Làm cách nào để kết hợp bộ lọc ULPA và AMC? Trình tự cài đặt và sức đề kháng của hệ thống

Sự kết hợp giữa bộ lọc ULPA và bộ lọc AMC phải đáp ứng việc kiểm soát các chất ô nhiễm dạng hạt và khí mục tiêu tương ứng, đồng thời phải kiểm tra trình tự lắp đặt, giải phóng vật liệu và tổng điện trở. Bản thân ULPA không nên được sử dụng làm thiết bị loại bỏ khí cho mục đích chung. Lọc hạt và lọc khí là hai cơ chế khác nhau. ULPA giải quyết các hạt và AMC giải quyết ô nhiễm phân tử khí. Hai cái đó không thể thay thế cho nhau. Kế hoạch kết hợp cần trả lời ba câu hỏi: nên đặt bộ lọc khí trước hay sau quá trình lọc hạt, liệu quạt tổng trở tổng hợp có thể được đẩy hay không và liệu việc giải phóng vật liệu của hai bộ lọc có ảnh hưởng lẫn nhau hay không. Các dòng sản phẩm của Aili Industrial bao gồm cảBộ lọc HEPA/ULPA vàbộ lọc hóa học bao gồmHộp lọc hóa chất、Bộ lọc hóa học loại V vàBộ lọc hóa học FFU và các dạng cấu trúc khác có thể được kết hợp trong cùng một hệ thống theo nhu cầu cả hạt và khí.

1. Lựa chọn theo chất ô nhiễm: hạt thuộc ULPA và khí thuộc AMC. Chúng không thể trộn lẫn với nhau.

Làm rõ các yêu cầu về loại khí, nồng độ, độ ẩm và quy trình. Môi trường AMC sẽ nhắm tới các chất gây ô nhiễm mục tiêu và ULPA chịu trách nhiệm lọc hạt tương ứng.

Trong các tình huống sản xuất chất bán dẫn và độ chính xác, ô nhiễm hạt và phân tử thường cùng tồn tại, nhưng mục tiêu kiểm soát và phương pháp phát hiện của chúng là khác nhau. Chỉ số hiệu quả của ULPA dựa trên kích thước hạt và chỉ số của bộ lọc AMC dựa trên loại khí mục tiêu và hiệu quả loại bỏ. Việc coi vấn đề khí như vấn đề hạt và cải thiện mức ULPA là vô ích; để lại vấn đề hạt cho các bộ lọc hóa học sẽ không cải thiện được nồng độ hạt. Aili Industry đã xác nhận riêng các mục tiêu kiểm soát hạt và mục tiêu ô nhiễm khí trong kế hoạch tổng hợp.Bộ lọc HEPA/ULPA tương ứng với các hạt,Bộ lọc hóa học tương ứng với các chất ô nhiễm mục tiêu, hiệu quả và phương pháp thử nghiệm của chúng được liệt kê riêng. Mối quan hệ giữa các cấp độ và yêu cầu lọc có thể được tìm thấy trongSo sánh mức độ sạch ISO。

2. Lệnh cần phải kết hợp với hệ thống cụ thể: không có lệnh nào bao quát hết tất cả các công trình

Có tính đến các hạt có thể được đưa vào bởi môi trường hóa học, bảo vệ ngược dòng, vị trí quạt và phương pháp bảo trì, không thể bao phủ tất cả các cấu trúc theo một trình tự cố định.

Việc đặt bộ lọc AMC trước hay sau ULPA tùy thuộc vào hệ thống và phương pháp bảo trì. Khi được đặt trước ULPA, môi trường hóa học có thể bảo vệ ULPA khỏi các chất ô nhiễm dạng khí, nhưng bản thân môi trường hóa học có thể tạo ra các hạt, do đó cần phải có ULPA để chặn ở hạ lưu; khi được đặt sau ULPA, môi trường hóa học đối diện trực tiếp với mặt sạch, nhưng nguy cơ giải phóng hạt từ môi trường hóa học sẽ ảnh hưởng đến chất lượng cấp khí cuối cùng. Công nghiệp Aili làBộ lọc hóa học FFU vàTrong gói bộ lọc hóa học dạng hộp , vị trí tương đối của bộ lọc được xác định theo vị trí quạt, phương pháp bảo trì và yêu cầu kiểm soát hạt. Các cấu trúc khác nhau tương ứng với trình tự cài đặt khác nhau.Bộ lọc quạt FFU vàKịch bản kết hợp bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU có thể xác nhận sơ đồ trình tự theo không gian bên trong và đường dẫn bảo trì. Vui lòng tham khảo những điểm chính để chọn bộ lọc hóa học.Các câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA。

3. Xác minh hiệu suất kết hợp: tổng sức cản và hai chất gây ô nhiễm được xác nhận riêng biệt

Kiểm tra tổng tổn thất áp suất, phân phối luồng không khí và các yêu cầu làm sạch vật liệu, xác định các thử nghiệm liên quan đến hạt và khí theo dự án và ghi lại kết luận tương ứng.

Sau khi kết hợp ULPA và AMC, tổng điện trở của hệ thống là tổng của cả hai cộng với ống dẫn khí và các thành phần khác. Nếu quạt chỉ được cấu hình theo điện trở của ULPA thì lượng không khí có thể không đủ sau khi thêm AMC. Aili Industries liệt kê dữ liệu kháng tương ứng của ULPA và AMC trong kế hoạch kết hợp.Bộ lọc quạt FFU có thể kiểm tra điểm làm việc của quạt dựa trên tổng điện trở kết hợp.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại các thông số vận hành thực tế của hệ thống kết hợp. Về mặt xác minh hiệu suất, các hạt và khí phải được kiểm tra riêng biệt và không thể sử dụng một chỉ báo để suy ra chỉ báo kia. Để biết các phương pháp xác minh của hệ thống kết hợp, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA。

4. Khi lượng không khí giảm sau khi lắp đặt AMC, điểm làm việc phải được kiểm tra lại.

Khi lượng không khí giảm sau khi lắp đặt AMC, cần kiểm tra lại điểm làm việc. Không nên chỉ lắp bộ lọc và giữ nguyên cài đặt tốc độ ban đầu. Điện trở của bộ lọc AMC sẽ được cộng vào điện trở tổng của hệ thống và điểm làm việc của quạt ở cùng tốc độ sẽ di chuyển theo hướng có thể tích không khí nhỏ.

Công nghiệp Aili làTrong sơ đồ kết hợp bộ lọc ULPA không chuẩn , đường cong quạt ban đầu và tổng điện trở tổng hợp có thể được kết hợp để đánh giá điểm làm việc và vượt qua bài kiểm tra nếu cần.Khả năng điều chỉnh tốc độ của bộ lọc quạt FFU bù cho lượng không khí.Dạng cấu trúc của bộ lọc hóa học hình chữ V cung cấp diện tích lọc lớn trong một không gian hạn chế, có thể tìm thấy sự cân bằng giữa điện trở và không gian. Để đánh giá độ lệch điểm làm việc, vui lòng tham khảoCâu hỏi thường gặp về FFU và hỗ trợ kỹ thuật。

5. Câu hỏi và đáp án liên quan

Có thể kiểm soát tất cả các loại khí bằng cách lắp đặt bộ lọc AMC không?
Không, nó phải được lựa chọn theo các chất ô nhiễm mục tiêu và điều kiện làm việc, đồng thời phải xác nhận cơ sở thử nghiệm và thay thế hiện hành.

ULPA có thể loại bỏ ô nhiễm phân tử khí?
không thể. ULPA được sử dụng để lọc hạt, ô nhiễm khí cần có giải pháp lọc hóa học tương ứng.

Trong hệ thống kết hợp, AMC nên được đặt trước hay sau ULPA?
Phụ thuộc vào kiến ​​trúc hệ thống, vị trí quạt và phương pháp bảo trì. Các cấu trúc khác nhau tương ứng với các trình tự khác nhau, cần được xác nhận bằng các kế hoạch cụ thể.

6. Các bài viết liên quan

Câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA

bộ lọc hóa học

Bộ lọc hóa học FFU

Các câu hỏi thường gặp và hướng dẫn lựa chọn về HEPA

7. Những điểm chính trong việc lựa chọn và nghiệđược phối hợp tốt, nó có thể bị lộ trong giai đoạn gỡ lỗi hoặc chạy. Công nghiệp Aili là

8. Hỗ trợ kỹ thuật và kết hợp sản phẩm từ Aili Industrial

Các dòng sản phẩm của Aili Industrial bao gồm cảBộ lọc HEPA/ULPA vàbộ lọc hóa học bao gồmHộp lọc hóa chất、Bộ lọc hóa học loại V vàBộ lọc hóa học FFU và các dạng cấu trúc khác có thể được kết hợp trong cùng một hệ thống theo nhu cầu cả hạt và khí. Trong kế hoạch kết hợp, mục tiêu kiểm soát hạt và mục tiêu ô nhiễm khí được xác nhận tương ứng, vị trí tương đối của bộ lọc được xác định theo vị trí quạt, phương pháp bảo trì và các yêu cầu kiểm soát hạt, đồng thời dữ liệu điện trở tương ứng của ULPA và AMC được liệt kê trong các phần.Bộ lọc quạt FFU kiểm tra điểm làm việc của quạt theo tổng điện trở sau khi kết hợp.Hệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU ghi lại các thông số vận hành thực tế của hệ thống kết hợp.Dự án kết hợp bộ lọc ULPA không chuẩn kết hợp điểm làm việc đánh giá đường cong quạt ban đầu,Bộ lọc hóa học hình chữ V cân bằng điện trở và diện tích trong một không gian hạn chế. Cung cấp các mục tiêu quy trình, bản vẽ lắp đặt, điều kiện vận hành và các yêu cầu chấp nhận để liên lạc thêmbộ lọc hiệu suất cực cao ULPA . Thông số kỹ thuật tiêu chuẩn, giao diện phi tiêu chuẩn, mẫu và kết hợp lô của Các thông số cụ thể và phạm vi thử nghiệm dựa trên mô hình và tài liệu kỹ thuật đã được xác nhận.