晶圆厂化学过滤方案如何划分新风和循环风？

晶圆厂化学过滤方案应区分新风带入的污染与室内循环中的分子污染，再确定MAU、循环过滤和设备端保护的职责。两种空气路径不能简单互相替代。

新风段控制外部输入

入口气体及季节变化决定新风过滤需求。应确认主要目标、负荷和空气处理过程，避免把外部气体带入后才局部补救。

循环段关注内部来源

物料、设备及操作可能持续释放气体。局部排风与循环处理需要配合，强释放不能只依赖房间回风稀释。

设备区域单独核对

不同设备的敏感性与微环境要求可能不同。应设置相应检测点及维护目标，不以总回风读数代表全部关键位置。

项目判断示例

新风气体已下降而某设备区域仍有变化时，可调查内部来源，再评估局部循环过滤。

选型检查要点

将下面四项写进评估记录，便于产品比较、试用及后续复核使用相同条件。

艾立工业的产品与设备配套

艾立工业提供MAU箱式化学过滤器及相关洁净空气设备配套。新风或空气处理机组项目应同时核对入口气体、风量、过滤段位置与更换空间，明确颗粒预过滤和气相过滤的分工。艾立工业的电机、风机研发与生产、控制系统、钣金、过滤器及整机装配能力，可用于衔接过滤段与送风设备的配置；具体气体适用性和性能仍需按型号、滤料与使用条件确认。

相关产品：MAU箱式化学过滤器；更多方案可查看化学过滤器系列。先明确污染与保护目标 → 再核对产品条件 → 最后验证现场效果。

摘要

晶圆厂化学过滤方案应区分新风带入的污染与室内循环中的分子污染，再确定MAU、循环过滤和设备端保护的职责。两种空气路径不能简单互相替代。