FFU ケミカルフィルターは HEPA の前に置くべきですか、それとも後に置くべきですか?

FFU で粒子濾過セクションと化学濾過セクションの両方を構成する場合、よくある質問は、誰が前で誰が後ろなのかということです。

この順序は任意ではありません。 化学媒体による粉末損失のリスク、HEPA 負荷、空気流路、メンテナンス方法に影響します。順序も違いますし、請け負う仕事や直面する労働条件も異なります。具体的な違いについては、を参照してください。 ケミカルフィルターとHEPAフィルターの違いについての説明 。

フィルタオブジェクトを個別に識別する

シーケンスについて説明する前に、まず 2 つのフィルターの役割分担を確認します。

HEPAは粒子制御を担当します。その効率レベル、シール方法、および漏れ検出要件は、対応する規格に従って実装されています。粒子フィルターは、粒子サイズの範囲、濾過効率、設置のシール、および現場での漏れ検出に重点を置いています。

化学ろ過セクションは対象ガスの処理を担当します。媒体の種類、容量、交換サイクルは、ガスの組成、濃度、空気量に基づいて決定されます。

この 2 つは互いに置き換えることはできません。 化学フィルターセクションの粒子を遮断する能力は限られており、HEPA にはガス分子を処理する能力がありません。逐次議論は、それぞれの機能を確認することに代わるものではありません。具体的な原則については、以下を参照してください。 対象ガスに応じてケミカルフィルターを選ぶ理由を解説 。

HEPAの前に化学濾過部を設置した場合の様子

これは比較的一般的な構成方法です。

HEPAを保護します。 化学濾過セクションが最初にガスを処理し、HEPA が後方で最終的な粒子制御を担当します。化学媒体から微量の粉末が落ちた場合、HEPA はこれらの粒子を捕らえ、クリーン エリアへの侵入を防ぎます。具体的な確認方法については、こちらをご参照ください。 ULPA の低アウトガス要件を検証する方法についての議論 。

HEPA の負担は異なる場合があります。 化学濾過セクションがガス汚染を効果的に削減できる場合、HEPA は主に粒子に対処します。ただし、ケミカルフィルター部自体にも抵抗が発生する場合があり、ファンが2つのフィルターの抵抗を同時に克服できるかどうかを確認する必要があります。具体的な会計方法については、こちらをご参照ください。 ケミカルフィルターの追加抵抗によりファンの消費電力がどの程度増加するかについての議論 。

メンテナンス方法。 ケミカルフィルター部の交換サイクルは通常HEPAとは異なります。両方のセクションが FFU 内に取り付けられている場合、ケミカル フィルター セクションを交換するときに HEPA を分解するか、HEPA をバイパスする必要がある場合があります。メンテナンスアクセスと操作シーケンスは設計段階で確認する必要があります。

HEPA シーリングへの影響。 化学濾過セクションを追加すると、FFU の内部構造が変化する可能性があります。 HEPA 設置の密閉性を再確認する必要があります。フレームバイパスにより、未処理の空気が粒子フィルターをバイパスできるようになり、空気供給の品質に影響を与えます。具体的な検査方法については、こちらをご参照ください。 ケミカルフィルター設置後のフレームバイパス確認方法についての議論 。

化学濾過セクションはHEPAの後に配置されます

この構成は比較的まれですが、適用可能なシナリオもあります。

メディアの清浄度と互換性の要件はさらに高くなります。 ケミカルフィルターセクションをHEPAの後に配置すると、処理された空気が直接クリーンエリアに送られます。このとき、化学媒体の粉末損失とガス放出を厳密に制御する必要があります。そうしないと、空気供給の品質に直接影響します。選択する際は、メディアがクリーン互換性の要件を満たしているかどうかを確認してください。具体的な検出方法については、以下を参照してください。 ケミカルフィルターの性能レポートに特定の対象ガスが記載されている理由についての説明 。

HEPA 保護が失われます。 化学濾過セクション 以前の構成では、HEPA が化学媒体の粉末損失を阻止できます。ただし、この構成では、HEPA が前部にあり、ケミカル フィルター セクションが後部にあります。 HEPA はケミカル フィルター セクションを粒子から保護することはできません。化学媒体がほこりの影響を受けやすい場合は、追加の前ろ過が必要になる場合があります。

メンテナンススペースはより柔軟になる可能性があります。 HEPA が上部にあり、ケミカル フィルター セクションが下部にある場合、ケミカル フィルター セクションを交換するときに HEPA を移動する必要がない場合があります。ただし、これは FFU の特定の構造によって異なります。

エアフロー経路の確認が必要です。 一部の FFU のファンの位置と内部構造により、空気の流れの方向が決まります。ケミカルフィルターセクションが HEPA の後に配置されている場合、空気流が実際にバイパスや短絡なしで 2 段フィルターを通過することを確認する必要があります。具体的な構成については、を参照してください。 FFU とケミカルフィルターを組み合わせた局所的な汚染にどのような対処ができるかについての議論 。

メディアの清潔さと互換性に注意する

順序に関係なく、化学媒体の清浄度適合性を確認する必要があります。

粉が落ちる危険があります。 特定のケミカルフィルター素材は、動作中に粉塵を発生する可能性があります。これらの粉塵がクリーンエリアに入ると、粒子制御に影響を与える可能性があります。具体的な検出方法については、以下を参照してください。 ケミカルフィルター表面の粉塵対策について検討中 。

ガス放出の危険性。 化学媒体自体が微量の有機物を放出する可能性があります。フィルターセクションが空気供給の終了前に配置されている場合、リリースのこの部分は保護領域に直接入ります。選択の際は、媒体がプロジェクトのガス放出要件を満たしているかどうかを確認してください。具体的な確認方法については、こちらをご参照ください。 ケミカルフィルターの初期効率と寿命効率の違いについての説明 。

構造的に密閉されています。 両方のフィルターのフレームシールは信頼性が高くなければなりません。どのセクションでもバイパスを行うと、全体のエフェクトに影響します。設置後は各部のシール状態を確認することをお勧めします。具体的な方法については、こちらをご参照ください ケミカルフィルター設置後のフレームバイパス確認方法についての議論 。

全体的なエアフローを確認する

シーケンスが決定したら、FFU 全体の実行ステータスを検証する必要があります。

風速分布。 2段フィルター設置後は、吹出口面の風速分布が変化する場合があります。多点測定により風速の均一性を確認します。具体的な方法については、こちらをご参照ください FFUにケミカルフィルターを搭載した場合の目標風速の確認方法について検討中 。

抵抗とファンのマージン。 2 つのフィルターの抵抗は一緒に計算する必要があります。ファンが目標風量を維持できるかどうかは、実際の動作点に基づいて確認する必要があります。具体的な方法については、こちらをご参照ください ケミカルフィルターの追加抵抗によりファンの消費電力がどの程度増加するかについての議論 。

出口濃度検出。 プロジェクト要件に従って対象ガス出口濃度を検出し、化学ろ過セクションの効果を確認します。粒子の清浄度も当初の要件に従って確認する必要があり、2 段フィルターの効果も別途検証する必要があります。

メンテナンス動作確認。 ケミカルフィルター部やHEPAを交換した場合でも運用可能ですか？装置の内部スペースは限られており、計画段階で交換順序や分解・組立方法を確認する必要があります。関与する FFU対応ケミカルフィルターのシステム、インターフェース、メンテナンス方法など を合わせて確認する必要があります。

プロジェクトの判断例

特定の FFU では、循環空気流中の有機ガスを処理するために、オリジナルの HEPA の前に化学濾過セクションを設置する必要があります。

暫定計画では、化学濾過セクションを HEPA の前に配置します。しかし、評価の結果、FFU の内部空間は限られており、設置後の 2 つのフィルター間の距離が近すぎて、風量分布が不均一になる可能性があることが判明しました。同時にケミカルフィルター部の抵抗によりファンの動作点が上限に近づきます。

調整案：化学濾過部を薄型構造に変更し占有スペースを削減。 HEPA の前に十分な流量均等化距離を維持します。ファンの動作点を計算した後、動作ギアを調整し、風量が要件を満たしていることを確認します。設置後は風速分布や吹出口濃度を測定し、設計目標を満たしていることを確認します。

この事例からわかること：前後のシーケンスはスペース、抵抗、メンテナンス状況などを総合的に判断してください。 関与する ケミカルフィルター製品シリーズの構成については 、FFU パラメーター、ガス要件、およびスペース条件を検証のためにサプライヤーに提供することをお勧めします。

選定と受入検査のポイント

Aili IndustrialのFFU化学濾過パッケージについて

FFU化学濾過部とHEPAの配置の基本は、濾過対象物、濾材の特性、空間条件、メンテナンス方法などをマッチングさせることです。

Aili Industrial は、フィルター、モーター、ファン、制御システム、板金加工における独立した製造能力を備えており、ケミカルフィルター製品シリーズとサポートする空気供給装置を提供できます。 FFU プロジェクトの場合、元のユニットのパラメーター、ガス要件、設置スペース、操作要件に基づいて、フィルター セクションの順序と構成の確認を支援します。 FFU、EFUなどの機器とフィルタをマッチングさせると、抵抗値、インターフェース、メンテナンス方法などを統一して確認できます。

関連商品：ケミカルフィルター製品シリーズ、FFUマッチングケミカルフィルター、MAUボックスケミカルフィルター。お問い合わせの際に FFU パラメータ、ガス要件、システム条件を提供していただくと、適切なフィルター セクションのレイアウト計画を確認するのに役立ちます。具体的な選択は、プロジェクトによって確認された技術文書とテスト結果に基づいて行われます。