ケミカルフィルターを改造することで室内の圧力差に影響を与えないようにする方法は？

ケミカルフィルターを変更するときは、どのような媒体を選択するか、どこに配置するか、どのくらいの抵抗があるかなど、フィルターセクション自体に注目しがちです。しかし、変換が完了した後、実際に生産に影響を与えるのは、多くの場合、室内の圧力差の変化です。

差圧は、クリーン ルーム操作の中核パラメータの 1 つです。これにより、空気の流れの方向、外部汚染が侵入するかどうか、隣接するエリア間に相互汚染があるかどうかが決まります。化学濾過の変更によりシステムの抵抗が増加し、空気供給量が変化する可能性があります。供給空気量が変化すると、戻り空気と排気のバランスも変化し、圧力差が本来の設定からずれる可能性があります。

圧力差に影響を与えないためには、「変形後にファンを戻す」のではなく、変形前に給気、還気、排気の関係を明確に確認することがポイントです。

改造前のエアフロー状態を記録

変換前にベースラインを確立します。そうしないと、変換後に比較の基準がなくなります。

重要な領域での圧力差。 クリーンルームと隣接するエリア、廊下、および非クリーンエリアとの間の圧力差を測定し、記録します。測定点の位置、ドアの状態、動作モードに注意する必要があります。静的な単一点の圧力差は、すべての動的条件を反映することはできません。

給排気量。 給気量、還気量、排気量を記録します。この 3 つの関係によって部屋の圧力差が決まります。供給空気量を記録するだけでは十分ではありません。戻り空気と排気も同様に重要です。具体的な風量測定については、以下を参照してください。 ケミカルフィルタの風量をシステム全体の風量で選ぶか単体の風量で選ぶか検討 。

動作条件。 変更前のファンギア位置、ダンパー開度、生産状況、ドアゾーンの状況を記録します。これらの条件は、変更後の再テスト中に可能な限り一貫している必要があります。

ベースライン データは、代表的な動作条件をカバーする必要があります。 条件が許せば、静的、動的、さまざまなシフト、およびドアの開閉状態を個別に記録します。具体的な検査記録方法については、こちらをご参照ください。 ケミカルフィルターの日常点検でどのような項目を確認すべきかを検討 。

新たな抵抗力の影響を評価する

化学濾過セクションの抵抗が増加すると、システムの動作点が変化します。

抵抗が積み重なっていきます。 元のシステムの合計抵抗に、化学濾過セクションの初期抵抗と最終抵抗を加算します。システムの総抵抗には、プレフィルター、表面冷却器、ヒーター、エアダクト、バルブ、ターミナル HEPA が含まれます。具体的な会計方法については、こちらをご参照ください。 ケミカルフィルターの追加抵抗によりファンの消費電力がどの程度増加するかについての議論 。

ファンの動作点が変化します。 システム抵抗が増加すると、ファンの動作点が移動します。本来のファン能力が不足している場合、エア供給量が低下する場合があります。供給空気量が減少し、室内圧力差が変化する場合があります。

ブランチが異なれば影響も異なります。 一部の分岐にのみケミカルフィルター部を追加した場合、各分岐の抵抗変化が異なり、風量分布が相殺される場合があります。総風量だけでなく、支店ごとに確認する必要があります。具体的なバランス調整方法については、以下を参照してください。 化学濾過を変更するには、空気量バランスを再実行する必要があるかどうか を検討してください。

特定のファン速度の回復だけに頼ることはできません。 ケミカルフィルター部の抵抗増加により供給空気量が減少した場合、回転数を上げると総空気量は回復しますが、分岐分配と戻り空気排出量の関係は必ずしも回復するとは限りません。圧力差は、供給空気、戻り空気、排気の共同作用の結果です。 1 つのリンクだけを調整すると、1 つのリンクを見失ってしまう可能性があります。

戻り空気と排気を同時にチェック

圧力バランスは空気供給の問題ではありません。

戻り空気量が変化します。 改修により給気量が変化した場合、還気量も影響を受けます。戻り空気バルブの開度、戻り空気パイプラインの抵抗、戻り空気ファンの状態をすべて確認する必要があります。

排気風量の変化。 部屋に独立した排気がある場合、排気量の変化は圧力差に直接影響します。排気ファンの状態、排気バルブの開度、排気管路の抵抗なども合わせて確認してください。

ドア部分と通過窓。 ドアの開閉頻度、トランスファーウィンドウの使用状況、バッファ間の圧力差はすべて、部屋の実際の圧力差性能に影響を与えます。変換後の再テストでは、これらの状態をカバーする必要があります。

隣接地域の関係。 隣接するエリアも改修されている場合や、給排気システムが共用されている場合は、圧力差の関係がより複雑になる可能性があります。エリアごとに確認が必要です。

改修中の一時的な状況も考慮する必要があります。 工事期間中は、一部の風の止みや一時的な遮断、運転調整を行う場合がございます。これらの一時的な措置が圧力差に及ぼす影響を建設計画に記載する必要があります。

終わったらリバランス

修正が完了したら、ベースライン条件に従って再測定および調整します。

通常の動作およびドアゾーンの条件で確認してください。 圧力差の測定は実際の動作状態をカバーする必要があり、静的および密閉状態でのみ測定することはできません。具体的な方法については、こちらをご参照ください 既存のクリーンルームにケミカルフィルターを追加する前に、どのような条件を最初に評価する必要があるかについての議論 。

一つ一つ調整していきます。 供給空気、戻り空気、排気を個別に確認してください。まず総風量を戻し、次に分岐配分を調整し、最後に室内圧力差を確認します。一度に複数のパラメータを調整しないでください。調整すると、どの調整が機能しているかを判断するのが難しくなります。

対象ガスの効果を検証します。 圧力差が回復しても、ガス処理が基準に達していることを意味するものではありません。出口濃度は別途テストする必要があります。具体的なサンプリング方法については、以下を参照してください。 ケミカルフィルターの性能検証のためのサンプリングポイントについての議論 。

変更後のベースラインを記録します。 変更後の空気量、圧力差、ファンギアおよび出口濃度は、その後のメンテナンスの基礎として記録およびアーカイブする必要があります。

プロジェクトの判断例

某クリーンルームでは空調ボックス内に化学濾過部を増設しました。変身後はファンの回転数が1ギア上がっただけで、総風量の回復は完了したと思われた。

運用後、一部の領域の圧力差が低くなり、隣接する領域間で空気の流れの方向が変化することがわかりました。調査の結果、主空気供給分岐部にケミカルフィルター部が追加され、分岐部の抵抗が増加して風量分布が変化したことが判明した。還気と排気は同時に調整されません。

治療方法：分岐に応じて空気量を再測定し、空気バルブの開度を調整します。還気量と排気量を確認し、元の設定に戻します。部屋の圧力差を再測定してください。調整後は各エリアの気圧差が改修前の水準に戻りました。

別のプロジェクトでは、変換前に給気量と排気量および圧力差の完全なベースラインが記録されました。変換後、ベースラインを 1 つずつ再テストしたところ、排気風量のみがわずかに変化したことがわかりました。排気バルブを調整したところ、差圧は正常範囲に戻りました。

これら 2 つのケースは、化学濾過の変化が圧力差に影響を与えることを示していますが、圧力差は通常、単一のリンクによって引き起こされるものではありません。給気、還気、排気を同時にチェックする必要があります。関与する ケミカルフィルター製品シリーズを選択する際には 、システムのベースライン、改造計画、対象ガスをサプライヤーに提供して検証していただくことをお勧めします。

選定と受入検査のポイント

アイリ産業の変革と圧力差マッチングについて

Aili Industrial は、フィルター、モーター、ファン、制御システム、板金加工における独立した製造能力を備えており、ケミカルフィルター製品シリーズとサポートする空気供給装置を提供できます。差圧制御を伴う改修工事では、システムのベースライン、給排気関係、対象ガス、設置スペースなどを組み合わせて、薬液ろ過部の構成や風量バランス計画の確認に役立てることができます。

関連商品：ケミカルフィルター製品シリーズ、MAUボックスケミカルフィルター、FFUにはケミカルフィルターが付属しています。問い合わせの際にシステムのベースライン、変更要件、対象ガスを提供すると、適切なソリューションを確認するのに役立ちます。具体的な選択は、プロジェクトによって確認された技術文書とテスト結果に基づいて行われます。