웨이퍼 박스 청소 후 잔류 공기 방출이 환경 여과에 의해 제어될 수 있는지 여부는 박스 내 공기와 실내 공기를 구별해야 합니다. 환경 화학 여과는 실제로 여과 구역을 통과하는 공기 흐름만 처리할 수 있으며, 용기 내부의 잔류물과 모든 지속적인 방출을 자동으로 제거할 수는 없습니다. 박스 안의 문제는 룸필터로는 해결이 되지 않습니다.

가스 방출이 상자 내부에서 발생합니까, 아니면 외부에서 발생합니까?

웨이퍼 카세트 세척 후 잔류 가스 방출은 주로 두 위치에서 발생합니다. 상자 내부의 가스 방출은 청소 후 상자 본체, 라이닝 또는 웨이퍼 표면에 남아 있는 미량의 화학 물질로 인해 발생합니다. 상자를 닫은 후 점차적으로 증발하여 상자 내부에 농도가 축적될 수 있습니다. 상자 외부의 가스 방출은 상자가 열릴 때, 웨이퍼가 들어올려질 때, 또는 상자가 열려 있을 때 발생하며 잔류 휘발성 물질이 주변 공기로 유입됩니다. 환경 여과는 후자의 필터 섹션을 통과하는 공기의 일부를 처리하며 닫힌 상자에 축적되는 데 거의 영향을 미치지 않습니다. 환경 여과가 도움이 될 수 있는지 확인하기 위해 가장 먼저 물어봐야 할 것은 가스 방출이 주로 어디에서 발생하는지, 상자가 어떤 상태에서 가장 오래 머무르는지입니다.

환경 필터링의 범위에는 경계가 있습니다.

실내 순환 또는 장비측 화학적 여과는 팬에 의해 필터 섹션으로 보내진 공기만 처리할 수 있습니다. 상자를 닫아 보관하면 상자 안의 공기가 외부 세계와 순환되지 않으며, 필터 섹션이 아무리 커도 상자 안의 휘발분을 처리할 수 없습니다. 상자 개봉 작업 중에 상자 안의 공기가 장비의 미세 환경으로 방출되고 이 공기 부분이 우연히 로컬 필터 섹션을 통과하는 경우 여과가 효과적일 수 있습니다. 따라서 웨이퍼 카세트 가스 배출에 대한 환경 여과의 효율성은 필터 재료 자체의 능력보다는 공기 경로가 가스 배출이 발생하는 위치를 덮고 있는지 여부에 따라 달라집니다. 국부 여과와 실내 여과의 분업에 대해서는 다음을 참조하십시오.케미컬필터를 방에서 단독으로 사용해도 되나요?。

청소 및 건조 링크를 먼저 확인해 볼 가치가 있습니다.

웨이퍼 박스에서 발생하는 잔류 가스 방출의 원인은 세척 및 건조 과정에 있으며, 여기서도 제어 위치가 우선시되어야 합니다. 세척제 선택, 헹굼 횟수, 건조 방법 및 건조 후 방치 시간 모두가 잔류물의 양에 영향을 미칩니다. 청소 후 잔여물이 너무 많은 경우 백엔드 환경 여과를 사용하여 '바닥을 덮으면' 두 배의 노력으로 절반의 결과를 얻을 수 있는 경우가 많습니다. 보다 합리적인 순서는 먼저 청소 과정과 건조 조건이 안정적인지 확인한 다음 보관 및 상자 개봉을 위한 국소 여과 요구 사항을 평가하는 것입니다. 세척제 데이터를 사용하여 오염을 식별하는 방법에 대한 아이디어는 다음을 참조하십시오.화학 필터 선택 시 세척제 안전 데이터 시트를 사용할 수 있습니까?。

부분 여과는 상자 개봉 및 보관을 포함해야 합니다.

청소 후에도 여전히 상당한 양의 공기 방출이 있는 경우 국소 여과 장치는 일반적으로 실내 공기를 처리하기보다는 포장 풀기 작업 및 보관 과정에 중점을 두어야 합니다. 보관 캐비닛의 순환, 상자 개봉 스테이션의 국지적 공기 공급 및 EFEM의 내부 순환은 모두 가스 방출이 발생하는 위치에 더 가까운 구성 지점입니다. 이러한 위치의 일반적인 특징은 작은 공간과 제한된 공기량입니다. 실제 구조에 따라 필터 엘리먼트 형태와 공기량의 일치 여부를 확인해야 합니다. 스토리지 링크의 필터링 구성에 대해서는 다음을 참조하세요.웨이퍼 보관 캐비닛용 화학 필터를 선택하는 방법은 무엇입니까?。

Aili 산업 지원 장비

웨이퍼 박스 가스 방출과 같은 문제의 경우, 일반적으로 가스 방출이 주로 상자가 닫힌 상태에서 발생하는지 아니면 상자 개봉 작업 중에 발생하는지 고객에게 확인한 후 로컬 필터를 보관 캐비닛, 상자 개봉 스테이션 또는 EFEM 순환 섹션에 배치해야 하는지 결정합니다. Aili Industry는 박스형, 평판형 및 V형 화학 여과 제품에 대한 선택 패키지를 제공할 수 있습니다. 박스형 MAU 패키지는 다음을 참조하세요.MAU 박스형 케미컬필터 , 제품시리즈를 보실 수 있습니다.화학 필터 제품군 . 장비측 애플리케이션은 화학 흡착층과 HEPA/ULPA 입자 여과를 통합하는 화학 여과 FFU의 형태를 채택할 수 있습니다. 화학적 일차 입자 구조는 보관 캐비닛 및 EFEM과 같은 미세 환경에 적합합니다. 소형 필터 요소는 캐비닛 공간과 순환 공기량에 따라 맞춤 설정할 수 있습니다. 제조 최종 단계에는 모터, 팬, 제어 시스템, 판금 및 전체 기계 조립이 포함됩니다. 필터 섹션과 캐비닛 순환 팬 사이의 인터페이스를 동일한 패키지에 정렬할 수 있습니다. 특정 가스 효과, 적용 가능한 환경 및 교체 주기는 해당 구성 데이터 및 현장 작업 조건을 기반으로 여전히 검증되어야 합니다. 실제 결과는 현장 누출 감지 및 가스 감지 결과에 따라 달라질 수 있습니다.

관련 질문과 답변

방에는 화학 필터가 설치되어 있습니다. 웨이퍼박스에서 배출되는 가스를 별도로 처리해야 하나요?
보관을 위해 상자를 닫았는지 여부에 따라 다릅니다. 상자 안의 공기가 실내로 순환되지 않으면 실내 필터가 상자에 쌓인 공기를 처리할 수 없으며 보관 캐비닛의 순환이나 상자 개봉 스테이션의 국소 여과가 필요할 수 있습니다.

세척 후 웨이퍼 카세트의 잔류 함량이 높습니다. 먼저 청소해야 할까요, 아니면 먼저 필터링해야 할까요?
대부분의 경우 세척제, 헹굼, 건조 상태를 먼저 확인하세요. 잔류물의 근원을 제어하면 후단 여과 압력이 훨씬 작아집니다.

Aili Industrial이 웨이퍼 카세트 보관 중 여과 상태를 확인하는 데 도움을 줄 수 있나요?
저장 캐비닛 구조, 순환 공기량 및 공기 배출 위치를 기준으로 국부 여과 모드를 확인할 수 있습니다. 구체적인 구성은 제품정보 및 현장여건에 따라 확인이 필요합니다.

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