장비의 ULPA와 클린룸 천장의 ULPA 중에서 선택하는 방법은 무엇입니까? 설치 및 공기 공급 경계

장치 내에서ULPA 필터 와 클린룸 천장 ULPA 선택의 차이점은 주로 경계, 공간, 공기 흐름 경로 및 유지 관리 방법의 보호에 있습니다. 동일한 수준의 필터링에도 완전히 다른 인터페이스와 테스트 배열이 필요할 수 있습니다. 장비 내부의 ULPA와 천장의 ULPA는 ULPA처럼 보이지만 '서비스 대상'은 다릅니다. 하나는 장비 내부의 작업물과 메커니즘을 보호하고, 다른 하나는 실내의 작동 영역과 인력 환경을 보호합니다. 서비스 대상이 다르며 공기 공급 경계, 설치 방법 및 승인 조건도 다릅니다. Aili Industrial의 제품 라인에는 천장 시나리오도 포함됩니다.FFU 팬 필터 장치 및 장비 측면 시나리오EFU 장비단 팬 필터 장치 의 경우 공급업체로부터 별도의 견적을 찾아 연결하는 대신 동일한 프로젝트에서 두 가지 설치 방법 중에서 비교하고 선택할 수 있습니다.

1. 보호 대상을 명확히 합니다. 장비 내부의 작업물에 주의를 기울이고, 천장에 있는 공간과 사람에 주의를 기울이십시오.

장비의 공작물 및 메커니즘의 이동 영역에 주의하십시오. 천장에서 공급되는 공기는 실내, 인력 및 환기 시스템과 결합되어야 합니다. 적격실은 장비의 내부 적합성을 직접적으로 추정할 수 없습니다.

장비에서 ULPA의 보호 대상은 공작물 표면, 전송 메커니즘 및 캐비티 환경입니다. 입자 제어에 대한 판단 지점은 종종 장비 내부의 특정 위치에 있습니다. 천장 ULPA의 보호 대상은 작동 영역과 실내 전체 환경이며 판단 지점은 실내 샘플링 규칙에 따라 배열됩니다. 둘의 자격기준은 서로 다릅니다. 실내의 청결도가 기준을 만족하는 클린룸에서도 기구부나 도어 열림 등에서 발생하는 먼지로 인해 내부 기기가 기준을 초과하는 경우가 있습니다. 아이리산업은EFU 장비 끝단의 팬 필터 유닛을 일치시킬 때 장비 내부의 작업물의 위치와 메커니즘의 작동에 따른 공기 공급 경계를 확인하십시오.FFU 팬 필터 유닛 천장 솔루션은 실내 레이아웃 및 환기 조건에 따라 적용 범위를 확인합니다. 수준과 필터링 요구 사항 간의 관계는 다음에서 확인할 수 있습니다.ISO 청정도 비교。

2. 설치 조건 비교: 장비 공간이 더 좁을 수 있고, 공기 덕트가 더 짧을 수 있으며, 연결 동작이 있을 수 있습니다.

장비 공간은 더 좁을 수 있고, 공기 덕트는 더 짧을 수 있으며, 연결 동작이 있을 수 있습니다. 천장 시스템은 모듈, 하중 지지, 유지 관리 채널 및 여러 모듈을 조정해야 합니다.

장비 내 ULPA 설치 공간은 장비 구조에 따라 제한됩니다. 상자 크기, 공기 배출 방향 및 교체 경로는 장비와 일치해야 합니다. 팬의 출구 쪽도 기계식 암, 캐리어 및 기타 구조물을 향하고 있으며 배압은 움직임에 따라 변경됩니다. 매달린 천장 ULPA의 설치 공간은 비교적 규칙적이지만 천장 모듈, 용골 하중 지지, 액세스 채널 및 여러 모듈 간의 조인트를 조정하는 것이 필요합니다. 아이리산업은비표준 ULPA 필터 및초박형 EFU 의 장비측 지지에서는 캐비티의 순 크기와 메커니즘의 가동 범위에 따라 구조가 결정되며 천장 솔루션은FFU 팬 필터 장치를 일치시킬 때 천장 모듈 및 내하중 조건에 따라 상자 형태를 확인하십시오. 기기 측에 설치된 인터페이스의 핵심 사항을 참고하시기 바랍니다.EFU FAQ 및 기술 지원。

3. 각각의 승인 조건을 결정합니다. 장비 도어, 메커니즘 동작 및 룸 작동 모드를 명확하게 작성해야 합니다.

실제 설치된 공기량, 완전성, 균일성 및 보호 구역 상태에 주의를 기울이고 장비 도어, 공정 배기 또는 실내 작동 모드를 기록하십시오.

장비 내의 ULPA 승인 조건은 장비의 실제 작동 상태를 다루어야 합니다. 즉, 도어 개폐, 메커니즘 이동, 스테이지 입구 및 출구로 인해 공기 흐름 경로와 국지적 입자 농도가 변경될 수 있습니다. 천장 ULPA의 승인 조건은 공간 작동 모드(비어 있음, 정적 또는 동적)에 따라 결정됩니다. 계약서에는 인원수와 장비 가동상황을 명시해야 한다. 두 가지 유형의 근로 조건은 서로 적용될 수 없습니다. 아이리산업은ULPA 초고효율 필터가 납품되면 프로젝트 당사자와 협력하여 해당 승인 상태를 명확히 할 수 있습니다.FFU 컴퓨터 그룹 제어 시스템은 승인 중에 실제 작동 상태와 쉽게 비교할 수 있도록 파티션 작동 매개변수를 기록합니다. 수락근로조건 결정방법을 참고하시기 바랍니다.HEPA FAQ 및 선택 가이드。

4. 장비가 클린룸에 있는 경우에도 내부 메커니즘에서 파티클이 발생할 수 있습니다.

장비는 클린룸에 위치해 있고 내부 기계적 작용으로 인해 여전히 입자가 생성될 수 있으므로 국지적 공기 공급을 개별적으로 평가해야 합니다. 실내 청결도 기준을 충족한다고 해서 장비 내부 환경이 기준을 충족한다는 의미는 아닙니다. 장비 내부 이동 메커니즘의 마찰, 작업물 취급 및 도어 열기가 국지적 오염원이 될 수 있습니다.

Aili Industry는 장비측 솔루션을 다음과 결합할 수 있습니다.EFU 장비 끝단의 팬 필터 유닛을 별도로 구성하여 장비 내부를 덮는 실내 조건이 아닌 장비 내부의 오염원 위치와 작업물 보호 요구 사항에 따라 공기 공급 방향을 결정합니다. 매달린 천장에 사용되는 ULPA가 장비에 직접 설치될 수 있는지 여부도 크기, 실링, 저항 및 보호 경계 측면에서 재확인이 필요하며 단순히 동일한 등급을 기준으로 대체할 수는 없습니다. 장비 내부의 로컬 보호 구성 지점은 다음을 참조하십시오.ULPA 초고효율 필터 FAQ 및 선택 가이드。

5. 관련 질문과 답변

달천장에 사용되는 ULPA를 장비와 함께 직접 설치할 수 있나요?
치수, 밀봉, 저항 및 보호 경계를 다시 확인해야 하며 단순히 동일한 등급을 기준으로 대체할 수 없습니다.

장비가 클린룸에 있는 경우에도 장비 내 ULPA가 필요합니까?
웨이퍼나 워크의 노출 정도와 장비에서 발생하는 먼지 등을 기준으로 판단해야 합니다. 실내 조건은 자동으로 내부 보호를 나타낼 수 없습니다.

장비 내부와 천장의 승인 조건을 공유할 수 있나요?
할 수 없습니다. 문 개폐 및 메커니즘의 움직임은 장비에서 다루어야 하며 천장은 실내 작동 모드에 따라 결정되어야 합니다. 두 사람의 근무 조건은 다릅니다.

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8. Aili Industrial의 제품 매칭 및 기술 지원

Aili Industrial의 제품 라인에는 천장 시나리오도 포함됩니다.FFU 팬 필터 장치 및 장비 측면 시나리오EFU 장비측 팬 필터 장치는 동일한 프로젝트에서 두 가지 설치 방법 중에서 비교하고 선택할 수 있습니다.EFU 장비 엔드 팬 필터 유닛 에는 팬 필터 유닛이 장착되어 장비 내부의 공작물의 위치와 메커니즘 동작에 따른 공기 공급 경계를 확인합니다.FFU 팬 필터 유닛 천장 솔루션은 실내 배치 및 환기 조건에 따라 적용 범위를 확인합니다.비표준 ULPA 필터 및초박형 EFU 의 구조는 캐비티의 순 크기와 메커니즘의 이동 범위에 따라 결정됩니다. 천장 계획은 천장 모듈과 하중 지지 조건에 따라 박스 형태를 결정합니다.ULPA 초고효율 필터 의 배송은 해당하는 승인 상태에 따라 조정될 수 있습니다.FFU 컴퓨터 그룹 제어 시스템은 쉬운 승인 제어를 위해 파티션 작동 매개변수를 기록합니다. 프로세스 목표, 설치 도면, 작동 조건 및 승인 요구 사항을 제공하고 ULPA 표준 사양, 비표준 인터페이스, 샘플 및 배치 일치를 추가로 전달할 수 있습니다. 구체적인 매개변수와 테스트 범위는 확인된 모델과 기술 문서를 기반으로 합니다.