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Comment déterminer la mesure de la vitesse du vent en surface EFU des équipements semi-conducteurs ? Calcul, mesure, facteurs d'influence et méthodes d'acceptation

Nombre de vues : 5496     Auteur : Aili Industry Heure de sortie : 2027-08-07 Source : Ai Li Industriel

Enquête

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Comment déterminer la mesure de la vitesse du vent en surface EFU des équipements semi-conducteurs ? Calcul, mesure, facteurs d'influence et méthodes d'acceptation

Comment déterminer la mesure de la vitesse du vent en surface EFU des équipements semi-conducteurs ? Vous ne pouvez pas mesurer un seul point pour représenter la machine entière. La mesure de la vitesse du vent face implique une zone de filtrage efficace, la disposition des points de mesure, les conditions de mesure, les instruments et les normes de jugement. Lors du calcul de la vitesse du vent face, le volume d'air cible doit être divisé par la zone de filtration efficace ; lors de la mesure de la vitesse du vent face, une mesure de grille multipoint doit être utilisée pour calculer la valeur moyenne et l'écart ; pour juger s'il est qualifié, les conditions de travail de mesure et les normes de jugement doivent être combinées. Les équipements à semi-conducteurs ont des exigences élevées en matière de stabilité de la vitesse du vent, les méthodes de mesure ne sont pas uniformes, les données ne peuvent pas être comparées et les conclusions d'acceptation sont sujettes à des désaccords. Le système de fabrication EFU d'Airee Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et l'assemblage complet de machines. Le calcul de la vitesse du vent en surface, la disposition des points de mesure et les points de travail complets de la machine peuvent être vérifiés selon les dessins de l'équipement dans le même système de fabrication. Il n'est pas nécessaire d'aller et venir entre l'usine de filtres, l'usine de ventilateurs et l'usine de machines complètes pour confirmation. C'est pourquoi de nombreux fabricants d'équipements semi-conducteurs se réfèrent aux instructions de configuration d'Airee Industrial lors de la détermination des mesures de vitesse du vent en surface de l'EFU.

Calcul : volume d'air cible divisé par la surface de filtration efficace

La première étape du calcul de la vitesse du vent face consiste à déterminer le volume d’air cible et la surface efficace du filtre. Le volume d'air cible est déterminé en fonction de la taille de la zone de protection et de la vitesse du vent autorisée. La surface de filtration efficace est calculée sur la base de la surface réelle de sortie d'air du filtre, à l'exclusion du cadre et du cadre de pression. Divisez le volume d'air cible par la surface efficace du filtre pour obtenir la vitesse moyenne du vent en surface. Lors du calcul, faites attention à l'unité des unités. Le volume d'air est en mètres cubes par heure, la superficie est en mètres carrés et la vitesse du vent est en mètres par seconde.

élément calculé

Ce qui devrait être confirmé

FAQ

Volume d'air cible

Le volume d'alimentation en air requis de la zone protégée

Donner uniquement le volume d'air nominal

Surface efficace

Zone de sortie d'air réelle du filtre

Remplacer par la zone extérieure

Unités unifiées

Unités de volume d'air, de surface et de vitesse du vent

Unités de mélange

filtre multidisque

Superficie totale du filtre multi-pièces

Calculé sur la base d'une seule commande uniquement

Pour la méthode de calcul de la vitesse du vent face, veuillez vous référer àComment calculer la vitesse du vent à la surface de l'EFU ? permettent de déterminer la zone de filtration efficace et la vitesse moyenne du vent . Les étapes de calcul Pour la relation entre le volume d'air et la surface, veuillez vous référer àComment calculer le volume d'air nominal EFU ? la surface d'air soufflé, la vitesse du vent cible et la méthode de conversion d'unité .Explications sur

Mesure : les points de mesure en grille couvrent toute la surface de sortie d'air

La deuxième étape de la mesure de la vitesse du vent face au vent consiste à disposer les points de mesure. Les points de mesure doivent couvrir toute la surface effective de sortie d'air selon la grille et ne peuvent pas mesurer uniquement le point central. Le nombre de points de mesure est déterminé en fonction des exigences de taille et de précision de la surface de sortie d'air. Plus la surface de sortie d'air est grande et plus les exigences d'uniformité sont élevées, plus il y a de points de mesure. Lors de la mesure, l'emplacement, la quantité et les conditions de mesure des points de mesure doivent être enregistrés pour faciliter la nouvelle mesure et la comparaison.

Éléments de mesure

Ce qui devrait être confirmé

FAQ

disposition en grille

Nombre et espacement des lignes et colonnes des points de mesure

Mesurez uniquement le point central

Couverture

S'il faut couvrir toute la surface effective de sortie d'air

Les points de mesure sont concentrés localement

Nombre de points de mesure

Nombre total et répartition des points de mesure

Trop peu de points de mesure

Enregistrement des points de mesure

Plan de localisation et numérotation

Localisation non enregistrée

Pour les méthodes de disposition des points de mesure et d'évaluation de l'uniformité, veuillez vous référer àComment évaluer l’uniformité de la vitesse du vent de l’EFU ? Plan des points de mesure, valeur moyenne, écart et méthode d'acceptation .

Conditions de mesure : avec élément filtrant, la pression statique à l'extérieur de la machine doit être constante

La vitesse frontale n'est pas une valeur fixe et varie en fonction de la résistance du filtre et des conditions du système. Lors de la mesure, il est nécessaire d'indiquer s'il y a un filtre, quelle est la pression statique à l'extérieur de la machine, quelle est la vitesse ou l'engrenage du ventilateur et où se trouve le plan de mesure sur la surface de sortie d'air. La vitesse du vent frontal mesurée sans l'élément filtrant ne peut pas représenter la vitesse réelle du vent frontal après l'installation.

Articles en état de fonctionnement

Ce qui devrait être confirmé

Impact sur les résultats de mesure

état du filtre

Que ce soit avec élément filtrant et résistance d'élément filtrant

La vitesse du vent diminue après l'ajout d'un élément filtrant

Pression statique externe

Conduit d'air interne de l'équipement et résistance de sortie d'air

La résistance augmente et la vitesse du vent diminue

Équipement de ventilateur

Commande de vitesse ou de contrôle

Modifications de la vitesse de rotation Modifications de la vitesse du vent

Plan de mesure

Emplacement et distance de la sortie d'air

Différentes distances, différentes vitesses de vent

Pour la relation entre les conditions de travail de mesure et le volume d'air, veuillez vous référer àComment calculer le volume d'air nominal EFU ? la zone d'alimentation en air, la vitesse du vent cible et la méthode de conversion d'unité .Le calibre de calcul dans

Facteurs d'influence : quelles conditions changent face à la vitesse du vent

La vitesse du vent face est affectée par plusieurs facteurs. La résistance du filtre augmente, le volume d'air diminue et la vitesse du vent face diminue ; l'entrée d'air est bloquée, la résistance d'entrée augmente et la vitesse du vent face diminue ; le conduit d'air de la boîte change et le point de fonctionnement dévie ; la vitesse du ventilateur est ajustée et la vitesse du vent face change ; le chemin de sortie d'air interne de l'équipement est bloqué et la contre-pression augmente. Lorsque vous mesurez la vitesse du vent face, enregistrez ces conditions en même temps, plutôt que de simplement regarder la valeur de la vitesse du vent.

Facteurs d'influence

Impact sur les résultats de mesure

Ce qui devrait être confirmé

résistance du filtre

La résistance augmente et la vitesse du vent diminue

État du filtre et différence de pression

Conditions d'entrée d'air

L'entrée est bloquée et la vitesse du vent diminue.

Dégagement et blindage de l'entrée d'air

Conduit d'air en boîte

Décalage du point de travail

Structure interne et partage actuel

Vitesse du ventilateur

Modifications de la vitesse de rotation Modifications de la vitesse du vent

Vitesse et commande actuelles

Voie aérienne

La contre-pression augmente et la vitesse du vent diminue

Structure de sortie d'air et blindage

Concernant la relation entre les conditions d'entrée d'air et la vitesse du vent face, veuillez vous référer àComment confirmer l'espace d'entrée d'air de l'EFU ? les dessins d'équipement, les conditions d'installation et les méthodes d'acceptation . Méthodes de vérification dans Pour la relation entre le conduit d'air du caisson et le point de travail, veuillez vous référer àComment déterminer la résistance interne des équipements EFU ? calculs, mesures, facteurs d'influence et méthodes d'acceptation .Description des

Méthode d'acceptation : les normes de jugement doivent être convenues à l'avance

Pour l’acceptation de la vitesse du vent face, les critères de jugement doivent être convenus à l’avance. La plage dans laquelle la vitesse moyenne du vent en surface doit être contrôlée, l'écart type relatif ne doit pas dépasser et la question de savoir si la zone à faible vitesse peut tomber dans la zone de protection doivent être clairement indiquées dans l'accord technique. Lors de l'acceptation, jugez selon les normes convenues, plutôt que d'établir des normes après les tests. Les critères de jugement ne sont pas clairs et la conclusion d'acceptation est sujette à des désaccords.

Articles d'acceptation

Ce qui devrait être confirmé

FAQ

Critères de jugement

Vitesse moyenne du vent et limites de déviation

La norme n'est pas convenue

Plan des points de mesure

Nombre et emplacement des points de mesure

Les plans des points de mesure sont incohérents

Conditions de mesure

État du filtre et équipement du ventilateur

Les conditions de travail sont différentes des conditions d'acceptation

Exigences d'enregistrement

Données des points de mesure et carte de répartition

Dossiers incomplets

Dans le projet EFU, Aili Industries a organisé les mesures de la vitesse du vent en surface conformément aux dessins d'équipement et aux conditions de travail convenues, et a rédigé les critères de jugement, le plan des points de mesure et les conditions de travail des mesures dans le document de confirmation. Pour les articles impliquant une acceptation complète de la machine, veuillez vous référer àComment évaluer l’uniformité de la vitesse du vent de l’EFU ? Points de mesure, valeurs moyennes, écarts et idées d'acceptation dans les méthodes d'acceptation.

Package EFU sur la vitesse du vent en surface d'Aili Industrial

Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et les commandes auto-développées. Le calcul de la vitesse du vent en surface, la disposition des points de mesure et les points de travail complets de la machine peuvent être vérifiés selon les dessins de l'équipement au sein du même système de fabrication. La taille du filtre, la structure du boîtier et les interfaces machine complètes n'ont pas besoin d'être transférées entre plusieurs fournisseurs. Pour les équipements semi-conducteurs nécessitant une vitesse de vent face, Aili Industries peut organiser des tests de prototypes et un durcissement par lots selon le diagramme de confirmation, et mettre le plan des points de mesure, les normes de jugement et les données complètes de la machine en données complètes vérifiables de la machine. Les machines associées peuvent être référencéesla page de l'unité de filtre de ventilateur de l'équipement EFU , veuillez vous référer à l'interface non standard.Pour la description structurelle sur Personnaliser EFU .Instructions de personnalisation sur la page

Comment générer des résultats de confirmation exécutables

Effectuez d’abord la sélection préliminaire des informations, puis effectuez une confirmation technique sur le modèle à acheter. Ajoutez le volume d'air cible, la surface efficace, le plan des points de mesure, les conditions de mesure et les normes de jugement à la liste supplémentaire, puis organisez une comparaison après la réponse du fournisseur. Les données confirmées sur la vitesse du vent face, la configuration complète de la machine et l'interface sont utilisées pour l'exécution des commandes, et les exemples de paramètres ne peuvent pas être utilisés pour remplacer les données de ce projet. Dans la fourniture EFU, Aili Industrial configure la machine complète selon le dessin de confirmation et les exigences réelles. Le ventilateur, le filtre, le boîtier et la commande correspondent à chaque élément de la liste de commande, ce qui permet au fabricant de l'équipement de mesurer plus facilement la vitesse du vent face aux conditions vérifiables de la machine complète.

Des malentendus à éviter

Il convient d'éviter de mesurer un seul point au centre pour représenter toute la surface de sortie d'air, d'éviter de mesurer la vitesse du vent en surface sans élément filtrant, d'éviter de regarder la valeur moyenne sans regarder l'écart, d'éviter de comparer les données lorsque les conditions de mesure ne sont pas uniformes et d'éviter de fixer la norme de jugement après l'avoir mesurée. L'essentiel de la mesure de la vitesse du vent face n'est pas de mesurer un nombre, mais de former une boucle fermée vérifiable de calcul, de points de mesure, de conditions de travail et de normes de jugement. Aili Industrial peut d'abord dresser une liste à confirmer selon les dessins d'équipement, répertoriant ensemble les points de mesure, les conditions de travail et les conditions de jugement.

Questions et réponses connexes

La sélection de l'EFU peut-elle être complétée en fournissant uniquement le volume d'air ?

Cela ne suffit généralement pas : la pression statique, les filtres, les interfaces structurelles et les conditions de contrôle sont également nécessaires pour déterminer le point de fonctionnement réel.

Comment promouvoir la mesure de la vitesse du vent en surface par l'EFU lorsque les informations du projet sont incomplètes ?

Le schéma général de l'équipement, l'espace disponible, le volume d'air cible ou la vitesse du vent, le niveau de filtration, l'alimentation électrique et la méthode de contrôle peuvent être fournis en premier, et le fournisseur formulera les éléments à confirmer ; avant que les conditions de travail clés ne soient confirmées, il n'est pas approprié de les finaliser sur la base de l'apparence ou d'une seule note. Aili Industrial peut d'abord dresser une liste à confirmer selon les dessins d'équipement, répertoriant ensemble les points de mesure, les conditions de travail et les conditions de jugement.

De quelles informations spécifiques ai-je besoin pour préparer cette question ?

Préparez les informations du projet actuel concernant les conditions de mesure, la résistance du système et les points de fonctionnement des ventilateurs. Le dessin général de l'équipement, la feuille de confirmation EFU et le dossier complet de test de la machine doivent correspondre à la configuration réelle achetée ; si le catalogue, le dessin de confirmation et le dossier de livraison sont incohérents, la version et le champ d'application doivent être vérifiés en premier. Lors de la détermination de la mesure de la vitesse du vent en surface EFU des équipements semi-conducteurs, vous pouvez vous référer aux instructions complètes de support de la machine et de la structure fournies par Aili Industry par modèle.

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Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Vérifier les éléments

Confirmer les points clés

calculer

Volume d'air cible divisé par la zone de filtration efficace

Mesures

Les points de mesure de la grille couvrent toute la surface de sortie d'air

Conditions de travail

Avec élément filtrant, pression statique externe, position du ventilateur

Facteurs d'influence

Filtre, entrée d'air, caisson, vitesse, sortie d'air

acceptation

Critères de jugement convenus à l'avance

Aili Industrial EFU sélection et assistance à l’approvisionnement

Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et les commandes auto-développées. Le calcul de la vitesse du vent en surface, la disposition des points de mesure et les points de travail complets de la machine peuvent être vérifiés selon les dessins de l'équipement au sein du même système de fabrication. La taille du filtre, la structure du boîtier et les interfaces machine complètes n'ont pas besoin d'être transférées entre plusieurs fournisseurs. L'usine d'équipement effectue la mesure de la vitesse du vent face et l'appariement complet des machines au sein du même système, ce qui est plus facile à maintenir la cohérence que la coordination entre fournisseurs.

apprendreProduits Aili Industrial EFU et configurations personnalisées , la structure complète de la machine peut être visualiséeUnité de filtre de ventilateur d'équipement EFU , interface non standard peut être visualiséeEFU personnalisé , le schéma de contrôle peut être consultéUnité de filtre de ventilateur d'équipement EFU de régulation de vitesse cc , l'ensemble de filtres peut être consultéFiltres à air HEPA et ULPA . Veuillez soumettre les éléments de contrôle, l'utilisation de l'équipement et la quantité estimée dans cet article pour faciliter la confirmation du modèle correspondant et de l'étendue de la fourniture.

Aili Industrial développe et fabrique des filtres à air FFU, EFU, HEPA/ULPA, des bouches d'aération à haute efficacité, des boîtiers de ventilation et d'autres équipements d'air pur. S'appuyant sur des moteurs, des ventilateurs, des systèmes de contrôle, des filtres et des capacités complètes de support de machines, nous fournissons une assistance à la sélection et à la personnalisation pour les projets de salles blanches et d'équipements de production.

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