Làm thế nào để lựa chọn giữa ULPA trong thiết bị và ULPA trên trần phòng sạch? Ranh giới lắp đặt và cung cấp không khí

trong thiết bịSự khác biệt trong việc lựa chọn giữa bộ lọc ULPA và ULPA trần phòng sạch chủ yếu nằm ở việc bảo vệ ranh giới, không gian, đường dẫn khí và phương pháp bảo trì. Cùng một mức độ lọc có thể yêu cầu các giao diện và cách sắp xếp thử nghiệm hoàn toàn khác nhau. ULPA bên trong thiết bị và ULPA trên trần nhà có vẻ là ULPA, nhưng 'đối tượng dịch vụ' của chúng khác nhau: một bên bảo vệ các phôi và cơ chế bên trong thiết bị, còn bên kia bảo vệ khu vực vận hành và môi trường nhân sự trong phòng. Các đối tượng dịch vụ là khác nhau và ranh giới cung cấp không khí, phương pháp lắp đặt và điều kiện chấp nhận cũng khác nhau. Dòng sản phẩm của Aili Industrial cũng bao gồm các kịch bản trầnbộ lọc quạt FFUCác kịch bản bên thiết bị và Đối với bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU , bạn có thể so sánh và lựa chọn giữa hai phương pháp lắp đặt trong cùng một dự án, thay vì tìm báo giá riêng từ nhà cung cấp và ghép chúng lại với nhau.

1. Làm rõ đối tượng bảo vệ: chú ý đến phôi bên trong thiết bị, chú ý đến phòng và nhân sự trên trần nhà.

Hãy chú ý đến vùng chuyển động của phôi và cơ cấu trong thiết bị. Việc cung cấp không khí từ trần nhà cần phải được kết hợp với phòng, nhân viên và hệ thống không khí hồi lưu. Phòng đủ điều kiện không thể được coi trực tiếp là sự tuân thủ nội bộ của thiết bị.

Đối tượng bảo vệ của ULPA trong thiết bị là bề mặt phôi, cơ cấu truyền động và môi trường khoang. Các điểm đánh giá để kiểm soát hạt thường ở các vị trí cụ thể bên trong thiết bị; đối tượng bảo vệ của trần ULPA là khu vực vận hành và môi trường tổng thể trong phòng, đồng thời các điểm phán đoán được sắp xếp theo quy tắc lấy mẫu của phòng. Tiêu chuẩn trình độ của hai là khác nhau. Trong phòng sạch mà độ sạch của phòng đạt tiêu chuẩn thì các thiết bị bên trong vẫn có thể vượt tiêu chuẩn do bụi sinh ra từ cơ chế hoặc do cửa mở. Công nghiệp Aili làKhi khớp bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU, hãy xác nhận ranh giới cấp khí theo vị trí của phôi bên trong thiết bị và hoạt động của cơ cấu.Giải pháp trần bộ lọc quạt FFU xác nhận phạm vi phủ sóng dựa trên cách bố trí phòng và điều kiện không khí hồi lưu. Mối quan hệ giữa các cấp độ và yêu cầu lọc có thể được tìm thấy trongSo sánh mức độ sạch ISO。

2. So sánh các điều kiện lắp đặt: không gian thiết bị có thể hẹp hơn, ống dẫn khí có thể ngắn hơn và có thể có các hành động liên kết

Không gian thiết bị có thể hẹp hơn, ống dẫn khí có thể ngắn hơn và có thể có các chuyển động liên kết; hệ thống trần cần phối hợp các mô-đun, các kênh chịu lực, bảo trì và nhiều mô-đun.

Không gian lắp đặt ULPA trong thiết bị bị giới hạn bởi kết cấu thiết bị. Kích thước hộp, hướng thoát khí và đường dẫn thay thế phải phù hợp với thiết bị. Phía đầu ra của quạt cũng đối diện với cánh tay cơ khí, bộ phận mang và các cấu trúc khác, và áp suất ngược thay đổi theo chuyển động. Không gian lắp đặt trần treo ULPA tương đối đều đặn nhưng cần phải phối hợp module trần, sống tàu chịu lực, kênh tiếp cận và mối nối giữa nhiều module. Công nghiệp Aili làBộ lọc ULPA không chuẩn vàTrong hỗ trợ phía thiết bị của EFU siêu mỏng , cấu trúc được xác định theo kích thước thực của khoang và phạm vi chuyển động của cơ cấu, và giải pháp trần làKhi khớp bộ lọc quạt FFU, hãy xác nhận dạng hộp theo mô-đun trần và các điều kiện chịu tải. Vui lòng tham khảo các điểm chính của giao diện được cài đặt ở phía thiết bị.Câu hỏi thường gặp về EFU và hỗ trợ kỹ thuật。

3. Xác định điều kiện nghiệm thu tương ứng: cửa thiết bị, cơ cấu hoạt động và phương thức vận hành phòng phải được ghi rõ ràng.

Chú ý đến lượng không khí được lắp đặt thực tế, tính đầy đủ, tính đồng nhất và trạng thái vùng bảo vệ, đồng thời ghi lại cửa thiết bị, quá trình xả khí hoặc chế độ vận hành phòng.

Các điều kiện chấp nhận ULPA trong thiết bị phải bao gồm trạng thái vận hành thực tế của thiết bị: việc mở và đóng cửa, chuyển động của cơ chế và việc ra vào của bệ có thể thay đổi đường dẫn khí và nồng độ hạt cục bộ. Các điều kiện chấp nhận của ULPA trần được xác định theo chế độ vận hành phòng: trống, tĩnh hoặc động. Số lượng nhân sự, tình trạng vận hành thiết bị phải được ghi rõ trong thỏa thuận. Hai loại điều kiện làm việc không thể áp dụng cho nhau. Công nghiệp Aili làKhi các bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA được cung cấp, chúng tôi có thể hợp tác với bên dự án để làm rõ trạng thái chấp nhận hiện hành.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại các thông số vận hành phân vùng để tạo điều kiện so sánh với trạng thái vận hành thực tế trong quá trình chấp nhận. Vui lòng tham khảo phương pháp xác định điều kiện làm việc nghiệm thu.Các câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA。

4. Khi thiết bị được đặt trong phòng sạch, cơ chế bên trong vẫn có thể tạo ra các hạt.

Một thiết bị được đặt trong phòng sạch và các hoạt động cơ học bên trong vẫn có thể tạo ra các hạt, do đó việc cung cấp không khí cục bộ cần phải được đánh giá riêng lẻ. Đạt tiêu chuẩn về độ sạch của phòng không có nghĩa là môi trường bên trong của thiết bị đạt tiêu chuẩn. Ma sát của cơ cấu chuyển động bên trong của thiết bị, việc xử lý phôi và việc mở cửa có thể trở thành nguồn ô nhiễm cục bộ.

Aili Industry có thể kết hợp giải pháp phía thiết bị vớiBộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU được cấu hình riêng và hướng cấp khí được xác định theo vị trí của nguồn ô nhiễm bên trong thiết bị và các yêu cầu bảo vệ phôi, thay vì dựa vào điều kiện phòng để che phủ bên trong thiết bị. Việc ULPA dùng cho trần treo có thể lắp trực tiếp vào thiết bị hay không cũng cần phải được kiểm tra lại về kích thước, độ kín, giới hạn chịu lực và bảo vệ chứ không thể thay đổi đơn giản chỉ dựa trên cùng một cấp độ. Để biết các điểm cấu hình bảo vệ cục bộ bên trong thiết bị, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA。

5. Câu hỏi và đáp án liên quan

ULPA dùng cho trần treo có thể lắp trực tiếp vào thiết bị được không?
Kích thước, độ kín, độ bền và ranh giới bảo vệ cần phải được kiểm tra lại và không thể thay đổi đơn giản dựa trên cùng một cấp độ.

Nếu thiết bị được đặt trong phòng sạch thì có còn yêu cầu ULPA trong thiết bị không?
Nó cần được đánh giá dựa trên mức độ tiếp xúc của tấm bán dẫn hoặc phôi và bụi do thiết bị tạo ra. Điều kiện phòng không thể tự động thể hiện sự bảo vệ bên trong.

Có thể chia sẻ các điều kiện chấp nhận bên trong thiết bị và trên trần nhà không?
không thể. Việc đóng mở cửa và chuyển động cơ cấu phải được bao phủ trong thiết bị và trần nhà phải được xác định theo chế độ vận hành của phòng. Điều kiện làm việc của hai người là khác nhau.

6. Các bài viết liên quan

Câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

EFU được trang bị bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

FFU được trang bị bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

Các câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA

7. Những điểm chính trong việc lựa chọn và nghiệm thu

8. Hỗ trợ kỹ thuật và kết hợp sản phẩm từ Aili Industrial

Dòng sản phẩm của Aili Industrial cũng bao gồm các kịch bản trầnbộ lọc quạt FFUCác kịch bản bên thiết bị và Bộ lọc quạt phía thiết bị EFU có thể được so sánh và lựa chọn giữa hai phương pháp lắp đặt trong cùng một dự án.Bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU được trang bị bộ lọc quạt để xác nhận ranh giới cấp khí theo vị trí của phôi bên trong thiết bị và hoạt động của cơ chế.Giải pháp trần bộ lọc quạt FFU xác nhận độ phủ theo cách bố trí phòng và điều kiện không khí hồi;Bộ lọc ULPA không chuẩn vàCấu trúc của EFU siêu mỏng được xác định dựa trên kích thước thực của khoang và phạm vi chuyển động của cơ cấu. Sơ đồ trần xác định hình dạng hộp dựa trên mô-đun trần và các điều kiện chịu tải.Việc cung cấp các bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA có thể được phối hợp với trạng thái chấp nhận hiện hành tương ứng.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại các thông số vận hành phân vùng để dễ dàng kiểm soát chấp nhận. Cung cấp các mục tiêu quy trình, bản vẽ lắp đặt, điều kiện vận hành và yêu cầu chấp nhận, đồng thời có thể truyền đạt thêm các thông số kỹ thuật tiêu chuẩn ULPA, giao diện phi tiêu chuẩn, mẫu và khớp lô. Các thông số cụ thể và phạm vi thử nghiệm dựa trên mô hình và tài liệu kỹ thuật đã được xác nhận.