Làm thế nào để phân chia dung dịch lọc hóa học của nhà máy sản xuất wafer thành không khí trong lành và không khí tuần hoàn?
Kế hoạch lọc hóa học của nhà máy phải phân biệt giữa ô nhiễm do không khí trong lành và ô nhiễm phân tử trong quá trình lưu thông trong nhà, sau đó xác định trách nhiệm của MAU, lọc tuần hoàn và bảo vệ phía thiết bị. Hai đường dẫn khí không thể thay thế nhau một cách đơn giản.
Kiểm soát phần không khí trong lành đầu vào bên ngoài
Khí đầu vào và sự thay đổi theo mùa xác định nhu cầu lọc không khí trong lành. Cần xác nhận mục tiêu chính, tải trọng và quy trình xử lý không khí để tránh đưa không khí bên ngoài vào trước khi khắc phục cục bộ.
Các đoạn vòng lặp tập trung vào các nguồn nội bộ
Vật liệu, thiết bị và hoạt động có thể liên tục thải ra khí. Việc xử lý khí thải và tuần hoàn cục bộ cần phải được phối hợp và việc giải phóng mạnh mẽ không thể chỉ dựa vào sự pha loãng không khí hồi phòng.
Kiểm tra khu vực thiết bị riêng lẻ
Các thiết bị khác nhau có thể có độ nhạy và yêu cầu môi trường vi mô khác nhau. Nên thiết lập các điểm phát hiện và mục tiêu bảo trì tương ứng và không nên sử dụng tổng số chỉ số không khí hồi lưu để đại diện cho tất cả các vị trí quan trọng.
Ví dụ về đánh giá dự án
Khi lượng khí trong lành đã giảm nhưng vẫn có những thay đổi ở một khu vực thiết bị nhất định, nguồn bên trong có thể được điều tra và quá trình lọc tuần hoàn cục bộ có thể được đánh giá lại.
Điểm kiểm tra lựa chọn
Viết bốn mục sau vào hồ sơ đánh giá để tạo điều kiện cho việc so sánh, dùng thử và đánh giá sản phẩm sau đó trong cùng điều kiện.
| cho hạng mục kiểm tra | Xác nhận các điểm chính | cho hạng mục kiểm tra | Xác nhận các điểm chính |
|---|---|---|---|
| đầu vào bên ngoài | Kiểm tra lối vào MAU | phát hành nội bộ | Điều tra thiết bị và vật liệu |
| đường vòng | Xác định phạm vi xử lý | khu vực quan trọng | Xác minh độc lập môi trường vi mô |
Hỗ trợ sản phẩm và thiết bị công nghiệp Aili
Aili Industrial cung cấp các bộ lọc hóa học dạng hộp MAU và các thiết bị không khí sạch có liên quan. Đối với các dự án đơn vị xử lý không khí hoặc không khí trong lành, cần kiểm tra đồng thời khí đầu vào, thể tích không khí, vị trí bộ lọc và không gian thay thế, đồng thời phải làm rõ sự phân công lao động giữa lọc trước hạt và lọc pha khí. Có thể sử dụng hoạt động R&D và sản xuất động cơ, quạt, hệ thống điều khiển, tấm kim loại, bộ lọc và khả năng lắp ráp máy hoàn chỉnh của Aili Industrial để định cấu hình kết nối giữa phần bộ lọc và thiết bị cung cấp không khí; khả năng ứng dụng và hiệu suất khí cụ thể vẫn cần được xác nhận dựa trên kiểu máy, vật liệu lọc và điều kiện sử dụng.
Sản phẩm liên quan:Bộ lọc hóa học loại hộp MAU ; có thể xem thêm kế hoạchDòng lọc hóa học . Trước tiên, hãy làm rõ mục tiêu bảo vệ và ô nhiễm → sau đó kiểm tra tình trạng sản phẩm → cuối cùng là xác minh hiệu quả tại chỗ.
bản tóm tắt
Kế hoạch lọc hóa học của nhà máy phải phân biệt giữa ô nhiễm do không khí trong lành và ô nhiễm phân tử trong quá trình lưu thông trong nhà, sau đó xác định trách nhiệm của MAU, lọc tuần hoàn và bảo vệ phía thiết bị. Hai đường dẫn khí không thể thay thế nhau một cách đơn giản.
