tin tức

trang đầu » Câu hỏi thường gặp và hỗ trợ kỹ thuật » Câu hỏi thường gặp về thiết bị sạch và hỗ trợ kỹ thuật » Câu hỏi thường gặp về EFU và hỗ trợ kỹ thuật » Thể tích không khí EFU, tốc độ gió và áp suất tĩnh ? Làm thế nào để xác định số đo tốc độ gió bề mặt EFU của thiết bị bán dẫn Tính toán, đo lường, các yếu tố ảnh hưởng và phương pháp nghiệm thu

Làm thế nào để xác định phép đo tốc độ gió bề mặt EFU của thiết bị bán dẫn? Tính toán, đo lường, các yếu tố ảnh hưởng và phương pháp nghiệm thu

Số lượt xem: 5496     Tác giả: Aili Industry Thời gian phát hành: 2027-08-07 Nguồn: Công nghiệp Ái Lý

Cuộc điều tra

['facebook','twitter','linkedin','pinterest','whatsapp']

Làm thế nào để xác định phép đo tốc độ gió bề mặt EFU của thiết bị bán dẫn? Tính toán, đo lường, các yếu tố ảnh hưởng và phương pháp nghiệm thu

Làm thế nào để xác định phép đo tốc độ gió bề mặt EFU của thiết bị bán dẫn? Bạn không thể chỉ đo một điểm để đại diện cho toàn bộ máy. Đo tốc độ gió mặt bao gồm diện tích lọc hiệu quả, cách bố trí điểm đo, điều kiện đo, dụng cụ và tiêu chuẩn đánh giá. Khi tính toán tốc độ gió mặt, thể tích không khí mục tiêu phải được chia cho diện tích lọc hiệu quả; khi đo tốc độ gió mặt, nên sử dụng phép đo lưới đa điểm để tính giá trị trung bình và độ lệch; khi đánh giá liệu nó có đủ tiêu chuẩn hay không, cần kết hợp các điều kiện làm việc đo lường và tiêu chuẩn đánh giá. Thiết bị bán dẫn có yêu cầu cao về độ ổn định của tốc độ gió, phương pháp đo không đồng nhất, không thể so sánh dữ liệu và kết luận chấp nhận dễ có sự bất đồng. Hệ thống sản xuất EFU của Airee Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Tính toán tốc độ gió bề mặt, bố trí điểm đo và điểm làm việc hoàn chỉnh của máy có thể được kiểm tra theo bản vẽ thiết bị trong cùng hệ thống sản xuất. Không cần phải qua lại giữa nhà máy lọc, nhà máy quạt và nhà máy sản xuất máy hoàn chỉnh để xác nhận. Đây là lý do tại sao nhiều nhà sản xuất thiết bị bán dẫn tham khảo hướng dẫn cấu hình Airee Industrial khi xác định phép đo tốc độ gió bề mặt EFU.

Tính toán: thể tích không khí mục tiêu chia cho diện tích lọc hiệu quả

Bước đầu tiên trong việc tính toán tốc độ gió mặt là xác định thể tích không khí mục tiêu và diện tích lọc hiệu quả. Thể tích không khí mục tiêu được xác định dựa trên quy mô của khu vực bảo vệ và tốc độ gió cho phép. Diện tích lọc hiệu quả được tính toán dựa trên bề mặt thoát khí thực tế của bộ lọc, không bao gồm khung và khung áp suất. Chia thể tích không khí mục tiêu cho diện tích lọc hiệu quả để có được tốc độ gió bề mặt trung bình. Khi tính toán chú ý đến sự thống nhất của các đơn vị. Thể tích không khí tính bằng mét khối trên giờ, diện tích tính bằng mét vuông và tốc độ gió tính bằng mét trên giây.

mục tính toán

Điều gì cần được xác nhận

Câu hỏi thường gặp

Lượng không khí mục tiêu

Lượng cung cấp không khí cần thiết của khu vực được bảo vệ

Chỉ đưa ra thể tích không khí định mức

Khu vực hiệu quả

Diện tích cửa thoát khí thực tế của bộ lọc

Thay thế bằng khu vực bên ngoài

Đơn vị thống nhất

Đơn vị thể tích, diện tích, tốc độ gió

Đơn vị trộn

bộ lọc đa đĩa

Tổng diện tích bộ lọc nhiều mảnh

Chỉ được tính dựa trên một đơn hàng

Để biết phương pháp tính tốc độ gió mặt, vui lòng tham khảoLàm thế nào để tính tốc độ gió bề mặt EFU? cách xác định diện tích lọc hiệu quả và tốc độ gió trung bình . Các bước tính toán Để biết mối quan hệ giữa thể tích không khí và diện tích, vui lòng tham khảoLàm thế nào để tính toán lượng không khí định mức EFU? diện tích không khí cấp, tốc độ gió mục tiêu và phương pháp chuyển đổi đơn vị .Giải thích về

Đo lường: Các điểm đo dạng lưới bao phủ toàn bộ bề mặt cửa thoát khí

Bước thứ hai trong việc đo tốc độ gió mặt là sắp xếp các điểm đo. Các điểm đo phải bao phủ toàn bộ bề mặt thoát khí hiệu quả theo dạng lưới, không được chỉ đo điểm trung tâm. Số lượng điểm đo được xác định theo yêu cầu về kích thước và độ chính xác của bề mặt cửa thoát khí. Bề mặt thoát khí càng lớn và yêu cầu về độ đồng đều càng cao thì càng có nhiều điểm đo. Khi đo cần ghi lại vị trí, số lượng, điều kiện đo của các điểm đo để tiện cho việc đo lại, so sánh.

hạng mục đo lường

Điều gì cần được xác nhận

Câu hỏi thường gặp

Bố cục lưới

Số lượng và khoảng cách các hàng, cột của các điểm đo

Chỉ đo điểm trung tâm

Bảo hiểm

Có che phủ toàn bộ bề mặt thoát khí hiệu quả hay không

Các điểm đo tập trung cục bộ

Số điểm đo

Tổng số lượng và phân bố điểm đo

Quá ít điểm đo

Bản ghi điểm đo

Bản đồ vị trí và đánh số

Vị trí không được ghi lại

Để biết các phương pháp bố trí điểm đo và đánh giá tính đồng nhất, vui lòng tham khảoLàm thế nào để đánh giá tính đồng nhất của tốc độ gió EFU? Sơ đồ điểm đo, giá trị trung bình, độ lệch và phương pháp chấp nhận .

Điều kiện đo: với phần tử lọc, áp suất tĩnh ngoài máy phải phù hợp

Vận tốc bề mặt không phải là một giá trị cố định và thay đổi theo điện trở của bộ lọc và điều kiện hệ thống. Khi đo cần cho biết có bộ lọc hay không, áp suất tĩnh bên ngoài máy là bao nhiêu, tốc độ quạt hoặc bánh răng là bao nhiêu và mặt phẳng đo nằm ở đâu trên bề mặt cửa thoát khí. Tốc độ gió mặt được đo mà không có phần tử lọc không thể biểu thị tốc độ gió mặt thực tế sau khi lắp đặt.

Mục điều kiện làm việc

Điều gì cần được xác nhận

Ảnh hưởng đến kết quả đo

trạng thái lọc

Cho dù với phần tử bộ lọc và điện trở phần tử bộ lọc

Tốc độ gió giảm sau khi thêm phần tử lọc

Áp suất tĩnh bên ngoài

Thiết bị chống ống dẫn khí bên trong và cửa thoát khí

Sức cản tăng và tốc độ gió giảm

Thiết bị quạt

Lệnh điều khiển hoặc tốc độ

Thay đổi tốc độ quay Thay đổi tốc độ gió

Mặt phẳng đo

Vị trí và khoảng cách của cửa thoát khí

Khoảng cách khác nhau, tốc độ gió khác nhau

Để biết mối quan hệ giữa điều kiện làm việc đo và thể tích không khí, vui lòng tham khảoLàm thế nào để tính toán lượng không khí định mức EFU? khu vực cung cấp không khí, tốc độ gió mục tiêu và phương pháp chuyển đổi đơn vị .Tầm cỡ tính toán trong

Các yếu tố ảnh hưởng: Những điều kiện nào làm thay đổi tốc độ gió mặt

Tốc độ gió mặt bị ảnh hưởng bởi một số yếu tố. Điện trở của bộ lọc tăng, thể tích không khí giảm và tốc độ gió mặt giảm; đầu vào không khí bị chặn, sức cản đầu vào tăng lên và tốc độ gió mặt giảm; ống dẫn khí của hộp thay đổi và điểm làm việc bị lệch; tốc độ quạt được điều chỉnh và tốc độ gió mặt thay đổi; đường thoát khí bên trong của thiết bị bị chặn và áp suất ngược tăng lên. Khi đo tốc độ gió mặt, hãy ghi lại các điều kiện này cùng lúc thay vì chỉ nhìn vào giá trị tốc độ gió.

Yếu tố ảnh hưởng

Ảnh hưởng đến kết quả đo

Điều gì cần được xác nhận

kháng lọc

Sức cản tăng và tốc độ gió giảm

Trạng thái bộ lọc và chênh lệch áp suất

Điều kiện khí vào

Lối vào bị chặn và tốc độ gió giảm

Khe hở và che chắn không khí

Ống gió dạng hộp

Bù điểm làm việc

Cấu trúc nội bộ và chia sẻ hiện tại

Tốc độ quạt

Thay đổi tốc độ quay Thay đổi tốc độ gió

Tốc độ hiện tại và lệnh

Đường dẫn khí

Áp suất ngược tăng và tốc độ gió giảm

Cấu trúc cửa thoát khí và che chắn

Về mối quan hệ giữa điều kiện không khí vào và tốc độ gió mặt, vui lòng tham khảoLàm thế nào để xác nhận không gian hút gió EFU? bản vẽ thiết bị, điều kiện lắp đặt và phương pháp nghiệm thu . Phương pháp kiểm tra trong Để biết mối quan hệ giữa ống dẫn khí của hộp và điểm làm việc, vui lòng tham khảoLàm thế nào để xác định điện trở trong của thiết bị EFU? các tính toán, đo lường, các yếu tố ảnh hưởng và phương pháp nghiệm thu .Mô tả

Cách thức chấp nhận: Tiêu chuẩn phán đoán phải được thống nhất trước

Để chấp nhận tốc độ gió mặt, tiêu chí đánh giá phải được thỏa thuận trước. Phạm vi trong đó tốc độ gió trung bình trên bề mặt cần được kiểm soát, độ lệch chuẩn tương đối không được vượt quá bao nhiêu và liệu vùng tốc độ thấp có được phép nằm trong vùng bảo vệ hay không phải được nêu rõ trong thỏa thuận kỹ thuật. Khi chấp nhận, hãy đánh giá theo những tiêu chuẩn đã được thống nhất, thay vì đặt ra những tiêu chuẩn sau khi kiểm tra. Tiêu chí đánh giá không rõ ràng và kết luận chấp nhận dễ gây ra sự bất đồng.

Mặt hàng chấp nhận

Điều gì cần được xác nhận

Câu hỏi thường gặp

Tiêu chí phán đoán

Giới hạn tốc độ gió trung bình và độ lệch

Tiêu chuẩn không được thống nhất

Sơ đồ điểm đo

Số lượng và vị trí các điểm đo

Kế hoạch điểm đo không nhất quán

Điều kiện đo

Trạng thái bộ lọc và thiết bị quạt

Điều kiện làm việc khác với điều kiện chấp nhận

Yêu cầu ghi âm

Dữ liệu điểm đo và bản đồ phân bố

Hồ sơ chưa đầy đủ

Trong dự án EFU, Aili Industries đã tổ chức đo tốc độ gió bề mặt theo bản vẽ thiết bị và điều kiện làm việc đã thống nhất, đồng thời ghi tiêu chí đánh giá, sơ đồ điểm đo và điều kiện làm việc đo vào tài liệu xác nhận. Đối với các mục liên quan đến việc nghiệm thu máy hoàn chỉnh, vui lòng tham khảoLàm thế nào để đánh giá tính đồng nhất của tốc độ gió EFU? Điểm đo, giá trị trung bình, độ lệch và ý tưởng chấp nhận trong phương pháp chấp nhận.

Gói tốc độ gió bề mặt EFU của Aili Industrial

Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và bộ điều khiển tự phát triển. Tính toán tốc độ gió bề mặt, bố trí điểm đo và điểm làm việc hoàn chỉnh của máy có thể được kiểm tra theo bản vẽ thiết bị trong cùng hệ thống sản xuất. Kích thước bộ lọc, cấu trúc hộp và giao diện máy hoàn chỉnh không cần phải chuyển giao giữa nhiều nhà cung cấp. Đối với thiết bị bán dẫn yêu cầu tốc độ gió mặt, Aili Industries có thể tổ chức thử nghiệm nguyên mẫu và xử lý hàng loạt theo sơ đồ xác nhận, đồng thời đưa sơ đồ điểm đo, tiêu chuẩn đánh giá và dữ liệu máy hoàn chỉnh vào dữ liệu máy hoàn chỉnh có thể kiểm chứng được. Các máy liên quan có thể tham khảotrang bộ lọc quạt thiết bị EFU , vui lòng tham khảo giao diện không chuẩn.Để biết mô tả cấu trúc trên Tùy chỉnh EFU .Hướng dẫn tùy chỉnh trong trang

Cách tạo kết quả xác nhận thực thi

Đầu tiên hãy hoàn thành việc sàng lọc thông tin sơ bộ, sau đó tiến hành xác nhận kỹ thuật trên mẫu máy sẽ mua. Thêm thể tích không khí mục tiêu, diện tích hiệu quả, sơ đồ điểm đo, điều kiện đo và tiêu chuẩn đánh giá vào danh sách bổ sung, sau đó tổ chức so sánh sau khi nhà cung cấp phản hồi. Dữ liệu tốc độ gió bề mặt đã được xác nhận, cấu hình và giao diện máy hoàn chỉnh được sử dụng để thực hiện đơn hàng và không thể sử dụng các tham số mẫu để thay thế dữ liệu của dự án này. Trong nguồn cung cấp EFU, Aili Industrial cấu hình máy hoàn chỉnh theo bản vẽ xác nhận và yêu cầu thực tế. Quạt, bộ lọc, hộp và bộ điều khiển tương ứng với từng hạng mục trong danh sách đặt hàng, điều này tạo điều kiện thuận lợi cho nhà sản xuất thiết bị đo tốc độ gió mặt đối với các điều kiện máy hoàn chỉnh có thể kiểm chứng được.

Những hiểu lầm cần tránh

Nên tránh chỉ đo một điểm ở trung tâm để thể hiện toàn bộ bề mặt cửa thoát khí. Nên tránh đo tốc độ gió bề mặt mà không có phần tử lọc. Nên tránh chỉ nhìn vào giá trị trung bình mà không nhìn vào độ lệch. Nên tránh so sánh dữ liệu khi điều kiện làm việc đo không đồng nhất. Nên tránh xác định tiêu chuẩn đánh giá sau khi đo. Cốt lõi của phép đo tốc độ gió mặt không phải là đo một con số mà là tạo thành một vòng khép kín có thể kiểm chứng được về tính toán, điểm đo, điều kiện làm việc và tiêu chuẩn đánh giá. Trước tiên, Aili Industrial có thể lập danh sách để xác nhận theo bản vẽ thiết bị, liệt kê các điểm đo, điều kiện làm việc và điều kiện phán đoán cùng nhau.

Câu hỏi và câu trả lời liên quan

Việc lựa chọn EFU có thể được hoàn thành bằng cách chỉ cung cấp lượng không khí không?

Nó thường là không đủ, áp suất tĩnh, bộ lọc, giao diện cấu trúc và điều kiện kiểm soát cũng cần thiết để xác định điểm vận hành thực tế.

Làm cách nào để thúc đẩy việc đo tốc độ gió bề mặt EFU khi thông tin dự án chưa đầy đủ?

Sơ đồ chung của thiết bị, không gian sẵn có, thể tích hoặc tốc độ không khí mục tiêu, mức lọc, phương pháp điều khiển và cung cấp điện có thể được cung cấp trước và nhà cung cấp sẽ lập các hạng mục cần xác nhận; trước khi các điều kiện làm việc chính được xác nhận, việc hoàn thiện dựa trên hình thức bên ngoài hoặc một đánh giá duy nhất là không phù hợp. Trước tiên, Aili Industrial có thể lập danh sách để xác nhận theo bản vẽ thiết bị, liệt kê các điểm đo, điều kiện làm việc và điều kiện phán đoán cùng nhau.

Tôi cần chuẩn bị những thông tin cụ thể nào cho câu hỏi này?

Chuẩn bị thông tin dự án hiện tại xung quanh các điều kiện đo lường, điện trở hệ thống và các điểm vận hành quạt. Bản vẽ chung của thiết bị, bảng xác nhận EFU và hồ sơ kiểm tra máy hoàn chỉnh phải tương ứng với cấu hình thực tế đã mua; nếu danh mục, bản vẽ xác nhận và biên bản giao hàng không nhất quán thì trước tiên phải xác định rõ phiên bản và phạm vi áp dụng. Khi xác định phép đo tốc độ gió bề mặt EFU của thiết bị bán dẫn, bạn có thể tham khảo hướng dẫn hỗ trợ cấu trúc và máy hoàn chỉnh do Aili Industry cung cấp theo từng mẫu.

Bài viết liên quan

Làm thế nào để tính tốc độ gió bề mặt EFU? Cách xác định diện tích lọc hiệu quả và tốc độ gió trung bình

Làm thế nào để đánh giá tính đồng nhất của tốc độ gió EFU? Điểm đo, giá trị trung bình, độ lệch và phương pháp chấp nhận

Làm thế nào để đối phó với tốc độ gió EFU không đồng đều? Đánh giá tắt máy, hồ sơ lỗi và phương pháp bảo trì

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Kiểm tra các mục

Xác nhận những điểm chính

tính toán

Thể tích không khí mục tiêu chia cho diện tích lọc hiệu quả

Đo lường

Các điểm đo lưới bao phủ toàn bộ bề mặt cửa gió

Điều kiện làm việc

Với bộ phận lọc, áp suất tĩnh bên ngoài, bánh răng quạt

Yếu tố ảnh hưởng

Bộ lọc, cửa hút gió, hộp, tốc độ, cửa thoát gió

sự chấp nhận

Tiêu chí đánh giá được thỏa thuận trước

Hỗ trợ lựa chọn và mua sắm EFU công nghiệp Aili

Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và bộ điều khiển tự phát triển. Tính toán tốc độ gió bề mặt, bố trí điểm đo và điểm làm việc hoàn chỉnh của máy có thể được kiểm tra theo bản vẽ thiết bị trong cùng hệ thống sản xuất. Kích thước bộ lọc, cấu trúc hộp và giao diện máy hoàn chỉnh không cần phải chuyển giao giữa nhiều nhà cung cấp. Nhà máy sản xuất thiết bị hoàn thành việc đo tốc độ gió mặt và khớp máy hoàn chỉnh trong cùng một hệ thống, điều này dễ dàng duy trì tính nhất quán hơn so với việc phối hợp giữa các nhà cung cấp.

học hỏiCác sản phẩm EFU công nghiệp của Aili và cấu hình tùy chỉnh , có thể xem cấu trúc máy hoàn chỉnhBộ lọc quạt thiết bị EFU , giao diện không chuẩn có thể được xemEFU tùy chỉnh , sơ đồ điều khiển có thể được xembộ lọc quạt thiết bị EFU điều chỉnh tốc độ DC , gói bộ lọcCó thể xem Bộ lọc không khí HEPA và ULPA . Vui lòng gửi các hạng mục kiểm tra, cách sử dụng thiết bị và số lượng ước tính trong bài viết này để tạo điều kiện xác nhận mẫu mã và phạm vi cung cấp tương ứng.

Aili Industrial phát triển và sản xuất bộ lọc không khí FFU, EFU, HEPA/ULPA, lỗ thông hơi cấp khí hiệu suất cao, hộp quạt và các thiết bị không khí sạch khác. Dựa vào động cơ, quạt, hệ thống điều khiển, bộ lọc và khả năng hỗ trợ máy hoàn chỉnh, chúng tôi cung cấp hỗ trợ lựa chọn và tùy chỉnh cho các dự án thiết bị sản xuất và phòng sạch.

sản phẩm

Liên kết nhanh

Tham gia vào một quan điểm toàn cầu

Nhận các sách trắng ngành và cập nhật công nghệ mới nhất.
© Công ty TNHH Công nghiệp Tô Châu Aili. Mọi quyền được bảo lưu.