sich mit der Bewegung. Der Installationsraum der abgehängten Decke ULPA ist relativ regelmäßig, es ist jedoch notwendig, das Deckenmodul, die Kieltragfähigkeit, die Zugangskanäle und die Verbindungen zwischen mehreren Modulen aufeinander abzustimmen. Aili Industry istNicht standardmäßige ULPA-Filter undBei der geräteseitigen Unterstützung ultradünner EFU wird die Struktur entsprechend der Nettogröße des Hohlraums und dem Bewegungsbereich des Mechanismus sowie der Deckenlösung bestimmtBestätigen Sie bei der Anpassung der FFU-Ventilatorfiltereinheit die Kastenform entsprechend dem Deckenmodul und den Belastungsbedingungen. Bitte beachten Sie die Eckpunkte der geräteseitig verbauten Schnittstelle.EFU-FAQ und technischer Support。

3. Legen Sie die Akzeptanzbedingungen fest: Gerätetüren, Mechanismusaktionen und Raumbetriebsarten müssen klar geschrieben sein.

Achten Sie auf das tatsächlich installierte Luftvolumen, die Vollständigkeit, Gleichmäßigkeit und den Schutzzonenstatus und protokollieren Sie die Gerätetür, die Prozessabluft oder den Raumbetriebsmodus.

Die ULPA-Akzeptanzbedingungen innerhalb der Ausrüstung müssen den tatsächlichen Betriebsstatus der Ausrüstung abdecken: Das Öffnen und Schließen der Tür, die Bewegung des Mechanismus sowie der Ein- und Ausgang der Bühne können den Luftstrompfad und die lokale Partikelkonzentration verändern. Die Akzeptanzbedingungen der Decken-ULPA richten sich nach der Betriebsart des Raums: leer, statisch oder dynamisch. Die Anzahl der Mitarbeiter und der Betriebszustand der Ausrüstung müssen in der Vereinbarung angegeben werden. Die beiden Arten von Arbeitsbedingungen können nicht aufeinander übertragen werden. Aili Industry istWenn ULPA-Ultrahocheffizienzfilter geliefert werden, können wir mit der Projektpartei zusammenarbeiten, um den geltenden Abnahmestatus zu klären.Das FFU-Rechnergruppensteuerungssystem erfasst die Betriebsparameter der Partitionen, um bei der Abnahme einen Vergleich mit dem tatsächlichen Betriebszustand zu ermöglichen. Bitte beachten Sie die Methode zur Bestimmung der Akzeptanzarbeitsbedingungen.HEPA-FAQs und Auswahlhilfe。

4. Wenn sich das Gerät in einem Reinraum befindet, kann der interne Mechanismus dennoch Partikel produzieren.

Befindet sich ein Gerät in einem Reinraum und interne mechanische Einwirkungen können dennoch Partikel erzeugen, so dass die örtliche Luftversorgung individuell bewertet werden muss. Die Einhaltung des Standards der Raumreinheit bedeutet nicht, dass die interne Umgebung der Ausrüstung dem Standard entspricht. Die Reibung des internen Bewegungsmechanismus des Geräts, die Handhabung von Werkstücken und das Öffnen der Tür können zu lokalen Verschmutzungsquellen werden.

Aili Industry kann die geräteseitige Lösung mit kombinierenDie Lüfterfiltereinheit auf der EFU-Geräteseite wird separat konfiguriert, und die Luftzufuhrrichtung wird anhand des Standorts der Verschmutzungsquelle innerhalb des Geräts und der Werkstückschutzanforderungen bestimmt, anstatt sich auf die Raumbedingungen zu verlassen, um das Innere des Geräts abzudecken. Ob das für abgehängte Decken verwendete ULPA direkt in das Gerät eingebaut werden kann, muss hinsichtlich Größe, Abdichtung, Widerstandsfähigkeit und Schutzgrenzen ebenfalls erneut überprüft werden. Sie können nicht ausgetauscht werden, nur weil sie die gleiche Note haben. Informationen zu den Konfigurationspunkten des lokalen Schutzes innerhalb des Geräts finden Sie unterHäufig gestellte Fragen und Auswahlhilfe für ULPA-Ultrahocheffizienzfilter。

5. Verwandte Fragen und Antworten

Kann ULPA für abgehängte Decken direkt mit Geräten installiert werden?
Abmessungen, Abdichtung, Widerstandsfähigkeit und Schutzgrenzen müssen erneut überprüft werden und können nicht einfach aufgrund der gleichen Güteklasse ausgetauscht werden.

Wenn sich die Ausrüstung in einem Reinraum befindet, ist dann trotzdem ein geräteinternes ULPA erforderlich?
Die Beurteilung muss anhand der Exposition des Wafers oder Werkstücks und des von der Ausrüstung erzeugten Staubs erfolgen. Raumbedingungen können nicht automatisch einen inneren Schutz darstellen.

Können die Akzeptanzbedingungen im Inneren der Anlage und an der Decke geteilt werden?
kann nicht. Das Öffnen und Schließen der Tür sowie die Bewegungen des Mechanismus müssen in der Ausrüstung abgedeckt sein, und die Decke muss entsprechend der Betriebsart des Raums bestimmt werden. Die Arbeitsbedingungen der beiden sind unterschiedlich.

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7. Wichtige Punkte für die Auswahl und Abnahmeprüfung

8. Produktabstimmung und technischer Support von Aili Industrial

Die Produktlinie von Aili Industrial deckt auch Deckenszenarien abFFU-Lüfterfiltereinheit und Nebenszenarien der AusrüstungDie geräteseitige Lüfterfiltereinheit von EFU kann im selben Projekt zwischen zwei Installationsmethoden verglichen und ausgewählt werden.Die EFU-Geräteendventilatorfiltereinheit ist mit einer Ventilatorfiltereinheit ausgestattet, um die Luftzufuhrgrenze entsprechend der Position des Werkstücks innerhalb der Ausrüstung und der Mechanismuswirkung zu überprüfen.Die Deckenlösung der FFU-Lüfterfiltereinheit bestätigt die Abdeckung entsprechend der Raumaufteilung und den Rückluftbedingungen;Nicht standardmäßige ULPA-Filter undDie Struktur des ultradünnen EFU wird anhand der Nettogröße des Hohlraums und des Bewegungsbereichs des Mechanismus bestimmt. Der Deckenplan legt anhand des Deckenmoduls und der Tragbedingungen die Kastenform fest.Die Lieferung von ULPA-Ultrahocheffizienzfiltern kann mit dem jeweils gültigen Abnahmestatus abgestimmt werden.Das FFU-Computergruppensteuerungssystem zeichnet die Betriebsparameter der Partitionen auf, um eine einfache Abnahmekontrolle zu ermöglichen. Stellen Sie Prozessziele, Installationszeichnungen, Betriebsbedingungen und Abnahmeanforderungen bereit und können Sie darüber hinaus ULPA-Standardspezifikationen, nicht standardmäßige Schnittstellen, Muster und Chargenabgleich kommunizieren. Die spezifischen Parameter und Testbereiche basieren auf dem bestätigten Modell und den technischen Unterlagen.