ULPAの差圧が急激に大きくなる原因は何ですか?

通常、塵の蓄積により、圧力差は徐々に上昇します。圧力差の急激な上昇は性質が異なります。汚染、湿気、チャンネルの詰まり、機器の異常などが原因である場合もあれば、単に作業条件の変化である場合もあります。

判断の順序は非常に重要です。最初に風量が同時に変化したかどうかを確認し、次に上流の汚染イベントを確認し、最後に測定リンクを確認します。 これら 3 つの手順を完了すると、ほとんどの異常を特定できます。

まずは風量も同時に変化していないか確認してください

ここが、物事が最もうまくいかない傾向にあるところです。

ファン速度を上げる、バルブ開度を変更する、システム モードを切り替えると、圧力差の測定値が変化します。 フィルターエレメント自体に塵埃が溜まっていなくても、風量が増加すると差圧が著しく増加する場合があります。これはULPAの抵抗特性に関係しており、空気量が多いほどフィルターエレメントの両側の圧力差が大きくなります。

判断方法は、その時の風量やファンギア、速度の記録を呼び出すことです。圧力差が急上昇し、空気量も変化する場合は、フィルターエレメントの詰まりを直接疑うのではなく、動作条件の変化を調査することが優先されます。

使用条件の変化を詰まりと誤認しないでください。 マッチング中 FFUファンフィルターユニット システムにおいて、群制御システムがギアを自動調整すると、単一のFFUの差圧が一括して変化する場合があります。デバイス側アプリケーションなど EFU 装置のエンドファンフィルターユニット、装置の動作モードの切り替えも空気供給量に影響を与える可能性があり、それによって圧力差の測定値に影響を与える可能性があります。具体的なトラブルシューティング方法については、差圧測定ポイントの関連説明書を参照してください。

上流の汚染事件を調査する方法

空気量が大きく変化せず、圧力差が短期間に急上昇した場合、次のステップは、上流で突然の汚染が発生していないかどうかを確認することです。

プレフィルターが無効であるか破損しているか。 一次効率および中効率フィルタが破損していたり​​、長期間交換されていなかったりすると、多量の塵埃が端子 ULPA に直接影響を与えます。この場合、末端圧力差は短期間に大幅に増加します。具体的な構成のアイデアについては、事前フィルタリングに関連する手順を参照してください。

建設またはメンテナンスの粉塵。 装置の近くで研削、溶接、清掃作業がある場合、粉塵が吸気口からシステムに侵入する可能性があります。このタイプのイベントには通常、圧力差が急上昇する時間に対応する時間ノードがあります。

プロセスの変化または異常排出。 新たな発塵プロセスが生産ラインに追加された場合、または特定の装置で異常排出が発生した場合も、最終負荷の急激な増加を引き起こす可能性があります。

湿気や結露。 高湿度環境では、吸湿により濾材の抵抗値が変化する場合があります。システム停止後の再起動や、周囲の温度や湿度が大きく変動した場合、フィルタ材の表面に結露が発生し、差圧値が異常となる場合があります。この種の問題は、湿気の多い季節によく発生します。特定の症状については、高湿度環境に関連する指示を参照してください。

解決策は、エンドフィルターエレメントを交換するだけではありません。 上流の汚染源が解決されていない場合、新しいフィルターエレメントを取り付けたときに同じ問題が再発します。まず汚染源に対処してから、最終的なフィルターエレメントを交換する必要があります。

測定リンクもチェックする必要があります

フィールドデータが異常な場合は、測定プロセス自体に問題がある可能性もあります。

圧力チューブが詰まったり、曲がったりしていませんか? 圧力案内管にゴミが詰まっていたり、圧力がかかっていたり、水が溜まっていたりすると、差圧表示が実際の値とずれることがあります。配管がスムーズか、接続がしっかりしているかを確認してください。

差圧計のゼロ点がずれていませんか？ 長期間使用すると、機器のゼロ点が変化することがあります。標準器と比較するか、説明書に従ってゼロ点の状態を確認してください。

センサー信号は正常ですか？ 信号出力付きの差圧センサをご使用の場合は、信号の伝達および表示が正常であることを確認してください。群管理システムの特定のユニットが通信異常を起こした場合、パネルに表示される測定値が実際の状態を反映していない場合があります。

測定点の位置が変化するかどうか。 タップの位置または配管ルートが最近調整された場合、測定値も変わります。測定点が変わっていないことを確認するか、新しい測定点の位置をベースラインとして記録します。関与する 異なるグレードのHEPA/ULPA エアフィルター 製品の測定リンク検査方法は同じです。

プロジェクトの判断例

ある半導体装置の稼働中に、ULPAの差圧計の指示値が突然180Paから320Paに急上昇しました。

トラブルシューティングを行うときは、まず動作記録を呼び出します。同時に、機器のファンギアが 60% から 80% に調整されました。空気量が増加した後、圧力差が上昇しますが、これは正常であり、フィルタエレメントの目詰まりを意味するものではありません。

ギア位置を元の60％に戻すと差圧は調整前とほぼ同じ約185Paに戻ります。これはフィルタエレメントの状態に異常はなく、使用条件の変化が問題であることを示しています。

この場合の重要な点は、まず動作条件を確認し、次にフィルター要素を確認することです。 そのときにフィルターエレメントを直接変更したり、速度を上げたりすると、問題が解決しないだけでなく、実際の動作パラメーターの変更が隠されてしまう可能性があります。関与する ULPA超高性能フィルター または HEPA高効率フィルターの抵抗は 風量と合わせて判断する必要があります。

選択と承認のチェックリスト

アイリ工業の気圧差調査協力について

異常な圧力差のトラブルシューティングを行うには、動作データ、製品パラメータ、システム状態を合わせて確認する必要があります。

Aili Industrial の製造システムは、フィルター、モーター、ファン、制御システム、完全な機械アセンブリをカバーしており、さまざまなグレードの HEPA/ULPA 製品とサポートする空気供給装置を提供できます。フィルター付き FFUファンフィルターユニット、EFU装置側ファンフィルタユニットを 同一システム内でマッチングさせる場合、計画段階でフィルタエレメント抵抗とファン動作点を合わせて計算できるため、運用時の比較・判断が容易になります。

現場で圧力差が急に上昇した場合は、まず風量、回転数、圧力差の測定値を記録し、その後サプライヤーに連絡して製品曲線を確認することをお勧めします。具体的な取扱い方法については、現地検査の結果およびプロジェクトの保守要件に応じて決定されます。