FFU の外観サイズは天井モジュールとどのように一致しますか?

FFUはクリーンな天井に設置されており、全体の寸法は孤立した数値ではありません。天井係数、支持端幅、シール位置、メンテナンス方法と合わせて確認してください。天井の開口部に収まるからといって、正しく設置されているとは限りません。支持端が狭すぎたり、シール面の位置がずれていたり、吸気スペースや上部のメンテナンススペースが不足していたり​​すると、後々エア漏れや振動が発生したり、フィルタ交換が困難になる場合があります。

以下は、サイズの定義、サポート シーリング、設置とメンテナンス、古い天井の改修という側面から始まります。

寸法図では複数のベンチマークを区別する必要がある

多くのプロジェクトは、1175×575 などの「公称サイズ」だけを見て、それが一致すると考えています。実際の設置には、天井の明確な開口部、機器のフレーム、支持エッジ、フィルターのサイズ、シール面の位置など、複数のベンチマークが必要です。これらの寸法は天井システムごとに異なる方法で定義されており、混合することはできません。

たとえば、公称モジュールが同じ FFU の場合、外側のフレームがわずかに小さくなり、サポート エッジによってキール上に置かれる場合があります。あるいは、外枠を開口部と面一にして側面をシールしてもよい。呼び寸法のみに基づいて注文すると、現場でキール間の間隔が正しくない、サポートエッジが合わない、またはシールストリップがしっかりと押し付けられていないことが見つかる可能性があります。

有効排気面積と外部面積の違いがよくわからない場合は、次の図を参照してください。 FFUの有効排気面積はどのように見ればよいのでしょうか？ 、最初に計算された口径を区別し、次に取り付け寸法を確認します。

支持位置とシール方法も同時に確認が必要

天井システムが異なれば、支持位置とシール位置も異なります。一般的なものには、キールサポート、独立ブラケットサポート、サイドシール、トップシールなどが含まれます。サポートエッジの幅、シールストリップの圧縮量、および押し付け方法はすべて、エア漏れ率に影響します。

古い吊り天井を同じ公称仕様の FFU に交換する場合、サポートエッジの幅が変わる場合は、サポートとシールを再確認する必要があり、古い取り付け方法をそのまま使用しないでください。シールが緩んでいるとバイパス漏れが発生し、ろ過されていない空気がクリーンサイドに入る可能性があります。シール検査についてはこちらをご覧ください。 フィルター効率レポートでテスト粒子サイズを読み取る方法は? 完成品と施工の違いについて説明します。

ろ過効率とサイトグレードの関係について質問がある場合は、以下を参照してください。 清浄度レベルとろ過効率の違いは何ですか?シールの問題をフィルタの問題と誤診しないようにしてください。

インストールおよび置換パスを脇に置いておきます

通常FFU上部には吸気スペース、配線スペース、フィルタ交換スペースが必要です。取り外し可能な FFU は下からフィルターを交換できますが、上部メンテナンス付きの FFU は上部にアクセスする必要があります。 2 つの方法では、天井の高さや周辺機器の要件が異なります。

照明器具、パイプ、消火用スプリンクラー、構造梁はメンテナンスの妨げにならないようにしてください。天井スペースが限られている場合は、薄型モデルやサイドアクセスモデルを評価できますが、風量、静圧、ろ過面積が目標を満たしているかどうかを確認する必要があります。メンテナンスチャネルが不十分だと、その後の支出が増加します。これが反映されているのは、 メンテナンスチャネルが不十分なために、後でどのような費用が増加するか について、より詳細な分析が行われています。

プロジェクトが段階的に構築される場合は、を参照してください。 クリーンシステムで独立したモジュールを使用するための拡張条件は何ですか? 、天井モジュール、制御アドレス、設置ベンチマークを事前に統一します。

機器重量と天井荷重

FFU の重量には、ボックス、モーター、ファン、フィルターが含まれます。モデルやフィルター構成が異なれば、重量は大きく異なる場合があります。運転後の振動や変形を避けるため、設置前に天井の耐荷重と固定方法を確認してください。

吊り天井の耐荷重が不十分な場合は、別途サポートや分散配置が必要となる場合があります。軽量モデルは負荷を軽減できますが、風量や静圧、構造強度なども確認する必要があります。重量と振動の関係については、こちらをご参照ください。 ウェーハ検査プラットフォームはどのようにして清浄度と低振動のバランスをとっているのでしょうか? 、振動の伝達経路を理解します。

全体寸法と風量・静圧のマッチング

同様の寸法の FFU であっても、内部構造やフィルター面積、実際の風量や静圧が異なる場合があります。選定の際は外枠サイズだけでなく、フィルタとの動作点、機外静圧、フィルタ抵抗なども確認してください。

公称風量が無負荷データの場合、天井埋込後は著しく風量が低下する場合があります。関連する判決については、以下を参照してください。 FFU の公称空気量はフィルターを使用してテストされていますか? そして FFU 機外静圧とは何を意味しますか? 。完全なパフォーマンス曲線は参照用に利用できます。 FFU を選択するときに完全なパフォーマンス曲線を確認する必要があるのはなぜですか?。

フィルターの選択は、ターゲット粒子サイズと実際の抵抗に対応する必要があります。HEPA および ULPA フィルター ページには、さまざまなレベルの製品のパラメーターがあります。選定の際は、対象機種の目標風量における効率をご確認ください。

グループ制御とEFUによるインターフェース連携

複数の FFU でパーティションの管理とトラブルシューティングが必要な場合は、それらを組み合わせることができます FFUグループ管理システム により一元管理が可能です。制御ケーブルとセンサーの位置も天井平面上に確保しておく必要があります。

機器側の部分的な保護については、こちらをご参照ください。 EFU機器のエンドファンフィルターユニット、部屋の背景空気供給を参照できます FFUクリーンエア供給製品。両者の役割分担の論理は次のとおりです。 デバイス側 EFU とルーム FFU の役割分担について 詳しく説明します。

機器のキャビティに特別なサイズ要件がある場合は、を参照してください。 密閉された機器キャビティへのクリーン エアの供給を計画するにはどうすればよいですか? 、まずキャビティ境界と空気流路を確認し、次に FFU または EFU の取り付けインターフェイスを決定します。

プロジェクトの判断例

プロジェクトでは、古い天井を FFU に置き換えました。呼び寸法は同じですが、新モデルは旧モデルに比べて支持端が狭くなりました。設置後、局所的な空気漏れが発生し、現場の粒子が不安定でした。調査の結果、シールストリップがキールに押し付けられていないことが判明した。調整方法：トランジションサポートフレームを追加し、シールを締め直します。交換後エア漏れは解消されました。

別のプロジェクトでは、吊り天井の上に消火用のパイプラインや構造梁があり、当初の計画では上部メンテナンスを行う予定でした。設置中にフィルターが交換できないことが判明しました。調整方法：着脱式に切り替え、天井開口部と支持端を再確認してください。調整後もメンテナンスチャンネルは保持されており、フィルター交換のために天井を分解する必要はありません。

これら 2 つの状況は、FFU の外観寸法が、長さと幅だけでなく、サポート、シーリング、重量、メンテナンス方法も一致していることを示しています。

選定と受入検査のポイント

アイリ産業機器サポートサポート

Aili Industry は、モーターの製造、ファンの独立した研究開発と生産、制御システムの開発、板金加工、エアフィルターの製造、および完全な機械の組み立てをカバーしています。 FFU 天井マッチング プロジェクトの場合、FFU、EFU、HEPA/ULPA フィルター、グループ制御システム、風量、静圧、および設置インターフェイスを均一にチェックして、機器構成を現場の評価境界と結び付け、コンポーネントのパラメーターと完全な機械の動作条件の間の乖離を減らすことができます。

学ぶ FFUクリーンエア供給製品；EFU装置側ファンフィルターユニット；HEPAおよびULPAフィルター；FFU グループ制御システムは、設置スペース、動作条件、ろ過空気供給構成をチェックします。