箱式化学过滤器是一种安装在MAU新风机组和空气处理系统中的气态污染物控制设备。与主要针对颗粒物的初效、中效及HEPA过滤器不同，化学过滤器主要针对空气中的气态分子污染物，通过物理吸附、化学吸附或复合反应等方式降低特定污染物进入洁净区域的浓度。
艾立工业箱式化学过滤器可根据不同污染物选择相应的化学滤料，并结合MAU风量、过滤器尺寸、安装深度和系统阻力进行配置。
典型处理对象包括：
酸性污染物 → HF → HCl → H₂SO₄ → HNO₃ → SO₂ → NO₂
碱性污染物 → NH₃ → 胺类 → NMP
VOC及有机污染物 → 甲苯 → 丙酮 → 有机溶剂 → 其他挥发性有机物
其他污染物 → 臭氧 → H₂S → 硼化合物 → 磷化合物等
MAU负责向洁净室持续提供经过处理的新风。对于普通建筑环境，颗粒物过滤通常已经能够满足基本空气处理需求；但在半导体、电子制造、光电、精密实验室等环境中，空气中还可能存在浓度较低但具有工艺影响的分子污染物。
这类污染物通常以气态或分子状态存在，普通初效过滤器、中效过滤器和HEPA过滤器并不是主要针对对象。
因此，MAU系统可以根据实际空气质量和工艺需求增加化学过滤段：
室外新风 → 初效过滤 → 中效过滤 → 化学过滤 → 表冷/加热 → 加湿/除湿 → 洁净室送风
通过在新风进入洁净区域前设置化学过滤器，可以针对目标污染物进行控制，并与颗粒物过滤形成互补。
AMC（Airborne Molecular Contamination）是洁净室空气质量控制中的重要组成部分，尤其在半导体、电子、光电等制造环境中，需要根据具体工艺识别空气中的酸性、碱性、VOC及其他分子污染物。
艾立工业箱式化学过滤器针对不同污染物采用不同的滤料组合。
污染物类别 | 典型污染物 | 常见应用方向 | 推荐滤料方向 |
|---|---|---|---|
酸性气体 | HF,HCl,H₂SO₄,HNO₃,SO₂,NO₂ | 半导体、电子、光电 | 875(2751)等 |
碱性气体 | NH₃,胺类,NMP | 半导体、电子、化工相关环境 | 147(2752)等 |
VOC | 甲苯、丙酮、有机溶剂等 | 电子、半导体、实验室 | 853(2750)等 |
臭氧及硫化物 | O₃,H₂S,SO₂等 | 工业新风、洁净室 | 根据污染物选择复合滤料 |
掺杂物 | 硼、磷等相关化合物 | 半导体制造 | 根据污染物进行滤料配置 |
不同化学污染物需要使用具有针对性的吸附或反应材料。艾立工业可根据污染物类型选择不同滤料，并通过滤料组合满足不同MAU系统的空气处理需求。
853(2750)主要用于VOC及部分常见室外空气污染物的控制，可用于挥发性有机物、SO₂、NO₂、臭氧、硫氧化物及硼等污染物的吸附处理。
适用污染物：
VOC → 甲苯 → SO₂ → NO₂ → 臭氧 → 硫氧化物 → 硼
147(2752)主要用于碱性气态污染物控制，可针对氨、胺类和NMP等污染物进行吸附处理。
适用污染物：
NH₃氨 → 胺类 → NMP → 部分VOC
875(2751)主要用于酸性气体污染物控制，可用于HF、HCl、硫酸相关污染物，同时适用于SO₂、NO₂、臭氧和H₂S等气态污染物。
适用污染物：
HF → HCl → H₂SO₄ → SO₂ → NO₂ → 臭氧 → H₂S
853、147和875等滤料的具体使用寿命会受到污染物浓度、空气流量、温湿度、滤料厚度以及运行时间等因素影响，因此实际选型应结合现场污染物数据进行确定。
艾立工业箱式化学过滤器采用箱式结构，可安装在MAU标准过滤段内，并根据设备结构提供不同尺寸和安装形式。
框架 → 镀锌钢板 → 304不锈钢 → 铝材可选
密封 → EPDM密封垫 → PU密封胶
滤料 → 853(2750) → 147(2752) → 875(2751) → 复合滤料
结构 → 单头 → 双头 → 箱式结构
滤料形式 → 褶式滤料 → 10–12褶/线性英尺
特点 | 说明 |
|---|---|
针对气态污染物 | 主要针对VOC、酸性气体、碱性气体及其他特定分子污染物 |
多种滤料 | 可选择853(2750)、147(2752)、875(2751)等化学滤料 |
复合配置 | 可根据污染物组成进行不同吸附材料组合 |
MAU配套 | 适用于新风机组和集中式空气处理系统 |
结构可定制 | 尺寸、厚度、框架和安装形式可根据设备调整 |
密封材料 | 可采用低释放EPDM密封材料和PU密封材料 |
框架选择 | 镀锌钢板、304不锈钢、铝材等 |
维护方便 | 箱式结构适合安装在标准MAU过滤段 |
低产尘设计 | 化学滤料采用稳定的包覆和固定方式，减少运行过程中的粉尘产生 |
多行业应用 | 半导体、电子、制药、生物医药、食品及实验室等 |
项目 | 853(2750) VOC | 147(2752) BASE | 875(2751) ACID |
|---|---|---|---|
滤料厚度 | 2.2mm | 2.2mm | 2.2mm |
基重 | 600g/m² | 600g/m² | 600g/m² |
主要方向 | VOC | 碱性气体 | 酸性气体 |
典型污染物 | VOC、SO₂、NO₂、臭氧、硫氧化物、硼 | NH₃、胺类、NMP | HF、HCl、H₂SO₄、SO₂、NO₂、臭氧、H₂S |
滤料形式 | 褶式 | 褶式 | 褶式 |
产品尺寸 W×H×D | 处理风量 | 空气阻力 | 风速 |
|---|---|---|---|
592×592×292mm | 3400 CMH / 2000 CFM | 80Pa | 2.5m/s |
287×595×292mm | 1700 CMH / 1000 CFM | 80Pa | 2.5m/s |
610×610×292mm | 3400 CMH / 2000 CFM | 80Pa | 2.5m/s |
305×610×292mm | 1700 CMH / 1000 CFM | 80Pa | 2.5m/s |
490×490×292mm | 2390 CMH / 1400 CFM | 80Pa | 2.5m/s |
490×592×292mm | 2800 CMH / 1650 CFM | 80Pa | 2.5m/s |
以上为常用参数示例，箱式化学过滤器支持非标尺寸及结构定制。
化学过滤器不能只按照尺寸进行选择。合理的选型需要同时考虑污染物、浓度、风量、安装空间和目标使用周期。
第一步 → 确定MAU处理风量
第二步 → 确定过滤器安装尺寸
第三步 → 确定主要污染物
第四步 → 确定污染物浓度
第五步 → 确定温度和相对湿度
第六步 → 选择对应化学滤料
第七步 → 确定滤料厚度及装填量
第八步 → 核算系统初阻力和运行风量
第九步 → 根据污染负荷估算更换周期
客户可以提供：
MAU风量 → 安装尺寸 → 过滤器厚度 → 目标污染物 → 污染物浓度 → 运行温度 → 相对湿度 → 更换周期要求 → 安装方式
这些信息越完整，化学过滤器的滤料配置和使用周期评估越容易准确。
在典型新风系统中，化学过滤器可以根据系统结构设置在初效和中效过滤段之后，用于对经过颗粒物预处理的新风进一步进行气态污染物控制。
典型结构：
室外空气 → 初效过滤 → 中效过滤 → 箱式化学过滤器 → 表冷/加热 → 加湿/除湿 → 送风 → 洁净室
对于半导体和电子行业，可以结合MAU、FFU、回风系统形成多级空气分子污染物控制方案。
MAU端化学过滤 → 新风AMC控制 → 洁净室环境 → FFU末端过滤 → 工艺区域空气控制
半导体制造过程中，空气中的酸性气体、碱性气体、VOC及部分掺杂物可能进入洁净环境，因此MAU端的分子污染物控制需要结合具体工艺进行设计。
艾立工业箱式化学过滤器可用于：
光刻区域 → 蚀刻区域 → 扩散区域 → 清洗区域 → 晶圆制造洁净室 → 半导体设备周边环境
根据污染物类型，可以分别选择酸性、碱性或VOC方向的化学滤料。
电子元件、精密制造及光电生产环境同样需要关注空气中的气态污染物。
适用场景包括：
电子洁净室 → 显示面板 → 光电制造 → 精密电子 → 磁盘及存储设备 → 精密实验室
对于不同生产区域，可以根据室外空气质量和工艺污染物来源配置不同的化学过滤材料。
化学过滤器不仅用于半导体洁净室，也可以用于对空气质量有特殊要求的生产和实验环境。
应用行业 | 典型场景 | 化学过滤需求 |
|---|---|---|
制药 | 洁净生产区 | VOC及特定气态污染物控制 |
生物医药 | 实验区、生产区 | 根据污染源选择滤料 |
食品 | 食品加工环境 | 气味及特定污染物控制 |
实验室 | 化学实验室、精密实验室 | 根据实验气体选择化学滤料 |
档案及文物 | 储存环境 | 腐蚀性气体控制 |
商业建筑 | 新风系统 | VOC及异味控制 |
艾立工业围绕空气净化设备建立了从风机、风机电机、控制系统、钣金结构到过滤器的生产体系，化学过滤器可以与MAU、FFU、EFU、HEPA及其他空气处理设备进行配套。
在化学过滤器项目中，艾立工业可以根据客户的MAU尺寸、处理风量和污染物类型进行滤料选择，并结合框架、密封、安装结构及系统阻力进行产品配置。
对于半导体、电子、光电等对空气质量有特殊要求的应用，可以从新风端的MAU化学过滤、洁净室FFU末端过滤到整体空气处理系统进行组合设计。
污染物分析 → 滤料选择 → 产品设计 → 生产制造 → 出厂检测 → 系统配套
艾立工业拥有约3万平方米生产基地，并具备风机、电机、控制系统、钣金、过滤器及净化设备的生产能力，可以将化学过滤器与FFU、EFU、HEPA过滤器及空气处理设备进行系统化配套。
不同项目的污染物组成和MAU条件存在差异，因此箱式化学过滤器可以按照实际工况进行定制。
尺寸定制 → 滤料定制 → 厚度定制 → 框架定制 → 密封方式定制 → 安装结构定制
可定制内容包括：
过滤器尺寸 → 过滤器深度 → 滤料类型 → 滤料组合 → 碳基重 → 框架材料 → 密封材料 → 风量 → 初阻力 → 安装方式
对于有现场检测数据的项目，可以结合污染物种类、浓度和系统运行参数进行化学滤料配置。
箱式化学过滤器是一种用于空气处理系统的气态污染物控制设备，通常安装在MAU或集中式空气处理机组中，通过活性炭、离子交换材料及其他复合吸附材料处理空气中的特定气态污染物。
HEPA过滤器主要用于空气中颗粒物的过滤，而化学过滤器主要针对气态分子污染物。
简单来说：
初效/中效过滤器 → 颗粒物预过滤
HEPA/ULPA过滤器 → 高效颗粒物过滤
化学过滤器 → 气态分子污染物控制
在洁净室中，三类过滤器可以根据系统设计组合使用。
MAU负责处理进入洁净室的新风。如果室外空气中存在VOC、酸性气体、碱性气体等分子污染物，仅依靠颗粒物过滤器无法针对这些气态污染物进行处理，因此可以在MAU中增加化学过滤段。
853(2750)主要用于VOC方向，也可用于SO₂、NO₂、臭氧、硫氧化物及硼等污染物的控制。
875(2751)主要用于酸性气体方向，包括HF、HCl、H₂SO₄等，同时可以用于SO₂、NO₂、臭氧和H₂S等污染物。
147(2752)主要用于碱性气态污染物，例如NH₃、胺类和NMP，也可以用于部分VOC污染物。
可以。艾立工业箱式化学过滤器支持非标尺寸定制，可以根据MAU过滤段尺寸、安装空间、风量和系统结构进行设计。
建议提供：
MAU风量 → 过滤器尺寸 → 过滤器深度 → 污染物类型 → 污染物浓度 → 温度 → 湿度 → 目标使用周期 → 系统允许阻力
更换周期与污染物浓度、处理风量、滤料类型、滤料装填量、温湿度及实际运行时间有关。对于连续运行的MAU系统，可以结合压差、污染物浓度变化和滤料吸附容量进行维护周期管理。
可以。该类产品可用于半导体及电子洁净室的新风处理，并根据酸性、碱性、VOC及其他分子污染物选择相应滤料。
可以。MAU端化学过滤器主要负责新风端的分子污染物控制，FFU端则可以根据洁净室设计进一步配置颗粒物过滤或化学过滤，形成新风端与末端的组合控制方案。
如果需要配置艾立工业箱式化学过滤器，可以直接提供以下信息：
MAU风量 → 过滤器尺寸 → 过滤器深度 → 污染物名称 → 污染物浓度 → 温湿度 → 允许阻力 → 更换周期 → 安装方式
艾立工业可根据具体工况提供 箱式化学过滤器、MAU化学过滤器、FFU化学过滤器及配套空气净化设备的选型与定制方案。
