通常のFFUを化学ろ過付きFFUに変更できますか?

評価は可能ですが、すべての通常の FFU が変更に適しているわけではありません。

変革の中心的な問題は、元のファンと構造条件の下で、目標の風量と風速を維持しながら化学濾過セクションを設置できるかどうかです。 ファンのマージンが不足し、設置スペースが確保できず、密閉性が確保できない場合、無理に設置すると風量の低下やバイパスエア漏れ、メンテナンス困難などの原因となります。具体的な評価ロジックについては、こちらをご覧ください。 FFU とケミカルフィルターでどのような局所的な汚染を処理できるかについての議論 。

ガス要件の決定

変更する前に、まずどのようなガスを処理するかを確認してください。

汚染成分と汚染源。 装置内部に放出されるのか、隣接するエリアから侵入するのか、それとも外部からの新鮮な空気によって持ち込まれるのか?異なるソースは、異なる処理場所とフィルター セグメント構成に対応します。具体的な調査方法については、こちらをご参照ください。 ケミカルフィルターを選択する前に、空気サンプリングを行うかどうか について話し合ってください。

対象ガスと濃度範囲。 酸性ガス、アルカリ性ガス、有機蒸気、または混合汚染ですか?おおよその入口濃度はどれくらいですか?この情報により、使用されるメディアの種類と量が決まります。具体的な原則については、以下を参照してください。 対象ガスに応じてケミカルフィルターを選ぶ理由を解説 。

輸出要件。 望ましい濃度レベルはどれくらいですか?臭いを改善するためですか、それとも敏感な機器を保護するためですか?輸出要件が厳しくなるほど、フィルターセクションの設計と交換サイクルの要件も高くなります。

ループフィルタリングがメインパスをカバーできるかどうかを確認します。 汚染源が FFU の下流にある場合、または空気流が FFU をバイパスする場合、フィルターセクションを追加する効果が損なわれます。変更する前に、そのエリアの空気の流れの構成を理解する必要があります。具体的な判断方法については、こちらをご参照ください。 FFU とケミカルフィルターでどのような局所的な汚染を処理できるかについての議論 。

構造と抵抗をチェックする

ガス需要を念頭に置いて、変換のエンジニアリング条件を確認してください。

利用可能なスペース。 通常の FFU の内部空間は、ファン、粒子フィルター、ボックス構造で満たされています。化学濾過セクションを追加するには、追加の高さまたは奥行きが必要になります。スペースが不足する場合は構造の調整やケミカルフィルター部の厚みを薄くする必要がある場合があります。具体的な構成については、を参照してください。 ケミカルフィルターの厚みが制限されている場合の構成の決定方法についての議論 。

ファンのマージン。 化学濾過セクションによりシステムの抵抗が増加します。元のファンが新しい抵抗の下で目標風量を維持できるかどうかは、ファン曲線に従って計算する必要があります。すでにファンが高速で回転している場合は、マージンが不足する可能性があります。具体的な会計方法については、こちらをご参照ください。 ケミカルフィルターの追加抵抗によりファンの消費電力がどの程度増加するかについての議論 。

重量とサポート。 ケミカルフィルターセクションと媒体の重量は、FFU ボックスと天井サポートで支える必要があります。重量が大幅に増加した場合は、支持構造を強化する必要があるかどうかを判断してください。

風速目標。 フィルター部を追加すると、吹出口面の風速分布が変化する場合があります。改造後の風速が均一であるか、クリーンエリアの要件を満たしているかを確認する必要があります。具体的な測定方法については、こちらをご参照ください。 FFUにケミカルフィルターを搭載した場合の目標風速の確認方法について検討中 。

フィルター部の取り付け方法

FFU のどこに化学濾過セクションを設置するかは、変換計画と効果に影響を与えます。

空気取り入れ口の正面です。 化学濾過部は粒子フィルターの前に設置され、まずガスを処理し、次に粒子を制御します。この方法は、微粒子フィルターを化学媒体のドロップアウトから保護します。ただし、吸気口前のスペースが限られている場合がありますので、設置条件の確認が必要です。

パーティクルフィルター後。 化学濾過部は粒子濾過器の後に設置されます。この方法では、空気のこの部分がクリーンエリアに直接送られるため、化学媒体が塵やガスを発生するかどうかに特別な注意を払う必要があります。具体的な確認方法については、こちらをご参照ください。 ULPA の低アウトガス要件を検証する方法についての議論 。

一体型構造。 一部の改造ソリューションでは、微粒子濾過と化学濾過を単一のフレームに統合しています。コンパクトな構造ですが、交換方法やメンテナンス方法の確認が必要です。

どこに設置されても、シールは信頼できるものでなければなりません。 フレームバイパスにより、未処理の空気がフィルター材をバイパスし、出口濃度に影響を与えます。具体的な検査方法については、こちらをご参照ください。 ケミカルフィルター設置後のフレームバイパス確認方法についての議論 。

完了後に実行を確認する

変換が完了したら、「インストールされている」だけを確認するだけではなく、実際の動作状況を確認する必要があります。

風量測定。 作業装置の空気出口面の風速と風量を測定し、改造後も設計要件を満たしていることを確認します。風量が大幅に低下した場合は、ファンの動作点またはフィルターセクションの抵抗をもう一度確認する必要があります。

風速の均一性。 風出口面の風速を複数箇所で測定し、均等に分布していることを確認します。局所的な風速が低い場合は、クリーン エリアの気流範囲に影響を与える可能性があります。

出口濃度検出。 プロジェクト要件に応じて対象ガス出口濃度を検出し、処理効果を確認します。 「ケミカルフィルターを設置した」だけでは効果は判断できません。

粒子の清浄度。 FFU がもともと粒子制御を担当していた場合、変換後に粒子の清浄度を低下させることはできません。漏れ検出と粒子検出は、当初の要件に従って実行されます。

パスを維持します。 ケミカルフィルター部の交換が可能であることを確認してください。装置の内部スペースは限られており、フィルタエレメントを交換するには他の部品の分解が必要になる場合があります。メンテナンスアクセスと操作スペースは改修計画で確認する必要があります。関与する FFU対応ケミカルフィルターのシステム、インターフェース、メンテナンス方法など を企画段階で合わせて確認する必要があります。

プロジェクトの判断例

クリーンルームにはもともと普通のFFUがあり、正常に稼働していました。その後、工程を調整したところ、若干の有機臭が周囲に発生しましたが、粒子制御には問題ありませんでした。

最初のアイデアは、FFU 空気入口の前に化学フィルター材料の層を設置することです。評価の結果、元々のFFUの吸気スペースが不足しており、設置後は抵抗が約30%増加したことが分かりました。ファンのマージンが不十分なため、風量が大幅に低下します。

調整案：ケミカルフィルター部設計のFFUに置き換え、ファン静圧を高め、フィルター部設置スペースを確保した構造となります。改造後は風量と風速が要件を満たし、吹出口濃度と臭気が大幅に改善されました。オリジナルの FFU は、ガス処理を必要としない他の分野で使用されます。

このケースは次のことを示しています。 通常の FFU 変換はエンジニアリング条件に依存し、単にフィルター材料の層を追加するだけではありません。 関与する ケミカルフィルター製品シリーズの構成については 、FFU パラメーター、ガス要件、およびスペース条件を検証のためにサプライヤーに提供することをお勧めします。

選定と受入検査のポイント

Aili Industrial の FFU 変換パッケージについて

FFU が化学濾過セクションを設置する場合、重要なのはファンのマージン、構造スペース、シール界面、風速目標を確認することです。

Aili Industrial は、フィルター、モーター、ファン、制御システム、板金加工における独立した製造能力を備えており、ケミカルフィルター製品シリーズとサポートする空気供給装置を提供できます。 FFU 改造プロジェクトの場合、元のユニットのパラメーター、ガス需要、設置スペース、操作要件に基づいて、フィルターセクションの構成と改造計画の確認を支援します。 FFU、EFUなどの機器とフィルタをマッチングさせると、抵抗値、インターフェース、メンテナンス方法などを統一して確認できます。

関連商品：ケミカルフィルター製品シリーズ、FFUマッチングケミカルフィルター、MAUボックスケミカルフィルター。問い合わせの際に元の FFU パラメータ、ガス要件、システム条件を提供すると、適切な改造計画を確認するのに役立ちます。具体的な選択は、プロジェクトによって確認された技術文書とテスト結果に基づいて行われます。