Wie kombiniere ich ULPA- und AMC-Filter? Installationsreihenfolge und Systemwiderstand

Die Kombination aus ULPA-Filter und AMC-Filter sollte die Kontrolle von Partikeln bzw. Zielgasschadstoffen erfüllen und die Installationsreihenfolge, die Materialfreisetzung und der Gesamtwiderstand sollten gemeinsam überprüft werden. Der ULPA selbst sollte nicht als Allzweckgerät zur Gasentfernung verwendet werden. Partikelfiltration und Gasfiltration sind zwei verschiedene Mechanismen. ULPA löst Partikel und AMC löst gasförmige molekulare Verschmutzung. Die beiden können sich nicht gegenseitig ersetzen. Der Kombinationsplan muss drei Fragen beantworten: ob die Gasfiltration vor oder nach der Partikelfiltration platziert werden soll, ob der kombinierte Gesamtwiderstandsventilator geschoben werden kann und ob sich die Materialfreisetzung der beiden Filter gegenseitig beeinflusst. Die Produktlinien von Aili Industrial decken beides abHEPA/ULPA-Filter undchemische Filter einschließlichChemischer Kastenfilter、Chemischer Filter Typ V undFFU-Chemiefilter und andere Strukturformen können je nach Partikel- und Gasbedarf im selben System kombiniert werden.

1. Auswahl nach Schadstoffen: Partikel gehören zu ULPA und Gase gehören zu AMC. Sie können nicht miteinander vermischt werden.

Klären Sie die Gasart, Konzentration, Feuchtigkeit und Prozessanforderungen. Das AMC-Medium soll auf die Zielschadstoffe abzielen und ULPA ist für die entsprechende Partikelfiltration verantwortlich.

In Halbleiter- und Präzisionsfertigungsszenarien treten Partikel- und molekulare Verschmutzung häufig nebeneinander auf, ihre Kontrollziele und Erkennungsmethoden sind jedoch unterschiedlich. Der Effizienzindex von ULPA basiert auf der Partikelgröße und der Index von AMC-Filtern basiert auf der Zielgasart und der Entfernungseffizienz. Das Gasproblem als Partikelproblem zu behandeln und den ULPA-Wert zu verbessern, ist sinnlos; Wenn man das Partikelproblem chemischen Filtern überlässt, wird die Partikelkonzentration nicht verbessert. Aili Industry bestätigte die Ziele zur Partikelkontrolle und zur gasförmigen Verschmutzung im kombinierten Plan separat.HEPA/ULPA-Filter entspricht Partikeln,Chemische Filter entsprechen den Zielschadstoffen und ihre Effizienz und Testmethoden werden separat aufgeführt. Die Beziehung zwischen Ebenen und Filteranforderungen finden Sie inVergleich der ISO-Reinheitsgrade。

2. Die Bestellung muss mit dem spezifischen System kombiniert werden: Keine Bestellung deckt alle Strukturen ab

Unter Berücksichtigung möglicher Partikeleinträge durch chemische Medien, vorgeschalteter Schutzmaßnahmen, Ventilatorstandort und Wartungsmethoden ist es nicht möglich, alle Bauwerke in einer festen Reihenfolge abzudecken.

Ob der AMC-Filter vor oder nach dem ULPA platziert wird, hängt vom System und den Wartungsmethoden ab. Wenn es vor ULPA platziert wird, kann das chemische Medium ULPA vor gasförmigen Schadstoffen schützen, aber das chemische Medium selbst kann Partikel erzeugen, die stromabwärts von ULPA abgefangen werden müssen; Bei Platzierung nach ULPA ist das chemische Medium direkt auf die Reinseite gerichtet, aber das Risiko einer Partikelfreisetzung aus dem chemischen Medium beeinträchtigt die endgültige Luftversorgungsqualität. Aili Industry istFFU chemische Filter undBeim kastenförmigen chemischen Filterpaket wird die relative Position des Filters entsprechend der Lüfterposition, der Wartungsmethode und den Anforderungen an die Partikelkontrolle bestimmt. Unterschiedliche Strukturen entsprechen unterschiedlichen Installationssequenzen.FFU-Lüfterfiltereinheit undDas Kombinationsszenario der EFU-Lüfterfiltereinheit am Geräteende kann den Sequenzplan entsprechend dem Innenraum und dem Wartungspfad bestätigen. Bitte beachten Sie die wichtigsten Punkte zur Auswahl chemischer Filter.HEPA-FAQs und Auswahlhilfe。

3. Überprüfen Sie die kombinierte Leistung: Der Gesamtwiderstand und die beiden Schadstoffe werden separat bestätigt

Überprüfen Sie den Gesamtdruckverlust, die Luftstromverteilung und die Materialreinigungsanforderungen, legen Sie partikel- und gasbezogene Tests entsprechend dem Projekt fest und protokollieren Sie die entsprechenden Schlussfolgerungen.

Nach der Kombination von ULPA und AMC ist der Gesamtsystemwiderstand die Summe aus beiden plus dem Luftkanal und anderen Komponenten. Wenn der Lüfter nur nach dem Widerstand von ULPA konfiguriert ist, reicht die Luftmenge nach Zugabe von AMC möglicherweise nicht aus. Aili Industries listet im Kombinationsplan die jeweiligen Beständigkeitsdaten von ULPA und AMC auf.Die FFU-Lüfterfiltereinheit kann den Lüfterarbeitspunkt anhand des kombinierten Gesamtwiderstands überprüfen.Die Rechnergruppensteuerung FFU erfasst die tatsächlichen Betriebsparameter der Verbundanlage. Im Hinblick auf die Leistungsüberprüfung sollten Partikel und Gase getrennt getestet werden, und ein Indikator kann nicht verwendet werden, um auf den anderen zu schließen. Informationen zu Verifizierungsmethoden kombinierter Systeme finden Sie unterHäufig gestellte Fragen und Auswahlhilfe für ULPA-Ultrahocheffizienzfilter。

4. Wenn die Luftmenge nach der Installation von AMC sinkt, muss der Arbeitspunkt erneut überprüft werden.

Wenn die Luftmenge nach der Installation des AMC sinkt, sollte der Arbeitspunkt erneut überprüft werden. Es ist nicht ratsam, einfach den Filter zu installieren und die ursprüngliche Geschwindigkeitseinstellung beizubehalten. Der Widerstand des AMC-Filters überlagert sich mit dem Gesamtwiderstand des Systems und der Arbeitspunkt des Lüfters verschiebt sich bei gleicher Drehzahl in Richtung kleiner Luftmenge.

Aili Industry istIm nicht standardmäßigen ULPA-Filterkombinationsschema können die ursprüngliche Lüfterkurve und der kombinierte Gesamtwiderstand kombiniert werden, um den Arbeitspunkt zu bewerten und den Test bei Bedarf zu bestehen.Die Drehzahlregulierung der FFU-Ventilatorfiltereinheit gleicht die Luftmenge aus.Die strukturelle Form des V-förmigen chemischen Filters bietet eine große Filterfläche auf begrenztem Raum, wodurch ein Gleichgewicht zwischen Widerstand und Platz gefunden werden kann. Informationen zum Arbeitspunktversatz finden Sie unterFFU-FAQ und technischer Support。

5. Verwandte Fragen und Antworten

Können alle Gase durch den Einbau eines AMC-Filters kontrolliert werden?
Nein, es sollte entsprechend den Zielschadstoffen und Arbeitsbedingungen ausgewählt werden und die anwendbare Test- und Austauschbasis sollte bestätigt werden.

Kann ULPA gasförmige molekulare Verschmutzung entfernen?
kann nicht. ULPA wird zur Partikelfiltration eingesetzt, gasförmige Verschmutzungen erfordern entsprechende chemische Filtrationslösungen.

Sollte im kombinierten System der AMC vor oder hinter dem ULPA platziert werden?
Hängt von der Systemarchitektur, dem Lüfterstandort und den Wartungsmethoden ab. Unterschiedliche Strukturen entsprechen unterschiedlichen Abläufen, die durch konkrete Pläne bestätigt werden müssen.

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chemischer Filter

FFU-Chemiefilter

HEPA-FAQs und Auswahlhilfe

7. Wichtige Punkte für die Auswahl und Abnahmeprüfung

8. Produktabstimmung und technischer Support von Aili Industrial

Die Produktlinien von Aili Industrial decken beides abHEPA/ULPA-Filter undchemische Filter einschließlichChemischer Kastenfilter、Chemischer Filter Typ V undFFU-Chemiefilter und andere Strukturformen können je nach Partikel- und Gasbedarf im selben System kombiniert werden. Im kombinierten Plan werden das Partikelkontrollziel bzw. das Ziel der gasförmigen Verschmutzung bestätigt, die relative Position des Filters entsprechend der Lüfterposition, der Wartungsmethode und den Partikelkontrollanforderungen bestimmt und die jeweiligen Widerstandsdaten von ULPA und AMC in Abschnitten aufgeführt.Die FFU-Lüfterfiltereinheit prüft nach der Kombination den Lüfterarbeitspunkt anhand des Gesamtwiderstands.Die Rechnergruppensteuerung FFU erfasst die tatsächlichen Betriebsparameter der Verbundanlage.Das nicht standardmäßige ULPA-Filterkombinationsprojekt kombiniert den ursprünglichen Arbeitspunkt der Lüfterkurvenbewertung,V-förmige chemische Filter gleichen Widerstand und Fläche auf begrenztem Raum aus. Stellen Sie Prozessziele, Installationszeichnungen, Betriebsbedingungen und Abnahmeanforderungen für die weitere Kommunikation bereitULPA-Ultrahocheffizienzfiltern . Standardspezifikationen, nicht standardmäßige Schnittstellen, Muster und Chargenanpassung von Die spezifischen Parameter und Testbereiche basieren auf dem bestätigten Modell und den technischen Unterlagen.