Làm cách nào để cấu hình ULPA trong môi trường dung môi và khí ăn mòn?

Vấn đề này gặp phải trong các dự án bán dẫn, hóa chất và dược phẩm. Những người hỏi thường có một kỳ vọng ngầm: ULPA được xếp hạng cao và có thể 'chặn' các loại khí này.

Nhưng ULPA hoạt động trên các hạt. Nó dựa vào môi trường sợi hoặc màng để chặn các hạt và các phân tử khí có kích thước nhỏ hơn nhiều so với các hạt, do đó cơ chế lọc hoàn toàn khác. ULPA không thể ngăn chặn khí ăn mòn và hơi dung môi. Đây không phải là lỗi sản phẩm mà là vấn đề định vị chức năng. Để biết cách phân công lao động cụ thể, vui lòng tham khảo các hướng dẫn liên quan về kiểm soát ULPA và AMC.

Do đó, khi định cấu hình ULPA, vấn đề thực sự cần giải quyết không phải là 'làm thế nào để ULPA xử lý khí', mà là: trong loại môi trường này, liệu bản thân ULPA có thể được sử dụng hay không, cách sử dụng và biện pháp bảo vệ nào là cần thiết.

Đầu tiên làm rõ vị trí tiếp xúc và nguồn khí

Khí hoặc dung môi ăn mòn đến từ đâu và nơi nó tiếp xúc với bộ lọc sẽ xác định hướng đi của kế hoạch bảo vệ.

Xử lý hướng xả. Nếu bộ lọc được đặt trong đường dẫn khí thải của quy trình và các thành phần ăn mòn nằm trực tiếp trong luồng khí, cả vật liệu lọc và chất keo sẽ tiếp xúc. Trong trường hợp này, kế hoạch xử lý khí cần được đánh giá trước và khí không thể được gửi trực tiếp đến ULPA.

Sự cuốn theo không khí xung quanh. Nếu bộ lọc được sử dụng để cung cấp không khí sạch thì bản thân không khí đi vào là không khí sạch nhưng có dấu vết của khí ăn mòn hoặc hơi dung môi trong môi trường nhà xưởng. Các thành phần này có thể xâm nhập vào hệ thống thông qua không khí trong lành hoặc không khí quay trở lại. Nồng độ thường thấp hơn nhưng việc tiếp xúc lâu dài vẫn có thể ảnh hưởng đến vật liệu.

Rò rỉ hoặc điều kiện làm việc bất thường. Khi thiết bị bị rò rỉ, đường ống bị hỏng hoặc xảy ra bất thường trong quy trình, khí có nồng độ cao có thể tiếp xúc với bộ lọc trong một khoảng thời gian ngắn. Tác động của tình huống khẩn cấp này đối với vật liệu khác với tác động của việc tiếp xúc liên tục với nồng độ thấp và nó cần được coi là điều kiện làm việc bất thường trong kế hoạch.

Quy trình vệ sinh và bảo trì. Các thành phần dễ bay hơi có thể tích tụ gần bộ lọc trong quá trình khử trùng, lau dung môi hoặc vệ sinh thiết bị. Trường hợp sử dụng chất khử trùng có chứa clo, axit peracetic hoặc chất tẩy rửa gốc cồn trong các dự án dược phẩm, điều này cần phải được đánh giá riêng. Để biết khả năng tương thích cụ thể của chất tẩy rửa, vui lòng tham khảo các hướng dẫn liên quan để lựa chọn chất bịt kín theo điều kiện làm việc.

Chỉ bằng cách làm rõ vị trí và nguồn phơi nhiễm, chúng ta mới có thể xác định được mức độ bảo vệ mà bộ lọc yêu cầu. Các bộ lọc đặt xa nguồn khí có yêu cầu bảo vệ hoàn toàn khác so với những bộ lọc tiếp xúc trực tiếp với luồng không khí. liên quan đến Để lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA , nên sử dụng các điều kiện tiếp xúc với khí làm đầu vào để sàng lọc vật liệu.

Khả năng tương thích vật liệu cần được kiểm tra từng mục

Thành phần của ULPA bao gồm vật liệu lọc, keo dán cạnh, miếng đệm kín, khung bên ngoài và xử lý bề mặt. Các thành phần khác nhau có khả năng chịu đựng khác nhau đối với khí và dung môi ăn mòn.

phương tiện lọc. Có sự khác biệt về khả năng kháng hóa chất của sợi thủy tinh và PTFE. PTFE thường trơ ​​về mặt hóa học và ổn định trong hầu hết các axit, kiềm và dung môi hữu cơ. Khả năng kháng hóa chất của sợi thủy tinh phụ thuộc vào thành phần sợi và xử lý bề mặt, và có thể bị ảnh hưởng bởi một số môi trường kiềm hoặc axit hydrofluoric mạnh. Để so sánh cụ thể, vui lòng tham khảo các hướng dẫn liên quan về việc lựa chọn sợi thủy tinh và PTFE.

Keo dán cạnh. Chất keo là một khía cạnh dễ bị bỏ qua. Khả năng kháng hóa chất của các hệ thống khác nhau như epoxy, polyurethane và silicone rất khác nhau. Một số dung môi có thể làm cho chất keo trương lên hoặc mềm ra, và một số khí axit có thể đẩy nhanh quá trình lão hóa của chất keo. Khi lựa chọn, hãy xác nhận sự phù hợp của chất keo trong môi trường và nồng độ mục tiêu.

Vòng đệm. Khả năng kháng hóa chất của vật liệu bịt kín bằng cao su thay đổi đáng kể. Cao su flo có khả năng chống chịu tốt với hầu hết các dung môi, axit và kiềm. Silica gel có thể phồng lên trong một số dung môi và EPDM có thể bị ảnh hưởng trong môi trường chứa clo. Lựa chọn vật liệu cụ thể được xác nhận theo loại và nồng độ trung bình.

Đóng khung và hoàn thiện. Lớp hợp kim nhôm được anod hóa có thể bị hỏng trong môi trường chứa kiềm hoặc chứa flo mạnh. Thép không gỉ có khả năng chống lại hầu hết các chất liệu, nhưng môi trường chứa clo có thể gây ăn mòn rỗ. Cần kiểm tra khung bên ngoài của lớp phủ để xem lớp phủ có rơi ra hoặc giải phóng chất hữu cơ sau khi tiếp xúc với môi trường hay không. Để lựa chọn vật liệu khung cụ thể, vui lòng tham khảo các hướng dẫn liên quan về so sánh giữa hợp kim nhôm và thép không gỉ.

Chỉ định vật liệu không chứng minh được sự phù hợp. 'Thép không gỉ' không có nghĩa là nó có khả năng chống lại mọi sự ăn mòn và 'PTFE' không có nghĩa là tất cả các bộ phận đều trơ. Mỗi tài liệu phải được hỗ trợ bởi dữ liệu tương ứng và không thể đánh giá chỉ bằng tên của nó.

Xử lý khí cần phải được cấu hình riêng

Nếu dòng khí có chứa khí ăn mòn hoặc hơi dung môi cần được kiểm soát thì phần xử lý này không thể được giao cho ULPA.

Phần lọc hóa học. Đối với các loại khí có tính axit, kiềm hoặc chất hữu cơ cụ thể, có thể lựa chọn vật liệu lọc hóa học tương ứng. Loại phương tiện, thể tích nạp và chu trình thay thế được xác định theo loại khí, nồng độ và mục tiêu xử lý.

Thiết bị rửa trước hoặc hấp thụ. Trong các tình huống nồng độ cao hoặc tải trọng cao, có thể cần đến máy lọc, thiết bị hấp thụ hoặc các phương tiện xử lý trước khác để giảm nồng độ khí xuống mức có thể được xử lý bằng các phần lọc tiếp theo.

Tính toán điện trở cho các hệ thống kết hợp. Việc bổ sung thêm các phần xử lý khí sẽ làm tăng tổng điện trở của hệ thống. Bản thân sức đề kháng của ULPA đã cao rồi. Sau khi bổ sung lọc hóa chất hoặc các công đoạn xử lý khác, liệu quạt có còn đủ áp suất dư hay không cần phải được tính toán cùng nhau trong giai đoạn lập kế hoạch. Hỗ trợ bộ lọc quạt FFU hoặc Hệ thống bộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU và điểm làm việc của toàn bộ máy cũng phải được xác nhận lại.

Vị trí ULPA Trong các hệ thống kết hợp, ULPA thường được đặt ở cuối và chịu trách nhiệm kiểm soát hạt cuối cùng. Nếu phần xử lý khí nằm ở thượng nguồn của ULPA và dòng khí đã xử lý tiếp xúc với ULPA thì việc lựa chọn vật liệu sẽ được xác nhận dựa trên thành phần còn lại sau khi xử lý. Để biết các phương pháp xác minh hệ thống kết hợp cụ thể, vui lòng tham khảo hướng dẫn liên quan về cấu hình bộ lọc trước.

Bạn nên chú ý điều gì trong quá trình bảo trì và vận hành?

Trong môi trường khí hoặc dung môi ăn mòn, cần phải điều chỉnh nhịp độ bảo trì và trọng tâm kiểm tra.

Kiểm tra tình trạng của vật liệu thường xuyên. Khi thay lõi lọc, hãy kiểm tra xem chất keo có đổi màu, mềm hay nứt hay không, gioăng đệm kín có bị phồng hay cứng không và có dấu hiệu ăn mòn trên bề mặt khung bên ngoài hay không. Những kiểm tra này cung cấp một dấu hiệu tốt hơn về tình trạng vật liệu hơn là chỉ nhìn vào chênh lệch áp suất. Để biết các phương pháp kiểm tra đường nối keo cụ thể, vui lòng tham khảo các hướng dẫn liên quan về vết nứt đường nối keo.

Ghi lại các sự kiện tiếp xúc. Nếu xảy ra rò rỉ, phóng điện bất thường hoặc phơi nhiễm ở nồng độ cao, hãy ghi lại thời gian, địa điểm và nồng độ ước tính. Những sự kiện như vậy có thể đẩy nhanh quá trình lão hóa vật liệu và cần được chú ý trong quá trình kiểm tra tiếp theo. liên quan đến Hồ sơ vận hành của bộ lọc không khí HEPA/ULPA phải chứa những thông tin bất thường này.

Chu kỳ thay thế có thể cần phải được rút ngắn. Trong môi trường ăn mòn, độ ổn định lâu dài của vật liệu có thể thấp hơn trong điều kiện hoạt động bình thường. Chu trình thay thế không thể chỉ sử dụng giá trị trải nghiệm của môi trường thông thường mà phải được điều chỉnh theo kết quả kiểm tra thực tế.

Các phụ tùng thay thế phải được bảo quản riêng biệt. Bộ lọc đã được tháo dỡ phải được đặt cách xa khu vực lưu trữ hóa chất để tránh ô nhiễm bao bì hoặc vật liệu trong quá trình bảo quản.

Ví dụ về đánh giá dự án

Xưởng hóa chất cần cấu hình bộ lọc để cấp khí ở đầu thiết bị. Luồng không khí có chứa một lượng nhỏ khí axit.

Kế hoạch sơ bộ xem xét việc sử dụng trực tiếp ULPA, tin rằng các bộ lọc cao cấp có thể giải quyết cả vấn đề về hạt và khí. Sau khi điều tra đã xác nhận rằng khí axit cần được xử lý riêng - ULPA chỉ có thể kiểm soát các hạt và không có khả năng loại bỏ khí axit.

Cấu hình được điều chỉnh: Trước khi luồng khí đi vào ULPA, bộ phận lọc hóa học được thiết lập để xử lý các thành phần có tính axit. ULPA được đặt ở cuối và chịu trách nhiệm kiểm soát hạt. Đồng thời, căn cứ vào thành phần còn sót lại sau lọc hóa học để xác nhận vật liệu lọc ULPA, keo và gioăng đệm kín có phù hợp hay không. Tổng điện trở của hệ thống được tính toán lại và điểm làm việc của quạt được xác nhận theo đường cong điện trở tổng hợp.

Chìa khóa của trường hợp này là: ULPA xử lý các hạt và khí xử lý riêng biệt. Trong môi trường ăn mòn, liệu bản thân ULPA có thể được sử dụng hay không và nó được làm từ vật liệu gì lại là một câu hỏi khác cần được trả lời riêng. liên quan đến Bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA hoặc bộ lọc hiệu suất cao HEPA là như nhau. Logic lựa chọn và cấu hình của

Danh sách kiểm tra lựa chọn và chấp nhận

Giới thiệu về các gói cấu hình chống ăn mòn của Aili Industrial

Cốt lõi của cấu hình ULPA trong môi trường khí ăn mòn hoặc dung môi là hai điều: xử lý khí thuộc về xử lý khí và bản thân ULPA được lựa chọn tùy theo sự phù hợp của vật liệu. Chỉ bằng cách thực hiện hai việc riêng biệt thì kế hoạch mới có thể được thiết lập.

Aili Industry có khả năng sản xuất độc lập về bộ lọc, quạt, hệ thống điều khiển và gia công kim loại tấm và có thể cung cấp Bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA、Bộ lọc hiệu suất cao HEPA và thiết bị cung cấp không khí hỗ trợ. Đối với các dự án tiếp xúc với môi trường ăn mòn, thành phần khí, nồng độ, thời gian tiếp xúc và điều kiện lắp đặt có thể được kết hợp để hỗ trợ kiểm tra loại vật liệu lọc, sơ đồ keo, vật liệu bịt kín và phương pháp xử lý khung bên ngoài. Khi bộ lọc được kết hợp với các thiết bị như FFU và EFU, tính toán điện trở và điểm vận hành quạt của hệ thống kết hợp cũng có thể được đánh giá cùng nhau trong giai đoạn lập kế hoạch.

Việc cung cấp thành phần khí, nồng độ, điều kiện tiếp xúc và mục tiêu xử lý khi yêu cầu báo giá sẽ giúp xác nhận các lựa chọn vật liệu và cấu hình hệ thống phù hợp. Việc lựa chọn cụ thể phải tuân theo các tài liệu kỹ thuật và kết quả thử nghiệm được dự án xác nhận.