Comment combiner les filtres ULPA et AMC ? Séquence d'installation et résistance du système

La combinaison du filtre ULPA et du filtre AMC doit répondre respectivement au contrôle des particules et des polluants gazeux cibles, et la séquence d'installation, la libération du matériau et la résistance totale doivent être vérifiées ensemble. L'ULPA lui-même ne doit pas être utilisé comme dispositif d'élimination des gaz à usage général. La filtration des particules et la filtration des gaz sont deux mécanismes différents. ULPA résout les particules et AMC résout la pollution moléculaire gazeuse. Les deux ne peuvent pas se remplacer. Le plan de combinaison doit répondre à trois questions : si la filtration des gaz doit être placée avant ou après la filtration des particules, si le ventilateur à résistance totale combiné peut être poussé et si la libération de matière des deux filtres s'influencera mutuellement. Les gammes de produits d'Aili Industrial couvrent à la foisFiltres HEPA/ULPA etfiltres chimiques, y comprisBoîte de filtre chimique、Filtre chimique de type V etLes filtres chimiques FFU et d'autres formes structurelles peuvent être associés dans le même système en fonction des besoins en particules et en gaz.

1. Sélection par polluants : les particules appartiennent à l'ULPA et les gaz appartiennent à l'AMC. Ils ne peuvent pas être mélangés.

Clarifiez le type de gaz, la concentration, l’humidité et les exigences du processus. Les médias AMC doivent cibler les polluants cibles et l'ULPA est responsable de la filtration des particules correspondante.

Dans les scénarios de fabrication de semi-conducteurs et de précision, la pollution particulaire et moléculaire coexiste souvent, mais leurs cibles de contrôle et leurs méthodes de détection sont différentes. L'indice d'efficacité de l'ULPA est basé sur la taille des particules et l'indice du filtre AMC est basé sur le type de gaz cible et l'efficacité d'élimination. Traiter le problème des gaz comme un problème de particules et améliorer le taux d’ULPA ne sert à rien ; laisser le problème des particules aux filtres chimiques n’améliorera pas la concentration des particules. Aili Industry a confirmé séparément les objectifs de contrôle des particules et les objectifs de pollution gazeuse dans le plan combiné.Le filtre HEPA/ULPA correspond aux particules,Les filtres chimiques correspondent aux polluants cibles, et leurs efficacités et méthodes de test sont répertoriées séparément. La relation entre les niveaux et les exigences de filtrage peut être trouvée dansComparaison du niveau de propreté ISO。

2. La commande doit être combinée avec le système spécifique : aucune commande ne couvre toutes les structures

Compte tenu des éventuelles particules introduites par les milieux chimiques, de la protection en amont, de l'emplacement des ventilateurs et des méthodes de maintenance, il n'est pas possible de couvrir toutes les structures dans une séquence fixe.

Le fait que le filtre AMC soit placé avant ou après l'ULPA dépend du système et des méthodes de maintenance. Lorsqu'il est placé avant l'ULPA, le milieu chimique peut protéger l'ULPA des polluants gazeux, mais le milieu chimique lui-même peut produire des particules, ce qui nécessite l'interception de l'ULPA en aval ; lorsqu'il est placé après l'ULPA, le milieu chimique fait directement face au côté propre, mais le risque de libération de particules du milieu chimique affectera la qualité finale de l'alimentation en air. L'industrie Aili estFiltres chimiques FFU etDans l'ensemble de filtre chimique de type boîte , la position relative du filtre est déterminée en fonction de la position du ventilateur, de la méthode de maintenance et des exigences de contrôle des particules. Différentes structures correspondent à différentes séquences d'installation.Unité de filtre de ventilateur FFU etLe scénario de combinaison d'unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU peut confirmer le plan de séquence en fonction de l'espace interne et du chemin de maintenance. Veuillez vous référer aux points clés pour sélectionner les filtres chimiques.FAQ HEPA et guide de sélection。

3. Vérifier les performances combinées : la résistance totale et les deux polluants sont confirmés séparément

Vérifiez la perte de pression totale, la distribution du débit d'air et les exigences de nettoyage des matériaux, déterminez les tests liés aux particules et aux gaz en fonction du projet et enregistrez les conclusions respectivement.

Après avoir combiné ULPA et AMC, la résistance totale du système est la somme des deux plus le conduit d'air et les autres composants. Si le ventilateur est configuré uniquement en fonction de la résistance de l'ULPA, le volume d'air peut être insuffisant après ajout d'AMC. Aili Industries répertorie les données de résistance respectives de l'ULPA et de l'AMC dans le plan de combinaison.L'unité de filtre de ventilateur FFU peut vérifier le point de fonctionnement du ventilateur en fonction de la résistance totale combinée.Le système de contrôle du groupe informatique FFU enregistre les paramètres de fonctionnement réels du système combiné. En termes de vérification des performances, les particules et les gaz doivent être testés séparément, et un indicateur ne peut pas être utilisé pour déduire l'autre. Pour les méthodes de vérification des systèmes combinés, veuillez vous référer àFAQ et guide de sélection des filtres ultra-haute efficacité ULPA。

4. Lorsque le volume d'air diminue après l'installation de l'AMC, le point de fonctionnement doit être revérifié.

Lorsque le volume d'air diminue après l'installation de l'AMC, le point de fonctionnement doit être revérifié. Il n'est pas conseillé d'installer simplement le filtre et de conserver le réglage de vitesse d'origine. La résistance du filtre AMC se superposera à la résistance totale du système, et le point de fonctionnement du ventilateur à la même vitesse se déplacera dans la direction d'un petit volume d'air.

L'industrie Aili estDans le schéma de combinaison de filtre ULPA non standard , la courbe de ventilateur d'origine et la résistance totale combinée peuvent être combinées pour évaluer le point de fonctionnement et réussir le test si nécessaire.La capacité de régulation de vitesse de l'unité de filtre à ventilateur FFU compense le volume d'air.La forme structurelle du filtre chimique en forme de V offre une grande zone de filtrage dans un espace limité, qui permet de trouver un équilibre entre résistance et espace. Pour juger du décalage du point de travail, veuillez vous référer àFAQ FFU et support technique。

5. Questions et réponses connexes

Tous les gaz peuvent-ils être contrôlés en installant un filtre AMC ?
Non, il doit être sélectionné en fonction des polluants cibles et des conditions de travail, et la base de test et de remplacement applicable doit être confirmée.

L’ULPA peut-elle éliminer la pollution moléculaire gazeuse ?
ne peut pas. L'ULPA est utilisé pour la filtration des particules et la pollution gazeuse nécessite des solutions de filtration chimique correspondantes.

Dans le système combiné, l’AMC doit-elle être placée devant ou derrière l’ULPA ?
Dépend de l'architecture du système, de l'emplacement des ventilateurs et des méthodes de maintenance. À différentes structures correspondent des séquences différentes, qui nécessitent d'être confirmées par des plans précis.

6. Articles connexes

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filtre chimique

Filtre chimique FFU

FAQ HEPA et guide de sélection

7. Points clés pour le contrôle de sélection et d'acceptation

8. Correspondance des produits et support technique d'Aili Industrial

Les gammes de produits d'Aili Industrial couvrent à la foisFiltres HEPA/ULPA etfiltres chimiques, y comprisBoîte de filtre chimique、Filtre chimique de type V etLes filtres chimiques FFU et d'autres formes structurelles peuvent être associés dans le même système en fonction des besoins en particules et en gaz. Dans le plan combiné, l'objectif de contrôle des particules et l'objectif de pollution gazeuse sont respectivement confirmés, la position relative du filtre est déterminée en fonction de la position du ventilateur, de la méthode de maintenance et des exigences de contrôle des particules, et les données de résistance respectives de l'ULPA et de l'AMC sont répertoriées dans les sections.L'unité de filtre de ventilateur FFU vérifie le point de fonctionnement du ventilateur en fonction de la résistance totale après combinaison.Le système de contrôle du groupe informatique FFU enregistre les paramètres de fonctionnement réels du système combiné.Le projet de combinaison de filtres ULPA non standard combine le point de travail original de l'évaluation de la courbe du ventilateur,Les filtres chimiques en forme de V équilibrent la résistance et la surface dans un espace limité. Fournir les objectifs du processus, les dessins d'installation, les conditions de fonctionnement et les exigences d'acceptation pour une communication ultérieure.filtres à ultra haute efficacité ULPA . Spécifications standards, interfaces non standard, échantillons et correspondance de lots de Les paramètres spécifiques et la plage de test sont basés sur le modèle confirmé et les documents techniques.