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EFU はどのようにして装置端にクリーンな空気の供給を形成しますか?空気流路と作業工程の説明

閲覧数: 3501     著者:Aili Industry 公開時間:2026-09-22 出典: アイ・リー・インダストリアル

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EFU はどのようにして装置端にクリーンな空気の供給を形成しますか?空気流路と作業工程の説明

直接の答え:クリーン エア供給を形成する EFU の基本プロセスは、「エア入口 - ファン加圧 - ボックス流量均一化 - フィルタ濾過 - クリーン エアがプロセス エリアに到達する」です。装置の効果に実際に影響を与えるのは、フィルターの効率だけではなく、空気の入口が塞がれているかどうか、フィルターの前の圧力が均一かどうか、空気の出口面が装置の構造によって塞がれているかどうか、空気が適切な逆流を形成できるかどうかなどです。

ステップ1:空気入口側から空気が入ります

EFU は、機器の上部、側面、または指定された戻り空気領域から空気を吸引できます。吸気口が壁パネル、ケーブルトラフ、または機器のシールドに近い場合、ファン吸気口にたわみが生じ、風量の低下や騒音の変化につながる可能性があります。設計時にファンの吸気口形状に基づいて吸気スペースを確保する必要があります。

ステップ 2: ファンが圧力を高め、フィルターに空気を押し込みます。

ファンは、空気入口抵抗、ボックス内の抵抗、フィルタ抵抗、および機器の出口側の追加の抵抗を克服する必要があります。フィルターに塵が蓄積すると、システムの抵抗が上昇し、それに応じて動作点が変化します。したがって、速度調整マージンと圧力差の監視は、単一の定格空気量よりも意味があります。

ステップ 3: 静圧空間内の空気分布を改善する

ファンを出た後の空気の速度分布は、当然ながら均一ではありません。適切なキャビネットの高さ、ファンの位置、フィルター前のスペースにより、局所的な高速領域を減らすことができます。超薄型 EFU はスペースが限られているため、ファン、分流、フィルター構造を通じて共同で最適化する必要があります。ボックスの高さを単に圧縮することはできません。

ステップ 4: フィルターによる粒子制御の完了

空気がフィルター材を通過すると、粒子がフィルター材に捕捉されます。ろ過効率は、プロセスの目的、テスト粒子サイズ、プロジェクトの受け入れ方法と一致している必要があります。フィルターとボックスの間のシールも信頼性が高くなければなりません。そうしないと、バイパス空気漏れがフィルター素材をバイパスしてしまいます。

ステップ 5: 主要なプロセス領域をカバーするきれいな空気

空気出口表面の下にあるロボットアーム、ビーム、トランキングおよびプロセスモジュールが空気流の方向を変更します。機器側の検証では、単に無負荷状態でフィルター表面を測定するのではなく、実際の構造または同等の構造の下で要点の風速と均一性を測定する必要があります。

プロジェクト確認チェックリスト

項目を確認する

明確にする必要があること

設置条件

利用可能な長さ、幅、高さ、吸排気方向、インターフェイス、メンテナンススペース

空気パラメータ

目標風量、風速、静圧、均一性

フィルタリング要件

効率定格、抵抗、シールおよび試験方法

電気制御

電源、速度調整、通信、リンケージ、ロジック異常

受入条件

試験条件、測定箇所、測定器および判定基準

よくある質問

EFUの吹き出し口がクリーンということは、装置内のすべての場所がクリーンということですか?

等しくありません。機器の構造、汚染源、空気の戻り経路、人や施設の動きはすべて、局所的な空気の流れに影響を与える可能性があります。

同じ EFU が異なるデバイスにインストールされていると風量が異なるのはなぜですか?

機器が異なれば吸気スペース、排気抵抗、構造シールドも異なり、システム抵抗曲線も変化します。

デバイス側のエアフローが効果的であることを確認するにはどうすればよいですか?

主要なプロセスポイントでの風速、均一性、粒子検出、気流の可視化結果に基づいて総合的に判断する必要があります。

Aili Industryは設備側のEFUプロジェクトにどのように協力しますか?

Aili Industry は、EFU 完成機、ファンとモーター、制御システム、板金構造、エアフィルターに関する研究開発と生産を行っています。装置側のプロジェクトでは、装置図面、目標風量、静圧、濾過効率、設置インターフェース、制御ロジックに基づいて構成を実行できます。超薄型、小型サイズ、または特殊なインターフェイスの場合は、最初に図面と合意された作業条件を確認し、その後の量産で構成が一貫しているように試作品を通じて硬化パラメータをテストすることをお勧めします。

プロジェクトのコンサルティング中に、利用可能な内部の長さ、装置の幅と高さ、ターゲットの清浄度、給気面積、風量または風速の要件、濾過効率、電源および通信方法を提供することで、標準製品が適切かどうか、または非標準設計が必要かどうかを迅速に判断することができます。

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結論: EFU は装置周囲の空気または指定された戻り空気エリアを吸入し、ファンによって加圧され、ボックス内の流量を均一化し、フィルターで粒子を捕捉した後、重要なプロセスエリアに清浄な空気を送ります。エアフローの影響は、機器の内部構造と戻り空気の経路によっても異なります。

Aili Industrial は 、FFU、EFU、HEPA/ULPA エア フィルター、高効率給気ベント、ファン ボックス、その他のクリーン エア機器を開発、製造しています。モーター、ファン、制御システム、フィルター、および完全な機械サポート機能を利用して、クリーン ルームおよび生産設備プロジェクトの選択とカスタマイズのサポートを提供します。

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