MAU化学濾過とターミナルHEPAとどのように連携するか?

クリーンルームや装置側給気システムでは、MAU 化学濾過セクションとターミナル HEPA が同時に登場することがよくあります。 1 つは外気によって持ち込まれるガス状汚染を担当し、もう 1 つは配送エリアの粒子制御を担当します。それぞれが独自の業務を行っているように見えますが、実際の運用では、この 2 つの連携がシステムの耐性と保護効果に直接影響します。

よくある誤解は、この 2 つを相互に置き換えることができるフィルター セグメントとみなすことです。 ターミナル HEPA がどれほど効率的であっても、ガス汚染に対処する能力はありません。 MAU 化学濾過セクションはガスを処理しますが、最終粒子制御に代わるものではありません。どちらかを選択するのではなく、この 2 つを協力して取り組む必要があります。具体的な役割分担を参照してください ケミカルフィルターとHEPAフィルターの違いについての説明 。

明示的なアップストリーム入力

MAU 化学濾過セクションの構成は、外気のガス負荷に基づいて行う必要があります。

新しい風には何が入っているのでしょうか？ 屋外の空気には、酸性ガス、アルカリ性ガス、有機蒸気、または外部の臭気が含まれている可能性があります。これらのコンポーネントは新鮮な空気とともにシステムに入ります。処理しないと、クリーンエリアや装置内部に直接侵入します。具体的な調査方法については、こちらをご参照ください。 MAU が化学濾過セクションを構成する必要がある理由についての議論 。

セグメントの位置と条件をフィルターします。 MAU 内のケミカル フィルター セクションの位置は、それが直面する温度と湿度に影響します。表面冷却器の前に置くか後ろに置くかは、フィルター材質の温度や湿度に対する適応範囲によって決まります。具体的な比較については、以下を参照してください。 MAUケミカルフィルターを表面冷却器の前に設置するか後に設置するかについての議論 。

プレフィルター設計と組み合わせます。 新鮮な空気中の粉塵が化学媒体を覆い、耐用年数が短くなります。化学濾過セクションの前に適切な粒子プレ濾過を設定すると、培地の負担を軽減できます。具体的な役割分担を参照してください ケミカルフィルターと一次フィルターの分業についての議論 。

ターミナル HEPA は一般的なガス吸着タスクを実行しません。 粒子制御用に設計されており、ガス分子を処理する機能はありません。ガス制御のニーズを HEPA に委ねても問題は解決しません。

MAUボックス型ケミカルフィルターの構成方法はこちらをご参照ください。 MAUボックスケミカルフィルターの説明 。

屋内に新たな汚染がないか確認する

MAU は外気部分を扱い、屋内に放出されるガスは別途考慮する必要があります。

屋内設備・資材のリリース。 装置内部のシール、潤滑剤、およびプロセス材料は、動作中に微量の有機物または特定のガスを放出する可能性があります。汚染のこの部分は MAU を通過せず、室内空気中に直接現れます。具体的な調査方法については、こちらをご参照ください。 ケミカルフィルターを選択する前に、空気サンプリングを行うかどうか について話し合ってください。

一次発生源が内部にある場合、空気の戻りまたはローカル制御が必要です。 検査の結果、屋内への放出が主な発生源であることが確認された場合、外気の濾過だけでは十分ではありません。室内濃度を減らすために、戻り空気セクションまたは機器の端に化学ろ過を追加することを検討してください。具体的な構成については、を参照してください。 FFU とケミカルフィルターを組み合わせた局所的な汚染にどのような対処ができるかについての議論 。

新鮮な空気の濾過は、屋内の発生源管理に代わるものではありません。 特定のワークステーションに強力な放出源がある場合は、汚染物質が広がる前に局所排気を優先して除去する必要があります。最終濾過は、空気中に侵入した汚染物質を処理します。

受付とメンテナンスを分けて行う

MAU化学濾過部門とターミナルHEPAでは受け入れ方法が異なり、維持管理の基盤も異なります。

粒子側の受け入れ。 ターミナルHEPAは、対応するレベルに応じて効率確認、取り付けシール検査、および現場での漏れ検出を実行します。検出方法や判定基準はパーティクルフィルターの要件に応じて実施されます。参照可能 HEPA 高効率フィルター のテスト手順。

ガス側の受け入れ。 MAU化学ろ過部門では、対象成分に応じた入口と出口の濃度試験を実施し、除去効果を確認しています。サンプリングポイントはろ過セクションの前後の空気を代表するものでなければならず、検出方法は対象ガスに適したものでなければなりません。具体的な方法については、こちらをご参照ください ケミカルフィルターの性能検証のためのサンプリングポイントについての議論 。

保守基盤が異なります。 HEPA の交換は、圧力差と漏れ検出結果によって異なります。ケミカルフィルター部の交換はガス処理能力の消費量に依存し、明らかな差圧変化が無い場合もあります。両者のメンテナンスリズムは異なるため、台帳を別々に記録する必要があります。

あるフィルターの効果を別のフィルターから推測することはできません。 粒子試験に合格したからといって、ガス処理が基準を満たしていることを意味するものではありません。ガス出口濃度を合格しても、粒子制御が要件を満たしていることを意味するものではありません。問題をすぐに特定できるように、2 つの記録は別々にファイルされます。

システム抵抗とファン動作点を確認してください

システム内で 2 つのフィルタを直列に接続すると、抵抗が重畳されます。

全抵抗の計算。 MAU化学濾過セクション、ターミナルHEPA、プレ濾過、エアダクトおよびその他のリンクの初期抵抗と最終抵抗を累積し、それをファン曲線と比較して、動作点が設計風量の下で許容できることを確認します。具体的な方法については、こちらをご参照ください ケミカルフィルターの追加抵抗によりファンの消費電力がどの程度増加するかについての議論 。

末端空気量を減らすことはできません。 MAU に化学濾過セクションを追加した後、システムの総抵抗が増加した場合、ターミナル HEPA の空気供給量が減少する可能性があります。清潔なエリアでの空気の交換の回数と気流の範囲が影響を受けます。計算の際は、末端空気量が設計範囲内であることを確認してください。

設置後は採寸・確認を行ってください。 システム運転後、MAU各部の圧力差、主要部の末端空気供給量、風速を測定し、設計値と一致していることを確認します。風量が少ない場合は、フィルター部の抵抗、ファンの動作点、エアダクトに問題があるかを確認する必要があります。

サンプリングおよびメンテナンスチャネルを予約する

システム設計段階では、その後のテストとメンテナンスのために条件を確保しておく必要があります。

サンプリングポイントの位置。 出口濃度の追跡を容易にするために、MAU 化学濾過セクションの前後にサンプリング ポートを設置する必要があります。ターミナル HEPA の漏れ検出ポートとサンプリング ポートも、粒子濾過要件に従って予約する必要があります。具体的なポイント選びについては、こちらをご覧ください。 ケミカルフィルターの性能検証のためのサンプリングポイントについての議論 。

チャンネルを交換します。 ケミカルフィルター部の交換サイクルはHEPAとは異なります。両方のメンテナンス操作は相互に影響を与える可能性があります。設計時に、一方を分解せずにもう一方を交換することがないよう、それぞれの取り外し経路を確認してください。

システムの動作データを記録します。 空気量、圧力差、出口濃度、交換日を記録する必要があります。後で影響が変化した場合、それが化学媒体の消費なのか、HEPA の詰まりなのか、システムの空気量の変化なのかを判断するのに役立ちます。

プロジェクトの判断例

あるクリーンルームの最後にある HEPA リークテストは合格し、パーティクルインデックスは正常でしたが、ワークステーションにはまだわずかなガスの問題がありました。

トラブルシューティング手順: まず、端末の HEPA と空気供給システムが正常に動作していることを確認します。次に、室内の空気組成をテストしたところ、室内機器から放出される有機蒸気が主な発生源である一方、MAU 外気入口での有機ガスの濃度は低いことが判明しました。主な汚染源は室内であり、新鮮な空気ではありません。

調整方向：屋内への放出に対処するために、屋内戻り空気セクションまたは装置端に有機ガス用の化学ろ過セクションを追加します。 MAU のオリジナルの粒子濾過とターミナル HEPA は元の構成のままです。調整後、ワークステーションのガス濃度は低下しましたが、粒子指数は影響を受けませんでした。

このケースは次のことを示しています。MAU 化学濾過とターミナル HEPA にはそれぞれパイプのセクションがあります。一方の効果を使用して、他方の効果を推測することはできません。 関与する ケミカルフィルター製品シリーズの構成については 、検証のために外気データ、室内試験結果、システム条件をサプライヤーに提供することをお勧めします。

選定と受入検査のポイント

Aili Industrialの給気濾過パッケージについて

MAU 化学濾過とターミナル HEPA の連携の核心は、外気ガス負荷、屋内放出、システム抵抗、メンテナンス条件を適合させることです。

Aili Industrial は、フィルター、モーター、ファン、制御システム、板金加工における独立した製造能力を備えており、ケミカル フィルター製品シリーズ、HEPA フィルター、およびサポートする空気供給装置を提供できます。粒子制御とガス制御の両方を含むシステムの場合、外気検出データ、室内汚染源、空気量、設置スペースを組み合わせて、分業や化学濾過セクションと粒子濾過セクション間のインターフェースの確認に役立てることができます。

関連商品：ケミカルフィルター製品シリーズ、MAUボックスケミカルフィルター、HEPA高性能フィルター。お問い合わせの際は、適切な組み合わせ計画を確認するために、外気ガスデータ、屋内試験結果、粒子要件をそれぞれ提供してください。具体的な構成は、プロジェクトによって確認された技術文書とテスト結果の影響を受けます。