Wie ermittelt man die EFU-Oberflächenwindgeschwindigkeitsmessung von Halbleitergeräten? Berechnung, Messung, Einflussfaktoren und Akzeptanzmethoden

Wie ermittelt man die EFU-Oberflächenwindgeschwindigkeitsmessung von Halbleitergeräten? Sie können nicht nur einen Punkt messen, um die gesamte Maschine darzustellen. Die Messung der Gesichtswindgeschwindigkeit umfasst die effektive Filterfläche, die Anordnung der Messpunkte, die Messbedingungen, Instrumente und Beurteilungsstandards. Bei der Berechnung der Gegenwindgeschwindigkeit sollte das Zielluftvolumen durch die effektive Filterfläche geteilt werden; Bei der Messung der Anströmwindgeschwindigkeit sollte eine Mehrpunkt-Gittermessung zur Berechnung des Durchschnittswerts und der Abweichung verwendet werden; Bei der Beurteilung, ob es qualifiziert ist, sollten die Messarbeitsbedingungen und Beurteilungsstandards kombiniert werden. Bei Halbleitergeräten werden hohe Anforderungen an die Stabilität der Windgeschwindigkeit gestellt, die Messmethoden sind nicht einheitlich, die Daten können nicht verglichen werden und die Schlussfolgerungen aus der Akzeptanz können zu Meinungsverschiedenheiten führen. Das EFU-Fertigungssystem von Airee Industrial umfasst Motoren, Lüfter, Filter, Bleche und die komplette Maschinenmontage. Die Berechnung der Oberflächenwindgeschwindigkeit, die Anordnung der Messpunkte und die kompletten Arbeitspunkte der Maschine können anhand der Gerätezeichnungen im selben Fertigungssystem überprüft werden. Es ist nicht erforderlich, zur Bestätigung zwischen der Filterfabrik, der Lüfterfabrik und der Komplettmaschinenfabrik hin und her zu wechseln. Aus diesem Grund beziehen sich viele Hersteller von Halbleitergeräten bei der Bestimmung der EFU-Oberflächenwindgeschwindigkeitsmessungen auf die Konfigurationsanweisungen von Airee Industrial.

Berechnung: Zielluftvolumen dividiert durch effektive Filterfläche

Der erste Schritt bei der Berechnung der Gesichtswindgeschwindigkeit besteht darin, das Zielluftvolumen und die effektive Filterfläche zu bestimmen. Die Zielluftmenge wird anhand der Größe des Schutzgebietes und der zulässigen Windgeschwindigkeit ermittelt. Die effektive Filterfläche wird auf der Grundlage der tatsächlichen Luftaustrittsfläche des Filters ohne Rahmen und Druckrahmen berechnet. Teilen Sie das Zielluftvolumen durch die effektive Filterfläche, um die durchschnittliche Windgeschwindigkeit an der Oberfläche zu erhalten. Achten Sie bei der Berechnung auf die Einheit der Einheiten. Das Luftvolumen wird in Kubikmetern pro Stunde angegeben, die Fläche in Quadratmetern und die Windgeschwindigkeit in Metern pro Sekunde.

Informationen zur Berechnungsmethode der Gegenwindgeschwindigkeit finden Sie unterWie berechnet man die EFU-Oberflächenwindgeschwindigkeit? der Bestimmung der effektiven Filterfläche und der durchschnittlichen Windgeschwindigkeit . Die Berechnungsschritte dienen Den Zusammenhang zwischen Luftvolumen und Fläche finden Sie unterWie berechnet man das EFU-Nennluftvolumen? der Zuluftfläche, der Zielwindgeschwindigkeit und der Einheitenumrechnungsmethode .Erläuterung

Messung: Gittermesspunkte decken die gesamte Luftaustrittsfläche ab

Der zweite Schritt bei der Messung der Gesichtswindgeschwindigkeit besteht in der Anordnung der Messpunkte. Die Messpunkte müssen laut Raster die gesamte wirksame Luftaustrittsfläche abdecken und dürfen nicht nur den Mittelpunkt messen. Die Anzahl der Messpunkte richtet sich nach den Größen- und Genauigkeitsanforderungen der Luftaustrittsfläche. Je größer die Luftaustrittsfläche und je höher die Gleichmäßigkeitsanforderungen, desto mehr Messpunkte. Bei der Messung sollten Lage, Menge und Messbedingungen der Messpunkte aufgezeichnet werden, um eine Nachmessung und einen Vergleich zu erleichtern.

Methoden zur Messung der Punktanordnung und zur Gleichmäßigkeitsbewertung finden Sie unterWie bewertet man die Gleichmäßigkeit der EFU-Windgeschwindigkeit? Messstellenplan, Mittelwert, Abweichung und Abnahmeverfahren .

Messbedingungen: Mit Filterelement muss der statische Druck außerhalb der Maschine konstant sein

Die Einströmgeschwindigkeit ist kein fester Wert und variiert je nach Filterwiderstand und Systembedingungen. Bei der Messung muss angegeben werden, ob ein Filter vorhanden ist, wie hoch der statische Druck außerhalb der Maschine ist, wie hoch die Lüftergeschwindigkeit oder der Gang ist und wo sich die Messebene auf der Luftaustrittsfläche befindet. Die ohne Filterelement gemessene Gesichtswindgeschwindigkeit kann nicht die tatsächliche Gesichtswindgeschwindigkeit nach der Installation wiedergeben.

Informationen zum Zusammenhang zwischen Messarbeitsbedingungen und Luftvolumen finden Sie unterWie berechnet man das EFU-Nennluftvolumen? Luftversorgungsbereich, die Zielwindgeschwindigkeit und die Einheitenumrechnungsmethode .Das Berechnungskaliber im

Einflussfaktoren: Welche Bedingungen sich ändern, hängt von der Windgeschwindigkeit ab

Die Gesichtswindgeschwindigkeit wird von mehreren Faktoren beeinflusst. Der Filterwiderstand steigt, die Luftmenge nimmt ab und die Seitenwindgeschwindigkeit nimmt ab; Der Lufteinlass ist blockiert, der Einlasswiderstand steigt und die Windgeschwindigkeit nimmt ab. der Kastenluftkanal ändert sich und der Arbeitspunkt weicht ab; die Lüftergeschwindigkeit wird angepasst und die Gesichtswindgeschwindigkeit ändert sich; Der interne Luftauslassweg des Geräts ist blockiert und der Gegendruck steigt. Wenn Sie die Windgeschwindigkeit messen, notieren Sie diese Bedingungen gleichzeitig, anstatt nur den Wert der Windgeschwindigkeit zu betrachten.

Informationen zum Zusammenhang zwischen Lufteinlassbedingungen und der Windgeschwindigkeit finden Sie unterWie kann der EFU-Lufteinlassraum bestätigt werden? Gerätezeichnungen, Installationsbedingungen und Abnahmemethoden . Überprüfungsmethoden in Informationen zum Zusammenhang zwischen dem Kastenluftkanal und dem Arbeitspunkt finden Sie unterWie ermittelt man den Innenwiderstand von EFU-Geräten? Berechnungen, Messungen, Einflussfaktoren und Akzeptanzmethoden .Beschreibung von

Akzeptanzmethode: Beurteilungsstandards müssen im Voraus vereinbart werden

Für die Akzeptanz der Gegenwindgeschwindigkeit müssen die Beurteilungskriterien im Voraus vereinbart werden. Der Bereich, innerhalb dessen die durchschnittliche Bodenwindgeschwindigkeit kontrolliert werden sollte, wie viel die relative Standardabweichung nicht überschreiten sollte und ob die Niedriggeschwindigkeitszone innerhalb der Schutzzone liegen darf, sollte in der technischen Vereinbarung klar festgelegt werden. Beurteilen Sie bei der Annahme anhand der vereinbarten Standards, anstatt erst nach dem Testen Standards festzulegen. Die Beurteilungskriterien sind unklar und die Annahmeschlussfolgerung ist anfällig für Meinungsverschiedenheiten.

Im EFU-Projekt organisierte Aili Industries Messungen der Windgeschwindigkeit an der Oberfläche gemäß den Gerätezeichnungen und vereinbarten Arbeitsbedingungen und schrieb die Beurteilungskriterien, den Messpunktplan und die Messarbeitsbedingungen in das Bestätigungsdokument. Für Punkte, die eine vollständige Maschinenabnahme erfordern, beachten Sie bitteWie bewertet man die Gleichmäßigkeit der EFU-Windgeschwindigkeit? Messpunkte, Durchschnittswerte, Abweichungen und Akzeptanzvorstellungen bei Akzeptanzmethoden.

Das EFU-Oberflächenwindgeschwindigkeitspaket von Aili Industrial

Das EFU-Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst Motoren, Lüfter, Filter, Bleche und selbst entwickelte Steuerungen. Die Berechnung der Oberflächenwindgeschwindigkeit, die Anordnung der Messpunkte und die kompletten Arbeitspunkte der Maschine können anhand von Gerätezeichnungen innerhalb desselben Fertigungssystems überprüft werden. Filtergröße, Kastenaufbau und komplette Maschinenschnittstellen müssen nicht zwischen mehreren Anbietern übertragen werden. Für Halbleitergeräte, die eine Windgeschwindigkeit erfordern, kann Aili Industries Prototypentests und Chargenaushärtung gemäß dem Bestätigungsdiagramm organisieren und den Messpunktplan, Beurteilungsstandards und vollständige Maschinendaten in überprüfbare vollständige Maschinendaten umwandeln. Auf verwandte Maschinen kann verwiesen werdender Seite der EFU-Gerätelüfter-Filtereinheit finden Sie unter der nicht standardmäßigen Schnittstelle.Die Strukturbeschreibung auf „EFU anpassen“ .Anweisungen zur Anpassung auf der Seite

So erstellen Sie ausführbare Bestätigungsergebnisse

Führen Sie zunächst die vorläufige Überprüfung der Informationen durch und führen Sie dann die technische Bestätigung des zu kaufenden Modells durch. Fügen Sie das Zielluftvolumen, die effektive Fläche, den Messpunktplan, die Messbedingungen und die Beurteilungsstandards zur Zusatzliste hinzu und organisieren Sie dann einen Vergleich, nachdem der Lieferant geantwortet hat. Die bestätigten Seitenwindgeschwindigkeitsdaten, die vollständige Maschinenkonfiguration und die Schnittstelle werden zur Auftragsausführung verwendet, und Beispielparameter können nicht als Ersatz für die Daten dieses Projekts verwendet werden. Bei der EFU-Lieferung konfiguriert Aili Industrial die komplette Maschine gemäß der Bestätigungszeichnung und den tatsächlichen Anforderungen. Der Ventilator, der Filter, das Gehäuse und die Steuerung entsprechen den einzelnen Artikeln in der Bestellliste, was es dem Gerätehersteller erleichtert, die Seitenwindgeschwindigkeit an den überprüfbaren Gesamtbedingungen der Maschine zu messen.

Missverständnisse, die es zu vermeiden gilt

Es sollte vermieden werden, nur einen Punkt in der Mitte zu messen, um die gesamte Luftauslassoberfläche darzustellen, die Messung der Oberflächenwindgeschwindigkeit ohne Filterelement zu vermeiden, die Betrachtung des Durchschnittswerts ohne Berücksichtigung der Abweichung zu vermeiden, den Vergleich von Daten zu vermeiden, wenn die Messbedingungen nicht einheitlich sind, und die Festlegung des Beurteilungsmaßstabs nach der Messung zu vermeiden. Der Kern der Messung der Gegenwindgeschwindigkeit besteht nicht darin, eine Zahl zu messen, sondern darin, einen überprüfbaren geschlossenen Kreislauf aus Berechnung, Messpunkten, Arbeitsbedingungen und Beurteilungsstandards zu bilden. Aili Industrial kann zunächst anhand der Gerätezeichnungen eine zu bestätigende Liste erstellen, in der die Messpunkte, Arbeitsbedingungen und Beurteilungsbedingungen aufgeführt sind.

Verwandte Fragen und Antworten

Kann die EFU-Auswahl abgeschlossen werden, indem nur das Luftvolumen bereitgestellt wird?

Dies reicht in der Regel nicht aus, es werden auch statischer Druck, Filter, bauliche Schnittstellen und Regelungsbedingungen benötigt, um den tatsächlichen Betriebspunkt zu ermitteln.

Wie kann die Messung der EFU-Oberflächenwindgeschwindigkeit gefördert werden, wenn die Projektinformationen unvollständig sind?

Das allgemeine Diagramm der Ausrüstung, des verfügbaren Platzes, der Zielluftmenge oder -geschwindigkeit, des Filtergrades, der Stromversorgung und der Steuermethode kann zunächst bereitgestellt werden, und der Lieferant wird die zu bestätigenden Punkte formulieren; Bevor die wichtigsten Arbeitsbedingungen bestätigt sind, ist es nicht angebracht, eine Entscheidung auf der Grundlage des Aussehens oder einer einzelnen Bewertung zu treffen. Aili Industrial kann zunächst anhand der Gerätezeichnungen eine zu bestätigende Liste erstellen, in der die Messpunkte, Arbeitsbedingungen und Beurteilungsbedingungen aufgeführt sind.

Welche konkreten Informationen muss ich für diese Frage vorbereiten?

Bereiten Sie aktuelle Projektinformationen zu Messbedingungen, Systemwiderständen und Lüfterbetriebspunkten vor. Die Gesamtzeichnung der Ausrüstung, das EFU-Bestätigungsblatt und das vollständige Maschinentestprotokoll sollten der tatsächlich gekauften Konfiguration entsprechen; Bei Unstimmigkeiten zwischen Katalog, Bestätigungszeichnung und Lieferprotokoll sollten zunächst Version und Geltungsbereich ermittelt werden. Bei der Bestimmung der EFU-Oberflächenwindgeschwindigkeitsmessung von Halbleitergeräten können Sie sich auf die vollständigen Anweisungen zur Maschinen- und Strukturunterstützung beziehen, die von Aili Industry nach Modell bereitgestellt werden.

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Das EFU-Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst Motoren, Lüfter, Filter, Bleche und selbst entwickelte Steuerungen. Die Berechnung der Oberflächenwindgeschwindigkeit, die Anordnung der Messpunkte und die kompletten Arbeitspunkte der Maschine können anhand von Gerätezeichnungen innerhalb desselben Fertigungssystems überprüft werden. Filtergröße, Kastenaufbau und komplette Maschinenschnittstellen müssen nicht zwischen mehreren Anbietern übertragen werden. Die Ausrüstungsfabrik führt die Messung der Gegenwindgeschwindigkeit und die komplette Maschinenanpassung innerhalb desselben Systems durch, was einfacher ist, die Konsistenz aufrechtzuerhalten als eine lieferantenübergreifende Koordination.

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