¿Cómo elegir U15 o U16 para EFEM? Verificación del volumen de aire y la uniformidad del área de la oblea.

La elección de EFEM de U15 o U16 debe confirmarse según los objetivos del proceso, los estándares de prueba, la distribución del volumen de aire, la resistencia y los requisitos de materiales. Un grado más alto no significa que el rendimiento de toda el área de la oblea mejorará necesariamente. La diferencia entre U15 y U16 radica en el nivel de eficiencia, pero el rendimiento de EFEM en el área de la oblea no depende sólo del nivel del filtro: la uniformidad del suministro de aire, si el volumen de aire es suficiente, la estabilidad del flujo de aire cuando el mecanismo está en acción y la desgasificación del material. Estos factores determinan conjuntamente si la oblea está protegida durante el transporte. Si el nivel se selecciona un nivel más alto, la resistencia aumentará y el volumen de aire puede disminuir. Si el sistema no tiene el margen correspondiente, puede afectar el rendimiento del área de la oblea. La industria Aili esLa unidad de filtrado del ventilador en el extremo del equipo EFU puede coincidir con el grado y la configuración del ventilador según los requisitos de volumen de aire y las condiciones de espacio del EFEM.El filtro ULPA de ultra alta eficiencia proporciona engranajes U15/U16.Los modelos EFU ultradelgados y de tamaño pequeño se pueden configurar de acuerdo con la estructura EFEM.

1. Primero aclare los requisitos del equipo: objetivos del área de oblea, estado operativo y condiciones del aire de retorno.

Enumere los objetivos de partículas, el estado del portador y de la puerta, las acciones mecánicas, el aire de retorno y el aire de escape en el área de la oblea, y confirme la posición de prueba y el modo de funcionamiento.

Antes de elegir U15 o U16, primero debes aclarar qué necesita lograr EFEM. Qué tamaño de partícula y nivel de concentración se buscan para el control de partículas en el área de la oblea, bajo qué condiciones se realiza la prueba (estática o dinámica), cuánta acción mecánica y apertura de la puerta del transportador afectan el flujo de aire y cuáles son las condiciones de retorno y escape: estas entradas determinan los requisitos de nivel y volumen de aire. La industria Aili esfiltros HEPA/ULPA, confirme el equipo según el tamaño de partícula y el rango de protección.Al seleccionar Al hacer coincidir la unidad de filtro del ventilador en el extremo del equipo EFU, confirme el requisito de volumen de aire de acuerdo con el estado de acción de EFEM.Los proyectos de filtros ULPA no estándar pueden confirmar las condiciones de instalación de acuerdo con la estructura del área de la oblea. La relación entre los niveles y los requisitos de filtrado se puede encontrar enComparación del nivel de limpieza ISO。

2. Compare la configuración completa: verifique el elemento filtrante, el ventilador y la interfaz de sellado bajo el mismo volumen de aire.

Verifique los datos del elemento filtrante, el margen del ventilador, el área efectiva y la interfaz de sellado en las mismas condiciones de volumen de aire, y ajuste el tamaño o la estructura si es necesario en lugar de cambiar directamente el grado.

Reemplazar U15 por U16 mejora la eficiencia pero normalmente también aumenta la resistencia. Si el margen del ventilador es insuficiente y el volumen de aire disminuye, la cobertura del flujo de aire en el área de la oblea puede empeorar. Al comparar, se debe verificar bajo el mismo volumen de aire objetivo: cuál es la resistencia de U16 a este volumen de aire, si se puede mantener el ventilador existente, si el área de filtración efectiva es suficiente y si la interfaz de sellado es compatible. La industria Aili esEn la selección del filtro de eficiencia ultraalta ULPA, los datos de resistencia de U15 y U16 se proporcionan de acuerdo con el volumen de aire objetivo.Unidad de filtrado de ventilador FFU yLa unidad de filtro del ventilador en el extremo del equipo EFU puede verificar el punto de trabajo de acuerdo con el cambio de resistencia.El sistema de control del grupo informático FFU registra el volumen de aire y los parámetros operativos, y el calibre es consistente en comparación. Se puede hacer referencia a la relación entre la resistencia del filtro y la coincidencia del ventilador.Preguntas frecuentes sobre HEPA y guía de selección。

3. Verificar el área de la oblea: volumen de aire, uniformidad y protección en acción real.

Confirme la integridad de la instalación, la uniformidad de la salida de aire y los límites de protección en condiciones de operación real, y agregue datos de AMC y de liberación de materiales según sea necesario.

Una vez determinado el nivel, la verificación debe cubrir tres aspectos: integridad de la instalación (si el sello entre el filtro y la caja es efectivo), uniformidad de la salida de aire (si la distribución de la velocidad del viento a lo largo de la trayectoria de la oblea es consistente) y protección bajo acción real (la concentración de partículas en la oblea cuando el robot se mueve y la puerta del transportador se abre y se cierra). Los requisitos de AMC y desgasificación de materiales se evalúan individualmente por proceso y no se pueden inferir de la calificación ULPA. La industria Aili esAl soportar la unidad de filtro del ventilador en el extremo del equipo EFU , la dirección de salida del aire y las condiciones de uniformidad se pueden confirmar de acuerdo con la estructura EFEM.El sistema de control del grupo informático FFU registra el volumen de aire operativo y el estado del equipo, que se pueden comparar con las acciones reales durante la verificación;Los filtros PTFE HEPA/ULPA se pueden evaluar para requisitos de baja desgasificación. Para conocer los métodos de verificación del área de oblea, consultePreguntas frecuentes sobre filtros de ultra alta eficiencia ULPA y guía de selección。

4. Cuando el volumen de aire de la muestra U16 es insuficiente después de la instalación, se debe volver a equipar la máquina completa.

Cuando el volumen de aire de la muestra U16 es insuficiente después de la instalación, se debe volver a equipar toda la máquina y no se debe conservar el resultado de que la eficiencia del elemento filtrante está calificada. Un volumen de aire insuficiente significa que la cobertura del flujo de aire y las capacidades de eliminación de partículas se reducen, y es posible que la protección real del área de la oblea no cumpla con las expectativas.

La industria Aili esEn el proyecto EFEM de la unidad de filtrado del ventilador del extremo del equipo EFU , cuando el volumen de aire es insuficiente después de la actualización, el plan de ajuste se evalúa desde tres aspectos: área de filtrado, configuración del ventilador y estructura de salida de aire.La unidad de filtrado del ventilador del equipo EFU de tamaño pequeño ofrece diferentes opciones de configuración cuando el espacio es limitado.La estructura de los filtros ULPA no estándar se puede ajustar según el espacio EFEM. Consulte el método para ajustar el volumen de aire después de la actualización.Preguntas frecuentes y soporte técnico de EFU。

5. Preguntas y respuestas relacionadas

¿El U15 no necesariamente es tan adecuado para EFEM como el U16?
La aplicabilidad depende de la coincidencia entre el proceso y el sistema, y ​​no puede ordenarse simplemente por números de grado.

¿Qué debo hacer si el volumen de aire cae después de que EFEM seleccione U16?
Se debe verificar el margen del ventilador y el área del filtro, y se deben realizar ajustes desde el área del filtro, la configuración del ventilador o la estructura de salida de aire, en lugar de simplemente retener el índice de eficiencia.

¿Se pueden resolver los requisitos AMC de EFEM con el grado ULPA?
no puedo. ULPA es responsable de la filtración de partículas, los requisitos de AMC y desgasificación de materiales deben evaluarse individualmente por proceso.

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La industria Aili esLa unidad de filtrado del ventilador en el extremo del equipo EFU coincide con el grado y la configuración del ventilador de acuerdo con los requisitos de volumen de aire y las condiciones de espacio de EFEM.El filtro de ultra alta eficiencia ULPA proporciona engranajes U15/U16 y proporciona datos de resistencia según el volumen de aire objetivo.Los modelos EFU ultradelgados y de tamaño pequeño están configurados de acuerdo con la estructura EFEM.La selección del filtro HEPA/ULPA se basa en el tamaño de partícula determinado y el rango de protección.La unidad de filtro de ventilador en el extremo del equipo EFU está equipada para confirmar la demanda de volumen de aire de acuerdo con el estado de acción de EFEM.El proyecto de filtro ULPA no estándar confirma las condiciones de instalación de acuerdo con la estructura del área de la oblea;Unidad de filtrado de ventilador FFU yLa unidad de filtrado del ventilador del extremo del equipo EFU está equipada con un punto de trabajo para verificar según el cambio de resistencia.El sistema de control del grupo informático FFU registra el volumen de aire y los parámetros operativos.La unidad de filtro del ventilador en el extremo del equipo EFU coincide con la estructura EFEM para confirmar la dirección de salida del aire y las condiciones de uniformidad.El sistema de control del grupo informático FFU registra el volumen de aire operativo y el estado del equipo y los compara con las acciones reales durante la verificación;Los filtros PTFE HEPA/ULPA se evalúan para requisitos de baja desgasificación. Cuando el volumen de aire sea insuficiente después de la actualización, se realizarán ajustes desde tres aspectos: área de filtro, configuración del ventilador y estructura de salida de aire.Las unidades de filtrado de ventilador de equipos EFU de tamaño pequeño están disponibles en diferentes opciones de configuración. Proporciona objetivos de proceso, planos de instalación, condiciones operativas y requisitos de aceptación, y puede comunicar aún más las especificaciones estándar ULPA, interfaces no estándar, muestras y coincidencia de lotes. Los parámetros específicos y el rango de prueba se basan en el modelo confirmado y los documentos técnicos.