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Wie teilt man die chemische Filterlösung der Waferfabrik in Frischluft und Umluft auf?

Anzahl der Aufrufe: 3560     Autor: Aili Industry Veröffentlichungszeit: 05.10.2026 Quelle: Ai Li Industrial

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Wie teilt man die chemische Filterlösung der Waferfabrik in Frischluft und Umluft auf?

Der Plan für die chemische Fabrikfiltration sollte zwischen Verschmutzung durch Frischluft und molekularer Verschmutzung in der Innenzirkulation unterscheiden und dann die Verantwortlichkeiten von MAU, Zirkulationsfiltration und geräteseitigem Schutz festlegen. Die beiden Luftwege können sich nicht einfach gegenseitig ersetzen.

Externer Eingang zur Steuerung des Frischluftabschnitts

Einlassgas und saisonale Veränderungen bestimmen den Bedarf an Frischluftfiltration. Das Hauptziel, die Belastung und der Luftaufbereitungsprozess sollten bestätigt werden, um das Einbringen von Außenluft vor der lokalen Sanierung zu vermeiden.

Schleifensegmente konzentrieren sich auf interne Quellen

Materialien, Geräte und Vorgänge können kontinuierlich Gase freisetzen. Die lokale Abgas- und Zirkulationsbehandlung muss koordiniert werden, und eine starke Freisetzung kann nicht nur auf der Verdünnung der Raumrückluft beruhen.

Gerätebereich individuell prüfen

Verschiedene Geräte können unterschiedliche Empfindlichkeiten und Mikroumgebungsanforderungen haben. Es sollten entsprechende Erkennungspunkte und Wartungsziele festgelegt werden, und die Gesamtrückluftwerte sollten nicht zur Darstellung aller kritischen Standorte herangezogen werden.

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Wenn das Frischluftgas gesunken ist, es aber dennoch zu Veränderungen in einem bestimmten Gerätebereich kommt, kann die interne Quelle untersucht und die lokale Zirkulationsfiltration erneut bewertet werden.

Auswahlkontrollpunkte

Tragen Sie die folgenden vier Elemente in das Bewertungsprotokoll ein, um den Produktvergleich, den Test und die anschließende Überprüfung unter denselben Bedingungen zu erleichtern.

für Prüfgegenstände. Bestätigen Sie wichtige Punkte für Prüfgegenstände Bestätigen Sie wichtige Punkte
externer Eingang Überprüfen Sie den MAU-Eingang interne Freigabe Untersuchen Sie Geräte und Materialien
Radweg Bestimmen Sie den Umfang der Verarbeitung kritischer Bereich Überprüfen Sie Mikroumgebungen unabhängig

Aili Industrial Produkte und Ausrüstung unterstützen

Aili Industrial bietet chemische MAU-Kastenfilter und zugehörige Reinluftgeräte an. Bei Frischluft- oder Lüftungsanlagenprojekten sollten gleichzeitig das Einlassgas, das Luftvolumen, die Position des Filterabschnitts und der Ersatzraum überprüft und die Arbeitsteilung zwischen Partikelvorfiltration und Gasphasenfiltration geklärt werden. Die Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von Motoren und Lüftern, Steuerungssystemen, Blechen, Filtern und kompletten Maschinenmontagekapazitäten von Aili Industrial können zur Konfiguration der Verbindung zwischen dem Filterabschnitt und der Luftversorgungsausrüstung genutzt werden. Die spezifische Anwendbarkeit und Leistung des Gases muss noch anhand des Modells, des Filtermaterials und der Nutzungsbedingungen bestätigt werden.

Verwandte Produkte:Chemischer Kastenfilter MAU ; Weitere Pläne können eingesehen werdenChemische Filterserie . Zunächst die Schadstoff- und Schutzziele klären → dann die Produktbedingungen prüfen → abschließend die Wirkung vor Ort verifizieren.

Zusammenfassung

Der Plan für die chemische Fabrikfiltration sollte zwischen Verschmutzung durch Frischluft und molekularer Verschmutzung in der Innenzirkulation unterscheiden und dann die Verantwortlichkeiten von MAU, Zirkulationsfiltration und geräteseitigem Schutz festlegen. Die beiden Luftwege können sich nicht einfach gegenseitig ersetzen.

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Aili Industrial entwickelt und produziert FFU-, EFU-, HEPA/ULPA-Luftfilter, hocheffiziente Luftzufuhröffnungen, Ventilatorkästen und andere Geräte für saubere Luft. Wir stützen uns auf Motoren, Lüfter, Steuerungssysteme, Filter und umfassende Maschinenunterstützungsfunktionen und bieten Unterstützung bei der Auswahl und Anpassung von Reinraum- und Produktionsausrüstungsprojekten.

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