Как объединить фильтры ULPA и AMC? Последовательность установки и устойчивость системы

Комбинация фильтра ULPA и фильтра AMC должна обеспечивать контроль частиц и целевых газообразных загрязнителей соответственно, а последовательность установки, выброс материала и общее сопротивление следует проверять вместе. Сам ULPA не следует использовать в качестве устройства для удаления газов общего назначения. Фильтрация частиц и фильтрация газа — это два разных механизма. ULPA решает проблему частиц, а AMC решает проблему газообразного молекулярного загрязнения. Эти двое не могут заменить друг друга. Комбинированный план должен ответить на три вопроса: следует ли устанавливать фильтрацию газа до или после фильтрации частиц, можно ли использовать комбинированный вентилятор общего сопротивления и будет ли выпуск материала из двух фильтров влиять друг на друга. Линейка продуктов Aili Industrial охватывает какHEPA/ULPA фильтры ихимические фильтры, в том числеКоробчатый химический фильтр、Химический фильтр типа V иХимические фильтры FFU и другие структурные формы могут быть подобраны в одной системе в соответствии с потребностями как в частицах, так и в газах.

1. Отбор по загрязняющим веществам: частицы относятся к ULPA, газы – к AMC. Их нельзя смешивать между собой.

Уточните тип газа, концентрацию, влажность и технологические требования. Среда AMC должна быть нацелена на целевые загрязнители, а ULPA отвечает за соответствующую фильтрацию частиц.

В сценариях производства полупроводников и прецизионного производства частицы и молекулярное загрязнение часто сосуществуют, но цели их контроля и методы обнаружения различны. Индекс эффективности ULPA основан на размере частиц, а индекс фильтра AMC основан на типе целевого газа и эффективности удаления. Рассматривать проблему газа как проблему частиц и повышать уровень ULPA бесполезно; если оставить проблему частиц на усмотрение химических фильтров, концентрация частиц не улучшится. Aili Industry отдельно подтвердила цели по контролю частиц и газовому загрязнению в объединенном плане.Фильтр HEPA/ULPA соответствует частицам,Химические фильтры соответствуют целевым загрязняющим веществам, их эффективность и методы испытаний указаны отдельно. Взаимосвязь между уровнями и требованиями фильтрации можно найти вСравнение уровня чистоты ISO。

2. Приказ необходимо сочетать с конкретной системой: ни один приказ не охватывает все конструкции.

Принимая во внимание возможные частицы, попадающие в химические среды, защиту на входе, расположение вентиляторов и методы обслуживания, невозможно охватить все конструкции в фиксированной последовательности.

Расположение фильтра AMC до или после ULPA зависит от системы и методов обслуживания. При размещении перед ULPA химическая среда может защитить ULPA от газообразных загрязняющих веществ, но сама химическая среда может производить частицы, что требует, чтобы ULPA перехватывал поток ниже по потоку; при размещении после ULPA химическая среда обращена непосредственно к чистой стороне, но риск выброса частиц из химической среды повлияет на конечное качество подачи воздуха. Айли Индустрияхимические фильтры ФФУ иВ пакете химических фильтров коробчатого типа относительное положение фильтра определяется в зависимости от положения вентилятора, метода обслуживания и требований к контролю частиц. Разные конструкции соответствуют разным последовательностям установки.Блок вентиляторного фильтра ФФУ иСценарий комбинации блока вентиляторного фильтра на стороне оборудования EFU может подтвердить план последовательности действий в соответствии с внутренним пространством и маршрутом обслуживания. Пожалуйста, ознакомьтесь с ключевыми моментами при выборе химических фильтров.HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору。

3. Проверьте комбинированные характеристики: общее сопротивление и два загрязняющих вещества подтверждаются отдельно.

Проверьте общую потерю давления, распределение воздушного потока и требования к очистке материала, определите испытания, связанные с частицами и газом, в соответствии с проектом и запишите выводы соответственно.

После объединения ULPA и AMC общее сопротивление системы представляет собой сумму этих двух плюс воздуховод и другие компоненты. Если вентилятор настроен только по сопротивлению ULPA, после добавления AMC объем воздуха может оказаться недостаточным. Aili Industries приводит соответствующие данные по сопротивлению ULPA и AMC в плане объединения.Блок фильтра вентилятора FFU может проверять рабочую точку вентилятора на основе общего общего сопротивления.Система управления компьютерной группой ФФУ фиксирует фактические параметры работы объединенной системы. С точки зрения проверки эффективности частицы и газы следует тестировать отдельно, и один показатель не может использоваться для определения другого. Методы проверки комбинированных систем см.Часто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA。

4. Если после установки АМС объем воздуха упадет, необходимо перепроверить рабочую точку.

При падении объема воздуха после установки АМС рабочую точку следует перепроверить. Не рекомендуется просто устанавливать фильтр и сохранять первоначальную настройку скорости. Сопротивление фильтра АМС наложится на общее сопротивление системы, и рабочая точка вентилятора на той же скорости сдвинется в сторону малого объема воздуха.

Айли ИндустрияВ нестандартной схеме комбинации фильтров ULPA исходную кривую вентилятора и общее общее сопротивление можно объединить для оценки рабочей точки и при необходимости пройти испытание.Возможность регулирования скорости вентиляторного фильтрующего блока FFU компенсирует объем воздуха.Структурная форма V-образного химического фильтра обеспечивает большую площадь фильтрации в ограниченном пространстве, что позволяет найти баланс между сопротивлением и пространством. Чтобы оценить смещение рабочей точки, см.Часто задаваемые вопросы ФФУ и техническая поддержка。

5. Похожие вопросы и ответы

Можно ли контролировать все газы, установив фильтр AMC?
Нет, его следует выбирать в соответствии с целевыми загрязнителями и условиями работы, а также следует подтвердить применимую основу для испытаний и замены.

Может ли ULPA удалить газообразные молекулярные загрязнения?
не могу. ULPA используется для фильтрации частиц, а газообразные загрязнения требуют соответствующих решений химической фильтрации.

В комбинированной системе AMC следует размещать перед или позади ULPA?
Зависит от архитектуры системы, расположения вентиляторов и методов обслуживания. Разным структурам соответствуют разные последовательности, которые необходимо подтверждать конкретными планами.

6. Статьи по теме

Часто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA

химический фильтр

Химический фильтр ФФУ

HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору

7. Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

8. Подбор продуктов и техническая поддержка от Aili Industrial.

Линейка продуктов Aili Industrial охватывает какHEPA/ULPA фильтры ихимические фильтры, в том числеКоробчатый химический фильтр、Химический фильтр типа V иХимические фильтры FFU и другие структурные формы могут быть подобраны в одной системе в соответствии с потребностями как в частицах, так и в газах. В комбинированном плане цель контроля частиц и цель газового загрязнения подтверждаются соответственно, относительное положение фильтра определяется в соответствии с положением вентилятора, методом обслуживания и требованиями контроля частиц, а соответствующие данные сопротивления ULPA и AMC перечислены в разделах.Блок фильтра вентилятора FFU проверяет рабочую точку вентилятора по общему сопротивлению после комбинации.Система управления компьютерной группой ФФУ фиксирует фактические параметры работы объединенной системы.Нестандартный проект комбинации фильтров ULPA сочетает в себе исходную рабочую точку оценки кривой вентилятора,Химические фильтры V-образной формы балансируют сопротивление и площадь в ограниченном пространстве. Предоставьте цели процесса, установочные чертежи, условия эксплуатации и требования приемки для дальнейшего обмена информацией.фильтров сверхвысокой эффективности ULPA . Стандартные спецификации, нестандартные интерфейсы, образцы и подбор партий Конкретные параметры и диапазон испытаний основаны на подтвержденной модели и технической документации.