装置端にクリーンエアを供給
装置内の主要なプロセス領域に基づいて、ろ過されたきれいな空気を指定された場所に供給します。
超薄型・小型設計
限られたヘッドスペース、コンパクトな内部構造、または設置高さに制限のある生産装置に構造的に適合します。
標準および非標準のカスタマイズ
設置サイズ、目標空気量、静圧、濾過効率、材質、インターフェースの要件に応じて構成できます。
制御とシステムの統合
マルチスピード速度調整、ゾーン制御、RS485通信、機器制御システムとのインターフェース連携をサポートします。
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DCファンキャビネットは主に、オンデマンドで風量を調整する必要がある給排気システムに使用されます。これらは、稼働期間、地域の負荷、またはオンになっている機器の数が変化するプロジェクトに特に適しています。タイムシェアリング操作は、最も一般的な使用シナリオです。作業、業務などのモードに応じて速度を切り替えることができ、軽負荷時の入力電力を低減します。デマンドエアも地域的な負荷の変化に対応できますが、速度を下げると利用可能な圧力も変化するため、最も不利な端でも要件を満たしていることを確認する必要があります。新規プロジェクトでは設計段階で制御インターフェースを統一できますが、改修プロジェクトでは最初に元の制御信号、電源容量、メンテナンススペースを把握する必要があります。適用の判断には、設計風量、共通風量、対応機外静圧、運転期間、最不利端デマンド、電源条件、速度制御信号の種類、設置条件が必要となります。アイリ産業は、実際の作業条件に応じてDCファンシャーシの構成を議論することができ、EFU、FFU、高効率給気ベント、その他の機器との分業境界はシステムフローチャート上で明確に定義されます。 -
ここではファンボックスの給排気における役割をシステムの位置から説明し、電源装置と末端フィルタ装置に分けて説明します。ファンボックスは主にエアダクトや機器に給気と排気の動力を供給するために使用され、パイプラインやコンポーネントの抵抗を克服する必要があるシステムに適しています。代表的な用途は給気、排気、加圧の3つです。用途が異なれば、選択の境界も異なります。ファンボックスは空気清浄度レベルを直接定義するものではありません。清掃プロジェクトでは、高効率空気供給口、HEPA/ULPA フィルター、FFU などの最終ソリューションを個別に決定する必要があります。目的に適合するかどうかを判断するには、給気または排気、設計風量、機外静圧、空気媒体、使用時間、制御方法、設置条件が必要となります。空気経路全体におけるファン ボックスの位置を知ることによってのみ、ボックスの構造、ファンのカーブ、メンテナンスの方向を決定できます。 -
DC ファン ボックスは、DC または電子整流電源システムを使用してファンを駆動します。モーター、ドライブ、制御信号の連携を理解することによってのみ、新築または改修プロジェクトに適しているかどうかを判断できます。モーターの定格電力はモーターの容量を定義するために使用され、ファンボックスの入力電力は特定の動作条件下でのマシン全体の実際の消費電力です。この 2 つは同じ数ではありません。お問い合わせの際は、速度制御信号、起動・停止方法、故障フィードバック、最低使用風量などをご確認ください。 -
ファン ボックスは、エア ダクトまたは機器に給気と排気の電力を供給する複合デバイスです。この記事ではフィルターやFFUとの境界、風量やシステム抵抗による選定方法について解説します。同じタイフーン シャーシを短いエア ダクトに接続した場合、風量は十分ですが、新しいフィルター セクションと長いエア ダクトに接続すると、最終要件を満たすことができなくなります。これは必ずしもモーターの故障ではありません。
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本稿では、「EFUの定格風量の計算方法」を中心に、有効給気面積、目標風速、単位換算、システム抵抗、ファン動作点の判断方法を解説し、機器の設計・調達・保守担当者が直接検証するための試作記録やバッチキュアのポイントを解説します。 Aili Industrial の EFU 製造システムは、モーター、ファン、フィルター、板金、完全な機械アセンブリをカバーしています。風量、フィルタ抵抗、ファン動作点を同一システム内で機種ごとに確認できます。 EFU 定格風量を計算するときは、Aili Industrial がモデルごとに提供する完全な機械とフィルターのサポート手順を参照できます。 -
本稿では EFU 出口風速の設定方法に焦点を当て、清浄度目標、給気面積、目標風速、風量反転、均一性確認の順で推進することを提案する。記事では、清浄度目標によって風速範囲が決まり、給気面積によって需要風量が決まると説明し、風速設定の6つのステップ（清浄度目標の確認、有効給気面積の確認、目標風速の決定、必要風量の推測、ファン動作点の一致、均一性の確認）を示している。また、この記事では、均一性を確認するための測定点のレイアウト、平均計算、不均一性評価方法について説明し、さまざまな機器シナリオでの風速設定の参考とモデル選択に必要な情報を提供し、ファンマッチング、フィルターの自社生産、構造設計、完全な機械検証におけるAili Industrialの機能を紹介し、機器側のプロジェクトがEFU出口風速の設定と受け入れ確認を容易に完了できるようにします。 -
EFU サイズの選択は、機器の空きスペース、対象となる給気面積、給気口と排気口の条件、設置インターフェース、メンテナンス経路の 5 つの側面から確認する必要があります。形状が入れられるからといって、風量、カバー範囲、メンテナンス要件を満たしていることを意味するわけではありません。 -
EFU 空気量は空気供給量を表し、静圧は抵抗に打ち勝つ能力を表します。機種を選定する際には、同一の使用条件で両方を確認し、フィルタ、回転数、設置境界などを説明し、設置後の実際の動作点を決定する必要があります。
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この記事では「極薄EFUフィルタの選び方」を中心に、サイズ適合、有効断面積、抵抗値、シール方法、交換方向、完全な機械適合の判断方法について説明します。また、機器の設計、調達、保守担当者による直接検証のための図面の確認、プロトタイプのテスト、バッチ硬化の提案も提供します。 Aili Industrial の EFU 製造システムは、モーター、ファン、フィルター、板金、および自社開発の制御装置をカバーしています。極薄EFUフィルタのサイズ、面積、抵抗値、交換方向を同一システム内の機器図面に基づいて確認できます。超薄型 EFU フィルターを選択する場合は、Aili Industrial が提供するフィルターとモデルごとの完全な機械マッチングの説明書を参照してください。 -
本稿では小型EFUの選定方法に焦点を当て、標準品を先に選ぶのではなく、機器開口部、目標風量、濾過面積、制御インターフェースの4つのポイントを逆に確認することを提案します。この記事では、機器の開口部がボックスの外側の境界を決定すると説明しています。風量は対象面積とシステム抵抗に応じて確認が必要です。濾過面積は、表面空気速度、抵抗、フィルター寿命に直接影響します。制御インターフェースは、機器システムとリンクできるかどうかを決定します。また、一般的な選択に関する誤解やさまざまな機器シナリオの構成もリストされています。また、Aili Industrial 小型 EFU、超薄型 EFU、DC EFU、スナップオン EFU、SMT 実装機 EFU、帯電防止 EFU、86 タイプ コントローラ、カスタマイズ EFU などの関連製品ページも推奨し、ユーザーがアプリケーション シナリオに応じてさらに選択できるようにします。 -
この記事では、ナローボディ EFU のアプリケーションとカスタマイズに焦点を当て、ナローボディ EFU が主に半導体装置、SMT 実装機、精密検査装置、自動化装置、小型のクリーン ワーク ユニットなどの幅が制限されたシナリオに適していることを説明します。この記事では、幅圧縮後のエアダクト抵抗、フィルター風上面の均一性、ファンの動作点の変化の分析に焦点を当て、フィルターの選択、ファンのマッチング、設置設計、制御連携の確認ポイントを示し、ナローボディ EFU のカスタマイズに必要な情報をリストします。また、Aili Industrial EFU、小型 EFU、超薄型 EFU、DC EFU、スナップイン EFU、SMT 実装機 EFU、帯電防止 EFU、86 型コントローラなどの関連製品ページも推奨しており、ユーザーが装置のシナリオに応じてさらに選択できるようにしています。 -
70mm の超薄型 EFU は、上部スペースが限られている機器側のアプリケーションに適していますが、高さだけを確認して選択することはできません。空気入口条件、フィルタ有効面積、目標風量、静圧、均一性、配線、メンテナンス方向などの確認も必要です。 -
低高 EFU は、従来の構造を単純に平坦化したものではありません。風量、静圧、騒音を考慮するには、ファンの動作点、吸気スペース、フィルター抵抗、ボックスの剛性、速度調整戦略を組み合わせて設計する必要があります。
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この記事では、「着脱式 EFU のカスタマイズが必要になるのはどのような場合か?」に焦点を当てます。カスタマイズ要否の判断方法、構造境界凍結、技術協定、密閉構造、試作検証と受入ポイントを説明し、機器の設計・調達・保守担当者が直接検証するための図面確認、試作試験、バッチキュアの要点を解説します。 Ai Li Industrial の EFU 製造システムは、モーター、ファン、フィルター、板金、完全な機械アセンブリをカバーしています。取り外し可能な EFU の構造、密閉性、および完全な機械性能を、同じシステム内の機器図面に従って確認できます。着脱式 EFU をカスタマイズする場合は、モデルに応じて Ai Li Industrial が提供する構造と性能をサポートする説明書を参照できます。 -
この記事では、サイドエアインレット EFU のカスタマイズ方法に焦点を当て、サイドエアインレット構造が機器の上部スペースが限られているシナリオに適していることを説明します。空気入口の位置は、最初に機械的シールド、パイプラインケーブル、メンテナンスチャネルを確認し、次に側面の空気入口によって引き起こされる空気ダクト抵抗の変化を評価し、最後にファンの動作点、ボックスのサイズ、および機器のインターフェースを決定する必要があることを強調しています。この記事では、フィルターとファンのマッチング、さまざまな機器シナリオのカスタマイズの方向性、プロジェクトのコミュニケーションに必要な情報も提供します。また、Aili Industrial EFU、カスタマイズされた EFU、小型 EFU、DC EFU、スナップオン EFU、SMT 実装機 EFU、帯電防止 EFU、超薄型 EFU、86 タイプ コントローラーなどの関連製品ページを推奨し、ユーザーがアプリケーション シナリオに応じてさらに選択できるようにします。 -
特殊吹出口の構造境界、気流分布、機器インターフェースの設計方法を説明します。特別な空気出口の EFU 設計は、対象となるクリーン エリアから逆方向に実行する必要があり、給気範囲、許容風速、機器のシールドと戻り空気経路を明確にし、出口サイズと内部の流れの分流を決定します。 Aili Industrial は、非標準の EFU カスタマイズとプロトタイプのテストを提供します。 -
非標準 EFU カスタマイズ データには、装置スペース、給気エリア、空気量と静圧、濾過効率、電源制御、設置、メンテナンス、および受け入れ方法が含まれている必要があります。データが完全であればあるほど、プロトタイプ段階で干渉やパフォーマンスのリスクを検出しやすくなります。 -
特殊形状の EFU は、標準的な角形ユニットを設置できない機器エリアに適していますが、回避すると有効スペースと空気流路が変化します。構造強度、局所抵抗、密閉性、メンテナンスの容易性は、設計中に同時に制御する必要があります。
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この記事では、EFU 表面風速の計算と測定に焦点を当てます。表面風速の基本式は風量をフィルター有効面積で割ったものであることを説明し、風量の単位換算方法を示します。この記事では、フィルターの実際の空気出口面積、フレームとシール ストリップの占有率、構造的閉塞、マルチフィルター構成の影響など、有効な濾過面積を確認する方法に焦点を当てています。また、測定面、測定点の数、グリッド レイアウト、干渉回避をカバーする測定点レイアウトの原則も示します。また、算術平均、不均一性、相対標準偏差の計算方法、測定上の注意点、許容事項なども紹介します。この記事ではまた、表面風速の計算に必要な情報をリストし、機器側プロジェクトにおける EFU 表面風速の測定と決定を容易にするために、ファンのマッチング、フィルターの自社生産、構造設計、完全な機械検証における Aili Industrial のサポート能力を紹介します。 -
この記事では、不均一な EFU 出口風速の問題に焦点を当て、調査はファンの位置、フィルターの状態、構造的な障害、システムの抵抗の順に実行する必要があると説明しています。この記事では、ファンの偏心した取り付け、フィルターに近すぎる、複数のファンの不均等なレイアウトなどのファンの位置の問題、不均一なフィルター抵抗、不十分なシール、仕様の不一致などのフィルターの問題、さらに内部ブラケット、ケーブルパイプライン、機器の機械構造などの障害物の問題が風速分布に及ぼす影響を分析します。 、対応する改善方法と風速均一性の受け入れ提案を示しました。また、トラブルシューティングに必要な情報をリストし、機器側のプロジェクトの位置付けを容易にし、不均一なEFU出口風速の問題を解決するために、ファンのマッチング、フィルターの自社生産、構造設計、完全な機械検証におけるAili Industryのサポート能力を紹介しました。 -
EFU の定格空気量は、特定の試験条件に対応する必要があります。設置後、システム抵抗の増加、入口バイアス、フィルター圧力差、機器のブロック、または速度設定の変更はすべて、実際の動作点をシフトさせ、空気量を減少させます。 -
EFU 要求風量は、有効給気面積と目標平均風速に基づいて計算できますが、計算値はあくまでも出発点です。実際の選定にはフィルター、ボックス、吸気口、排気口などの抵抗や機器の内部構造も考慮する必要があります。
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この記事では、EFU 用に U15 フィルターを構成する際の注意事項に焦点を当てます。 U15 が ULPA レベルのフィルターであり、初期抵抗と最終抵抗が従来の HEPA よりも高いことがわかります。選定の際は目標表面風速に応じて風量を反転し、最終的な抵抗条件に応じてファンの動作点を確認してください。この記事では、フィルターとボックス、ボックスと取り付け面、フィルターフレームと点検口など、U15 EFU のシール構造で気になる部分や、完成機組み立て後のスキャンと漏れ検出の検証ポイントについても説明しています。また、選択に必要なパラメータをリストし、ULPA フィルター、EC/DC ファンのマッチング、シーリング構造設計、完全な機械検証における Aili Industries のサポート機能を紹介し、装置側のプロジェクトが U15 グレード EFU の選択と受け入れ確認を完了するのを容易にします。 -
この記事では、EFU で構成された U16 ULPA フィルターの選択と検証に焦点を当て、U16 フィルターはより高い初期抵抗と最終抵抗特性を持ち、塵の含有量に応じて増加することを説明します。選択は、単に初期抵抗を一致させるのではなく、目標表面風速とシステムの総抵抗に基づいて、最終抵抗条件下でもファンが目標風量を維持できることを確認する必要があります。この記事では、ファンマッチングの 5 段階のロジック、表面風速測定、抵抗検証、ファン動作点確認、フィルター漏れ検出を含む機械全体の性能検証方法、および選択に必要なパラメータのリストを提供します。また、ULPA フィルター、EC/DC ファンのマッチング、マシン全体の検証における Aili Industrial のサポート機能も紹介されており、これにより、機器側のプロジェクトが U16 グレード EFU の選択と受け入れ確認を完了することが容易になります。 -
H13 は濾過効率レベルであり、H13 フィルターを直接交換できるという意味ではありません。 EFU の選択には、サイズ、定格風量、抵抗、厚さ、シール方法、プロジェクト検出方法も一致する必要があります。 -
H14フィルタをEFUに使用する場合は、効率、目標風量での抵抗、ファン残圧、フィルタやボックスのシール、漏れ検知方法なども同時に確認する必要があります。 H13 を H14 にアップグレードするだけで、マシン全体の動作点が変わる可能性があります。
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本稿では「EFUファンの動作点異常の判定方法」を中心に、回転数、電流、静圧、フィルタ差圧の4つのパラメータの連動判定方法を説明します。故障の原因は、システム側の抵抗の変化とファン側の性能の変化の 2 つのカテゴリに分類されます。また、機器の運用・保守および購買担当者による検証のために、データ比較→システム側→ファン側の検査シーケンスも提供します。 Aili Industrialの70mm超薄型EFUの動作点パラメータは確認図にマークされており、制御スキームは動作データの読み取りとベンチマークの比較をサポートしています。 -
本稿ではEFU用ECモータのマッチング方法に焦点を当て、速度調整モード、効率範囲、制御インターフェースの3つの方向からマッチングのポイントを解説します。この記事では、ポテンショメータ、0-10V、PWM、通信速度調整の適用シナリオを比較し、ECモータの効率は実際の動作点、システム抵抗、動作速度に基づいて総合的に評価する必要があることを説明し、電源、速度調整信号、ステータスフィードバック、通信プロトコルなどのインターフェース確認内容を列挙しています。また、この記事では、EC モーター、ファン、フィルター間の協調マッチング関係について説明し、さまざまな機器シナリオでの選択に必要なスキームのリファレンスと情報を提供し、機器側プロジェクトにおける EFU の EC モーター スキームの確認を容易にするために、モーターの自社生産、ファンのマッチング、制御のマッチング、完全な機械の検証における Aili Industries の機能を紹介します。 -
この記事では、EFU AC モーターと DC モーターの選択比較に焦点を当てます。動作モード、速度調整機能、機器インターフェースの 3 つの側面から、AC モータは単純な構造を持ち、動作条件が固定された用途に適していることがわかります。 DC モーターと EC モーターは、速度調整、機器の連携、ステータス監視に便利で、オンデマンドの空気供給や機器 PLC との通信が必要なシナリオに適しています。また、この記事では、さまざまなモーター ソリューションのインターフェイス方法とエネルギー消費の違いを比較し、さまざまな機器シナリオでのモーター ソリューションの参考資料を提供し、選択に必要な情報をリストし、機器側プロジェクトの EFU モーター ソリューションの確認の完了を容易にするために、モーターの自社生産、ファンのマッチング、制御のマッチング、完全な機械の検証における Aili Industries の機能を紹介します。 -
EFU 遠心ファンは、速度調整マージン、効率、騒音、温度上昇を考慮して、目標システム抵抗以下で必要な風量を提供する必要があります。ファン径やモーター出力が同じでも、機械全体の性能が同じというわけではありません。 -
超薄型 EFU の DC モーターとファンは、目標動作点付近で一致する必要があります。 DC 電源システムは速度調整とエネルギー消費管理に有益ですが、高抵抗、連続動作、コンパクトなスペースでの温度上昇を検証する必要があります。
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本稿では、「EFUがどのようにPWM速度調整を実現するか」を中心に、信号定義の判断、配線要件、デューティサイクルと風量の校正、周波数の選択、異常ステータス、デバッグ方法、機械全体のマッチングなどのポイントを解説します。また、機器の設計、調達、保守担当者による直接検証のための図面の確認、プロトタイプのテスト、バッチ硬化の提案も提供します。 Aili Industries の EFU 製造システムは、モーター、ファン、フィルター、板金、および自社開発の制御をカバーします。 PWM 速度調整のインターフェイス、キャリブレーション、完全なマシン検証を同じシステムで完了できます。 EFU PWM 速度調整を実装する場合、Aili Industries がモデルごとに提供する制御およびインターフェイスのサポート手順を参照できます。 -
この記事では、EFU の 0 ～ 10V 速度調整の実装方法に焦点を当て、アナログ制御には信号配線、制御モードの切り替え、速度校正、異常ステータスの設定の 4 つのレベルが含まれることを説明します。この記事では、0-10V入力端子、コモン端子、および速度フィードバック信号の配線方法を紹介し、DIPスイッチまたはパラメータによるアナログ制御モードの選択方法を説明し、速度校正の手順と電圧と速度の対応関係の確認を示し、信号断線、オーバーレンジ、変動などの異常事態に対処するための提案を分析します。この記事では、0 ～ 10V の速度調整構成に必要な情報もリストしており、EFU アナログ速度調整の構成とデバッグを完了するための機器側のプロジェクトを容易にする EFU 制御システムにおける Aili Industries のサポート機能も紹介しています。 -
EFU のローカル速度調整は、ノブ、ボタン、またはタッチ コントローラーを通じて実行できます。デバッグ中は、回転速度のパーセンテージを記録するだけでなく、各ギアに対応する風量、風速、パワー、騒音も確認する必要があります。 -
複数の EFU の多速度制御では、まず各モードの清浄度目標を定義し、次にパーティション、回転速度、スイッチング条件、通信アドレス、および例外戦略を決定する必要があります。同じモード名であっても、すべてのエリアが同じ回転速度を使用するわけではありません。
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EFU の始動の失敗は、必ずしもモーターの損傷によって引き起こされるわけではなく、停電、始動および停止指示の欠如、異常な速度制御信号、通信エラー、機器のインターロックまたはコントローラーの保護によって引き起こされる可能性もあります。この記事では、EFU が起動しない場合の安全なトラブルシューティング方法を、電源、制御信号、通信、保護ステータス、ファンの機械構造、モーター駆動の順に説明し、さまざまな障害症状に対応する検査パスを示します。 -
EFU の振動増加は、塵埃の蓄積や羽根車の損傷、モーターやベアリングの異常、固定具の緩み、装置フレームの剛性不足、吸気口の障害、特定の速度での共振などが原因で発生する可能性があります。この記事では、さまざまな振動症状に基づいて、設置構造、速度テスト、フィルター、インペラ、モーターに至るまでのトラブルシューティング手順を示し、処理後に再テストが必要な風量、シール、動作項目について説明します。 -
EFU の風量が減少した場合は、まず測定方法と制御装置を確認し、次に空気入口、フィルターの差圧、ファンの回転数、装置の構造を確認する必要があります。 RPM を直接増加させると、詰まりやコンポーネントの異常が隠れる可能性があります。 -
EFU の騒音が増加する場合、まずその音が回転速度、風量、または構造的接触によって変化するかどうかを判断する必要があります。入口の閉塞や高抵抗は主に空力騒音として現れ、羽根車や軸受の異常は機械的問題、緩みや共振は設置構造に関係します。
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EFU の吸気スペースが不十分であると、ファンの吸気抵抗が増加し、実際の風量の減少、不均一な排気風速、騒音の増加、およびさまざまな機器のパフォーマンスの不一致につながります。この記事では、複数のユニットで共有されている吸気口シールド、ガード開口部、側面吸気口、吸気口スペースの点検方法を説明し、ヘッドルームの増加、開口部の拡大、シールドの移動、吸気方向の調整、動作点の再調整などの是正措置を紹介します。 -
EFU の設置場所は空き容量だけで決めることはできません。空気入口が遮られていないこと、空気出口が重要なプロセス領域をカバーしていること、構造が耐荷重性であること、配線にアクセスできること、メンテナンスのためにフィルターやファンにアクセスできることを確認してください。 -
EFU 設置耐荷重検査では、静的重量を確認するだけでなく、固定点の分布、フレームの剛性、シール面の変形、輸送時の衝撃、動作時の振動にも注意を払い、エアフローとシールに影響を与える構造上の問題を回避します。
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リソグラフィ装置用に EFU を構成する際の焦点は、単に空気量を増やすことではなく、ウェーハの搬送、位置決め、検出などの敏感な領域の周囲に、安定した、適切に指向された、検証可能な局所的なクリーン エアフローを確立することです。本稿では，汚染経路，給気境界，風速均一性，空間インタフェース，ろ過構成，機器連携の観点から設計手法を紹介する。 -
エッチング装置の環境、エア供給構成、材料、メンテナンス要件などを中心に EFU の構成方法を説明します。 -
半導体フロントエンド装置 EFU は、主要なプロセス領域を中心に構成する必要があります。選択の重要なポイントには、装置の内部スペース、給気範囲、風速の均一性、濾過効率、構造的シールド、メンテナンスの方向、制御の連携などが含まれます。 -
EFEM で使用される EFU は、ウェーハの搬送とローディングに関連する領域を保護する必要があります。選択には、同じ機器図でヘッドスペース、マニピュレーターシールド、目標風速、フィルター抵抗、戻り空気経路、制御インターフェースを評価する必要があります。
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本稿では「EFUと高効率給気ベントの選び方」を中心に、設置条件、運用コスト、濾過構成、制御方法、メンテナンスの違い、適用シナリオの判断方法などを解説します。また、同じ動作条件での比較や、機器の設計、調達、保守担当者による直接検証のためのインターフェース検証の重要なポイントも提供します。 Aili Industrial の製造システムは、EFU 完成機と濾過パッケージをカバーしています。モーター、ファン、フィルター、板金、制御装置をプロジェクトの条件に応じて同じシステムでチェックできます。 EFU と高効率空気供給出口を比較する場合は、Aili Industrial がモデルごとに提供する完全な機械および濾過パッケージの説明書を参照できます。 -
通常、DC EFU はより優れた速度調整機能と機器連携機能を備えており、複数速度の動作、継続的な速度調整、エネルギー消費管理を必要とする機器プロジェクトに適しています。 AC EFU は、固定された動作条件下、または確立された AC 電源および制御条件下の機器に使用できます。この記事では、風量、静圧、運転時間、制御方法、改造条件などを組み合わせて、2種類のEFUの実際の違いと選定方法を解説します。 -
超薄型 EFU と従来型 EFU の適用限界を、設置高さ、エアフロー性能、メンテナンス条件の観点から比較します。 -
スペースが限られており、生産設備との緊密な統合が必要な場合は、通常、サイズとインターフェイスに応じて EFU をカスタマイズする方が便利です。空気供給範囲が広く、設置境界が比較的標準的な場合、FFU ソリューションを比較できます。最終的な決定は、作業条件と図面に基づいて行う必要があります。 -
EFU には独自のファンとフィルターが付属しており、独立して、または機器と連動して空気を供給できます。高効率の空気供給口は通常、空気を供給するために集中型空調装置または空気ダクトに依存します。選択の鍵となるのは、設置場所にエアダクトと静圧があるかどうか、独立した速度調整と機器の統合が必要かどうかです。
| パラメータのカテゴリ | 提供する必要があるもの | パラメータのカテゴリ | 提供する必要があるもの |
| 応用機器 | デバイス名と使用エリア | 設置スペース | 利用可能な長さ、幅、高さ |
| 目標の清浄度 | 清浄度レベルとプロセス要件 | 空気パラメータ | 風量、風速、静圧 |
| フィルタリング要件 | H13、H14、U15、U16など | 設備図面 | 取付穴位置と干渉構造 |
| 電源供給条件 | 電圧、周波数、配線方法 | 制御要件 | 速度規制・通信・機器連携 |
| キャビネットの要件 | 材質、仕上げ、構造 | メンテナンス方法 | フィルターとファンのメンテナンス手順 |
| アイテム数 | プロトタイプとバッチの要件 | テスト要件 | 風量、騒音、均一性など |
EFUテクニカルサポート
業界チェーン全体に対するプロフェッショナルな EFU 機器側ファンフィルターユニットとして、Aili Industry はどのような技術サポートを提供できますか?
機器選定サポート
装置の内部空間、対象とする清浄度、給気面積、風量、風速、静圧、ろ過効率などからEFUの基本仕様を決定するのに役立ちます。
構造とインターフェイスのサポート
EFUの長さ、幅と高さ、取り付け穴の位置、吸排気方向、固定方法、メンテナンス方向、構造的干渉を機器図面に従って確認してください。
風量と気流のサポート
主要なプロセス領域と装置内部の構造シールドと組み合わせて、空気供給範囲、目標風速、風速均一性の要件を確認します。
フィルター構成のサポート
粒子制御の目的、装置スペース、利用可能な静圧、検査要件に基づいて、適切なフィルター効率、サイズ、シール方法を選択します。
電気および制御のサポート
入力電源、速度制御モード、通信インターフェース、デバイスアドレス、パーティションロジック、主装置制御システムとの連携要件を確認します。
プロトタイプおよびバッチプロジェクトのサポート
超薄型、小型または特殊性能の EFU については、確認図、技術パラメータ、試作テストを通じて構成を確定し、その後の量産に使用できます。
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