클린룸이나 장비측 공기 공급 시스템에서는 MAU 화학 여과 섹션과 터미널 HEPA가 동시에 나타나는 경우가 많습니다. 하나는 신선한 공기에 의해 유입되는 가스 오염을 담당하고, 다른 하나는 배송 지역의 입자 제어를 담당합니다. 각각 고유한 업무가 있는 것처럼 보이지만 실제 운영에서는 둘 사이의 협력이 시스템 저항 및 보호 효과에 직접적인 영향을 미칩니다.
일반적인 오해는 두 가지를 서로 대체할 수 있는 필터 세그먼트로 간주하는 것입니다. 터미널 HEPA가 아무리 효율적이더라도 가스 오염을 처리할 능력은 없습니다. MAU 화학 여과 섹션은 가스를 처리하지만 최종 입자 제어를 대체할 수는 없습니다. 둘 중 하나를 선택하기보다는 둘이 함께 일해야 합니다. 구체적인 업무분할을 참고하세요 화학 필터와 HEPA 필터의 차이점에 대해 설명합니다 .
MAU 화학 여과 섹션의 구성은 신선한 공기의 가스 부하를 기반으로 해야 합니다.
새로운 바람에는 무엇이 있을까? 실외 공기에는 산성 가스, 알칼리성 가스, 유기 증기 또는 외부 냄새가 포함될 수 있습니다. 이러한 구성 요소는 신선한 공기와 함께 시스템에 유입됩니다. 처리하지 않으면 청정 구역이나 장비 내부로 직접 유입됩니다. 구체적인 조사방법은 다음을 참고하세요. MAU가 화학적 여과 섹션을 구성해야 하는 이유에 대한 논의 .
세그먼트 위치 및 조건을 필터링합니다. MAU의 화학 필터 섹션 위치는 그것이 직면하는 온도와 습도에 영향을 미칩니다. 표면 냉각기의 앞이나 뒤에 배치할지 여부는 필터 재료의 온도 및 습도에 대한 적응 범위에 따라 다릅니다. 구체적인 비교는 다음을 참조하세요. MAU 케미컬 필터를 표면 냉각기 이전에 설치해야 하는지, 아니면 이후에 설치해야 하는지에 대한 논의 .
프리 필터 디자인과 결합되었습니다. 신선한 공기 중의 먼지는 화학 매체를 덮고 서비스 수명을 단축시킵니다. 화학적 여과 섹션 전에 적절한 입자 사전 여과를 설정하면 매체 부담을 줄일 수 있습니다. 구체적인 업무분할을 참고하세요 케미칼필터와 1차필터의 분업에 대한 논의 .
터미널 HEPA는 일반적인 가스 흡착 작업을 수행하지 않습니다. 입자 제어를 위해 설계되었으며 가스 분자를 처리하는 기능이 없습니다. HEPA에 가스 제어 요구 사항을 적용해도 문제가 해결되지 않습니다.
MAU 박스형 케미컬필터 구성방법은 다음을 참고하세요. MAU 박스 화학 필터 에 대한 설명입니다 .
MAU는 신선한 공기 부분을 다루며, 실내에서 배출되는 가스는 별도로 고려해야 합니다.
실내 장비 및 자재 출시. 장비 내부의 씰, 윤활제 및 공정 재료는 작동 중에 미량의 유기물이나 특정 가스를 방출할 수 있습니다. 오염의 이 부분은 MAU를 통과하지 않고 실내 공기에 직접 나타납니다. 구체적인 조사방법은 다음을 참고하세요. 화학 필터를 선택하기 전에 공기 샘플링을 수행할지 여부 를 논의하십시오 .
주요 소스가 내부인 경우 공기 순환 또는 로컬 제어가 필요합니다. 테스트 결과 실내 배출물이 주요 원인인 것으로 확인되면 신선한 공기를 여과하는 것만으로는 충분하지 않습니다. 실내 농도를 줄이기 위해 환기 구역이나 장비 끝에 화학적 여과를 추가하는 것을 고려하십시오. 구체적인 구성은 다음을 참조하세요. FFU와 화학 필터를 함께 사용하여 국부적인 오염을 처리할 수 있는 방법 에 대해 논의합니다 .
신선한 공기 여과는 실내 오염원 제어를 대체할 수 없습니다. 특정 작업장에 강력한 방출원이 있는 경우, 오염물질이 확산되기 전에 제거하기 위해 국소 배기에 우선순위를 두어야 합니다. 최종 여과는 공기에 유입된 오염 물질을 처리합니다.
MAU 화학 여과 구역과 최종 HEPA의 수용 방법이 다르며 유지 관리 기준도 다릅니다.
입자측 수용. 터미널 HEPA에서는 해당 수준에 따라 효율성 확인, 설치 밀봉 검사, 현장 누출 감지 등을 수행합니다. 검출 방법 및 판단 기준은 입자 필터의 요구 사항에 따라 구현됩니다. 참고할 수 있다 HEPA 고효율 필터 에 대한 테스트 지침 .
가스측 수용. MAU 화학여과 부문에서는 제거효과를 확인하기 위해 대상성분을 기준으로 입,출구 농도시험을 실시합니다. 샘플링 지점은 여과 섹션 전후의 공기를 대표해야 하며 감지 방법은 대상 가스에 적합해야 합니다. 구체적인 방법은 다음을 참조하세요. 화학 필터 성능 검증을 위한 샘플링 지점에 대한 논의 .
유지관리 기준이 다릅니다. HEPA 교체 여부는 압력 차이와 누출 감지 결과에 따라 달라집니다. 화학 필터 섹션의 교체는 가스 처리 용량 소비에 따라 다르며 눈에 띄는 압력 차이 변화가 없을 수 있습니다. 둘의 유지 리듬이 다르며, 장부는 별도로 기록해야 합니다.
한 필터의 효과는 다른 필터에서 추론할 수 없습니다. 입자 테스트를 통과했다고 해서 가스 처리가 표준을 충족한다는 의미는 아닙니다. 가스 출구 농도를 통과한다고 해서 입자 제어가 요구 사항을 충족한다는 의미는 아닙니다. 문제를 신속하게 찾을 수 있도록 두 개의 기록이 별도로 보관됩니다.
두 개의 필터가 시스템에 직렬로 연결되면 저항이 중첩됩니다.
총 저항 계산. MAU 화학 여과 섹션, 터미널 HEPA, 사전 여과, 공기 덕트 및 기타 링크의 초기 저항과 최종 저항을 축적하고 이를 팬 곡선과 비교하여 작동 점이 설계 공기량에서 허용 가능한지 확인합니다. 구체적인 방법은 다음을 참조하세요. 케미컬 필터의 저항을 추가하면 팬의 전력 소비가 얼마나 증가하는지 에 대한 논의 .
터미널 공기량은 줄일 수 없습니다. MAU가 화학 여과 섹션을 추가한 후 전체 시스템 저항이 증가하면 터미널 HEPA의 공기 공급량이 감소할 수 있습니다. 청정 지역의 공기 변화 횟수와 공기 흐름 범위가 영향을 받습니다. 계산할 때 터미널 공기량이 여전히 설계 범위 내에 있는지 확인하십시오.
설치 후 측정하고 확인하십시오. 시스템 가동 후 MAU 각 구간의 압력차, 터미널 급기량, 주요 부위의 풍속을 측정하여 설계값과 일치하는지 확인합니다. 풍량이 적다면 필터부 저항, 팬 동작점, 에어 덕트에 문제가 있는지 확인해야 합니다.
시스템 설계 단계에서는 후속 테스트 및 유지 관리를 위한 조건을 별도로 설정해야 합니다.
샘플링 지점 위치. 출구 농도 추적을 용이하게 하기 위해 MAU 화학 여과 구역 전후에 샘플링 포트를 설치해야 합니다. 터미널 HEPA의 누출 감지 포트와 샘플링 포트도 입자 여과 요구 사항에 따라 예약되어야 합니다. 특정 포인트 선택에 대해서는 다음을 참조하십시오. 화학 필터 성능 검증을 위한 샘플링 지점에 대한 논의 .
채널을 교체하세요. 케미컬필터부의 교체주기는 HEPA와 다릅니다. 두 가지의 유지 관리 작업은 서로 영향을 미칠 수 있습니다. 설계 시 다른 하나를 분해하지 않고도 둘 중 하나를 교체하지 않도록 해당 제거 경로를 확인하십시오.
시스템 운영 데이터를 기록합니다. 공기량, 압력차, 출구농도, 교체일자를 기록해야 한다. 나중에 효과가 변경되면 화학 매체 소비, HEPA 막힘 또는 시스템 공기량 변화인지 확인하는 데 도움이 될 수 있습니다.
특정 클린룸 끝부분의 HEPA 누출 테스트를 통과했고, 입자 지수는 정상이었지만 작업장에서는 여전히 약간의 가스 문제가 있었습니다.
문제 해결 프로세스: 먼저 터미널 HEPA 및 공기 공급 시스템이 정상적으로 작동하는지 확인하십시오. 실내 공기 조성을 테스트한 결과 실내 장비에서 방출되는 유기 증기가 주요 원인인 반면 MAU 신선한 공기 유입구의 유기 가스 농도는 낮은 것으로 나타났습니다. 오염의 주요 원인은 신선한 공기가 아닌 실내입니다.
조정 방향: 실내 환기 구역 또는 장비 끝 부분에 유기 가스에 대한 화학 여과 구역을 추가하여 실내 배출을 처리합니다. MAU의 원래 입자 여과 및 최종 HEPA는 원래 구성을 유지합니다. 조정 후 워크스테이션의 가스 농도가 떨어졌고 입자 지수는 영향을 받지 않았습니다.
이 사례는 다음을 보여줍니다. MAU 화학 여과 및 터미널 HEPA에는 각각 파이프 섹션이 있습니다. 하나의 효과를 사용하여 다른 효과를 추론할 수는 없습니다. 관련된 케미컬 필터 제품 시리즈 구성의 경우 신선한 공기 데이터, 실내 테스트 결과 및 시스템 조건을 공급업체에 제공하여 검증하는 것이 좋습니다.
확인항목 |
핵심사항 확인 |
|---|---|
신선한 공기 가스 |
MAU 화학 여과 목표 결정 |
말단 입자 |
HEPA 작업 확인은 변경되지 않습니다. |
내부 소스 |
조사 자료 및 장비 출시 |
접수 방법 |
입자 및 가스 지표를 별도로 구축 |
MAU 화학 여과와 터미널 HEPA 간의 협력의 핵심은 신선한 공기 가스 부하, 실내 배출, 시스템 저항 및 유지 관리 조건을 일치시키는 것입니다.
Aili Industrial은 필터, 모터, 팬, 제어 시스템 및 판금 가공 분야에서 독립적인 제조 능력을 보유하고 있으며 화학 필터 제품 시리즈, HEPA 필터 및 지원 공기 공급 장비를 제공할 수 있습니다. 입자 및 가스 제어를 모두 포함하는 시스템의 경우 신선한 공기 감지 데이터, 실내 오염원, 공기량 및 설치 공간을 결합하여 화학 여과 섹션과 입자 여과 섹션 간의 인터페이스 및 작업 분할을 확인하는 데 도움을 줄 수 있습니다.
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