¿Cómo combinar filtros ULPA y AMC? Secuencia de instalación y resistencia del sistema.

La combinación de filtro ULPA y filtro AMC debe cumplir con el control de partículas y contaminantes gaseosos objetivo, respectivamente, y la secuencia de instalación, la liberación de material y la resistencia total deben verificarse juntas. El ULPA en sí no debe utilizarse como dispositivo de eliminación de gases de uso general. La filtración de partículas y la filtración de gases son dos mecanismos diferentes. ULPA soluciona las partículas y AMC soluciona la contaminación molecular gaseosa. Los dos no pueden reemplazarse mutuamente. El plan combinado debe responder tres preguntas: si la filtración de gas debe colocarse antes o después de la filtración de partículas, si el ventilador de resistencia total combinado puede accionarse y si la liberación de material de los dos filtros se afectará entre sí. Las líneas de productos de Aili Industrial cubren tantoFiltros HEPA/ULPA yfiltros químicos incluidosFiltro químico de caja、Filtro químico tipo V yLos filtros químicos FFU y otras formas estructurales se pueden combinar en el mismo sistema según las necesidades tanto de partículas como de gases.

1. Selección por contaminantes: las partículas pertenecen a ULPA y los gases a AMC. No se pueden mezclar entre sí.

Aclare el tipo de gas, la concentración, la humedad y los requisitos del proceso. El medio AMC debe centrarse en los contaminantes objetivo y ULPA es responsable de la correspondiente filtración de partículas.

En los escenarios de fabricación de semiconductores y de precisión, la contaminación molecular y de partículas a menudo coexiste, pero sus objetivos de control y métodos de detección son diferentes. El índice de eficiencia de ULPA se basa en el tamaño de las partículas y el índice del filtro AMC se basa en el tipo de gas objetivo y la eficiencia de eliminación. Tratar el problema de los gases como un problema de partículas y mejorar el nivel ULPA es inútil; Dejar el problema de las partículas en manos de filtros químicos no mejorará la concentración de partículas. Aili Industry confirmó por separado los objetivos de control de partículas y los objetivos de contaminación gaseosa en el plan combinado.El filtro HEPA/ULPA corresponde a partículas,Los filtros químicos corresponden a los contaminantes objetivo y sus eficiencias y métodos de prueba se enumeran por separado. La relación entre los niveles y los requisitos de filtrado se puede encontrar enComparación del nivel de limpieza ISO。

2. El pedido debe combinarse con el sistema específico: ningún pedido cubre todas las estructuras.

Teniendo en cuenta las posibles partículas introducidas por medios químicos, la protección aguas arriba, la ubicación de los ventiladores y los métodos de mantenimiento, no es posible cubrir todas las estructuras en una secuencia fija.

La colocación del filtro AMC antes o después del ULPA depende del sistema y de los métodos de mantenimiento. Cuando se coloca antes de ULPA, el medio químico puede proteger a ULPA de contaminantes gaseosos, pero el medio químico en sí puede producir partículas, lo que requiere que ULPA las intercepte aguas abajo; cuando se coloca después de ULPA, el medio químico mira directamente hacia el lado limpio, pero el riesgo de liberación de partículas del medio químico afectará la calidad final del suministro de aire. La industria Aili esFiltros químicos FFU yEn el paquete de filtro químico tipo caja , la posición relativa del filtro se determina según la posición del ventilador, el método de mantenimiento y los requisitos de control de partículas. Diferentes estructuras corresponden a diferentes secuencias de instalación.Unidad de filtrado de ventilador FFU yEl escenario de combinación de unidad de filtrado de ventilador del extremo del equipo EFU puede confirmar el plan de secuencia de acuerdo con el espacio interno y la ruta de mantenimiento. Consulte los puntos clave para seleccionar filtros químicos.Preguntas frecuentes sobre HEPA y guía de selección。

3. Verificar el desempeño combinado: la resistencia total y los dos contaminantes se confirman por separado.

Verifique los requisitos de pérdida de presión total, distribución del flujo de aire y limpieza de materiales, determine las pruebas relacionadas con partículas y gases de acuerdo con el proyecto y registre las conclusiones respectivamente.

Después de combinar ULPA y AMC, la resistencia total del sistema es la suma de los dos más el conducto de aire y otros componentes. Si el ventilador está configurado solo según la resistencia de ULPA, el volumen de aire puede ser insuficiente después de agregar AMC. Aili Industries enumera los datos de resistencia respectivos de ULPA y AMC en el plan de combinación.La unidad de filtrado del ventilador FFU puede comprobar el punto de funcionamiento del ventilador en función de la resistencia total combinada.El sistema de control del grupo informático FFU registra los parámetros operativos reales del sistema combinado. En términos de verificación del desempeño, las partículas y los gases deben probarse por separado y no se puede utilizar un indicador para inferir el otro. Para conocer los métodos de verificación de sistemas combinados, consultePreguntas frecuentes sobre filtros de ultra alta eficiencia ULPA y guía de selección。

4. Cuando el volumen de aire disminuye después de instalar AMC, se debe volver a verificar el punto de trabajo.

Cuando el volumen de aire disminuye después de instalar el AMC, se debe volver a verificar el punto de trabajo. No es aconsejable simplemente instalar el filtro y mantener la configuración de velocidad original. La resistencia del filtro AMC se superpondrá a la resistencia total del sistema, y ​​el punto de trabajo del ventilador a la misma velocidad se moverá en la dirección de un pequeño volumen de aire.

La industria Aili esEn el esquema de combinación de filtros ULPA no estándar , la curva del ventilador original y la resistencia total combinada se pueden combinar para evaluar el punto de trabajo y pasar la prueba si es necesario.La capacidad de regulación de velocidad de la unidad de filtro de ventilador FFU compensa el volumen de aire.La forma estructural del filtro químico en forma de V proporciona una gran área de filtrado en un espacio limitado, lo que permite encontrar un equilibrio entre resistencia y espacio. Para juzgar el desplazamiento del punto de trabajo, consultePreguntas frecuentes y soporte técnico de FFU。

5. Preguntas y respuestas relacionadas

¿Se pueden controlar todos los gases instalando un filtro AMC?
No, debe seleccionarse de acuerdo con los contaminantes objetivo y las condiciones de trabajo, y debe confirmarse la base de prueba y reemplazo aplicable.

¿Puede ULPA eliminar la contaminación molecular gaseosa?
no puedo. ULPA se utiliza para la filtración de partículas y la contaminación gaseosa requiere las correspondientes soluciones de filtración química.

En el sistema combinado, ¿se debe colocar el AMC delante o detrás de la ULPA?
Depende de la arquitectura del sistema, la ubicación del ventilador y los métodos de mantenimiento. Diferentes estructuras corresponden a diferentes secuencias, que deben confirmarse con planos específicos.

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8. Emparejamiento de productos y soporte técnico de Aili Industrial

Las líneas de productos de Aili Industrial cubren tantoFiltros HEPA/ULPA yfiltros químicos incluidosFiltro químico de caja、Filtro químico tipo V yLos filtros químicos FFU y otras formas estructurales se pueden combinar en el mismo sistema según las necesidades tanto de partículas como de gases. En el plan combinado, el objetivo de control de partículas y el objetivo de contaminación gaseosa se confirman respectivamente, la posición relativa del filtro se determina de acuerdo con la posición del ventilador, el método de mantenimiento y los requisitos de control de partículas, y los datos de resistencia respectivos de ULPA y AMC se enumeran en secciones.La unidad de filtrado del ventilador FFU comprueba el punto de funcionamiento del ventilador según la resistencia total después de la combinación.El sistema de control del grupo informático FFU registra los parámetros operativos reales del sistema combinado.El proyecto de combinación de filtros ULPA no estándar combina el punto de trabajo de evaluación de la curva del ventilador original,Los filtros químicos en forma de V equilibran la resistencia y el área en un espacio limitado. Proporcionar objetivos de proceso, planos de instalación, condiciones operativas y requisitos de aceptación para una mayor comunicación.filtros de ultra alta eficiencia ULPA . Especificaciones estándar, interfaces no estándar, muestras y coincidencia de lotes de Los parámetros específicos y el rango de prueba se basan en el modelo confirmado y los documentos técnicos.