ウェーハ工場の化学濾過液を外気と循環空気に分けるにはどうすればよいですか?

工場の化学濾過計画では、外気によってもたらされる汚染と屋内循環における分子汚染を区別し、MAU、循環濾過、および装置側の保護の責任を決定する必要があります。 2 つの空気経路は単純に相互に置き換えることはできません。

外気セクション制御外部入力

吸入ガスと季節の変化により、外気ろ過の必要性が決まります。局所修復の前に、主な対象、負荷、および空気処理プロセスを確認して、外気の持ち込みを避ける必要があります。

ループセグメントは内部ソースに焦点を当てます

材料、装置、および作業により継続的にガスが放出される可能性があります。局所排気と循環処理は調整する必要があり、強力な放出は室内の戻り空気の希釈のみに依存することはできません。

設備エリアを個別に確認する

デバイスが異なれば、感度や微環境要件も異なる場合があります。対応する検出ポイントとメンテナンス目標を設定する必要があり、すべての重要な場所を表すために総還気測定値を使用するべきではありません。

プロジェクトの判断例

外気ガスが減少したにもかかわらず、特定の装置エリアにまだ変化がある場合、内部発生源を調査し、局所循環ろ過を再評価できます。

選定チェックポイント

評価記録には以下の4項目を記入していただくと、同一条件での製品の比較、試用、その後の検討が容易になります。

アイリ工業製品・設備サポート

アイリ工業はMAUボックス型ケミカルフィルターと関連クリーンエア機器を提供しています。外気またはエアハンドリングユニットのプロジェクトでは、入口ガス、空気量、フィルターセクションの位置、交換スペースを同時にチェックし、粒子前濾過と気相濾過の分業を明確にする必要があります。 Aili Industrial のモーターとファン、制御システム、板金、フィルター、および完全な機械組み立て能力の研究開発と生産は、フィルターセクションと空気供給装置の間の接続を構成するために使用できます。特定のガスの適用性と性能は、モデル、フィルターの材質、使用条件に基づいて確認する必要があります。

関連商品：MAUボックス型ケミカルフィルター；さらに多くのプランを表示できますケミカルフィルターシリーズ。まず汚染と保護の目標を明確にし、次に製品の状態を確認し、最後に現場での効果を検証します。

まとめ

工場の化学濾過計画では、外気によってもたらされる汚染と屋内循環における分子汚染を区別し、MAU、循環濾過、および装置側の保護の責任を決定する必要があります。 2 つの空気経路は単純に相互に置き換えることはできません。