에칭 장비 주변의 공기 공급에 대한 AMC 조사는 관련 자재, 장비 작동, 인접 구역 및 외부의 신선한 공기 공급원을 기반으로 해야 합니다. 에칭 공정명만으로는 모든 가스를 유추할 수 없으며, 공정 배기가스 제어를 청정공기 공급으로 대체할 수도 없습니다. 보충 공기는 배출 처리 수단이 아닌 보호 수단입니다.

먼저 보충 공기와 공정 배기를 구별합니다.

에칭 장비 주변의 보충 공기 기능은 장비의 미세 환경이나 작업 영역의 공기 상태를 유지하는 것이며, 공정 배기에는 특수 배기 및 처리 시스템이 필요합니다. 이 둘은 종종 함께 논의됩니다. 보충 공기 시스템의 필터 섹션은 장비 주변으로 유입되는 주변 공기를 처리합니다. 공정에서 생성된 배기 가스는 배기관을 통해 배출되어야 하며 보충 공기 여과에 의존하여 '희석'되어서는 안 됩니다. 배기 공기가 충분하지 않거나 밀봉 조치가 제대로 이루어지지 않은 경우 공정 가스가 보충 공기 영역으로 들어갈 수 있습니다. 이 경우 공기보조여과를 강화하기보다는 배기가스 문제를 먼저 해결해야 한다. 이 두 시스템을 구별하는 것은 AMC의 출처를 조사하기 위한 전제 조건입니다.

보충 공기가 가져올 수 있는 외부 AMC

보충 공기가 신선한 공기이거나 인접 지역에서 오는 경우 외부 AMC가 장비 주변 지역으로 유입될 수 있습니다. 발생원에는 실외 공기의 산성 가스 및 유기 배출물, 인접한 습식 공정 또는 청소 구역에서 발생하는 휘발성 물질, 환기 시스템에서 전달되는 기타 공정 배출물이 포함됩니다. 보충 공기 필터 섹션의 위치와 매체 구성은 이러한 외부 소스에 맞게 설계되어야 합니다. 보충 공기 흡입구가 배기구나 오염원에 가까우면 도입되는 부하가 더 높아질 수 있습니다. 조사 중에 공기 흡입구 위치와 주변 환경을 기록하여 전체 부하에서 외부 입력의 비율을 결정해야 합니다. 외부 오염과 내부 오염을 구별하는 방법은 다음을 참조하십시오.작업장 오염이 외부에서 오는지 내부에서 오는지 구별하는 방법은 무엇입니까?。

장비 운영 및 자재 출시는 또 다른 소스입니다.

에칭 장비 자체의 유지보수 작업, 챔버 개방, 소모품 교체, 주변 자재 보관 등으로 인해 단기적인 방출이 발생할 수 있습니다. 이러한 방출은 외부 보충 공기 유입과 달리 장비 근처에서 발생하며 특정 작동 기간 동안 집중될 수 있습니다. 보충 공기 필터 섹션이 장비의 상류에 있고 배출이 하류에서 발생하는 경우 필터 섹션은 오염의 이 부분을 덮지 않습니다. 조사 중에는 장비 작동 기록과 악취 또는 농도 발생 기간을 종합하여 내부 유출의 기여도를 결정해야 합니다. 기기 측 미세 환경의 필터링 구성에 대해서는 다음을 참조하세요.EFEM 공기 유입 화학 여과는 장비 청결 요구 사항에 어떻게 부합합니까?。

인접 지역 및 지역 간 전파는 무시할 수 없습니다.

에칭 장비 주변은 다른 공정과 인접한 경우가 많습니다. 산성 미스트, 알칼리성 가스 또는 인접한 구역의 유기물 방출이 도어 영역, 틈새 또는 공유된 환기를 통해 유입될 수 있습니다. 이러한 소스의 전파 경로는 보충 공기 시스템과 다르며 필터링 구성은 실제 공기 경로를 포괄해야 합니다. 지역 간 전파가 확실한 경우 보조 공기 필터 섹션을 추가하는 것보다 칸막이, 압력 차이 또는 국지적 배기를 개선하는 것이 더 직접적일 수 있습니다. 조사 과정에서 장비 주변과 주변 지역의 농도와 시간 변화를 비교하여 우세한 경로를 확인해야 합니다.

Aili 산업 지원 장비

에칭 장비 주변의 보충 공기 여과 패키지의 경우 일반적으로 고객이 먼저 외부 입력, 장비 방출 및 인접 영역 전송을 별도로 조사한 후 필터 섹션을 보충 공기 흡입구, 순환 섹션 또는 장비 끝의 로컬 위치에 배치할지 여부를 결정하는 것이 좋습니다. Aili Industry는 박스형, 평판형 및 V형 화학 여과 제품에 대한 선택 패키지를 제공할 수 있습니다. 박스형 MAU 패키지는 다음을 참조하세요.MAU 박스형 케미컬필터 , 제품시리즈를 보실 수 있습니다.화학 필터 제품군 . 장치측 애플리케이션은 다음을 사용할 수 있습니다.화학 필터 FFU 형태, 통합 화학 흡착층HEPA/ULPA 필터 입자 여과, 국소 공기 공급 구간은 장비 공간 및 대상 가스에 따라 구성 가능합니다. 제조 단계에는 모터 및 팬, 제어 시스템, 판금 및 전체 기계 조립의 독립적인 R&D 및 생산이 포함됩니다. 동일한 패키지 내에서 공기 공급 경로, 필터부 위치, 팬 동작점 확인이 가능하며, 장비 레이아웃에 따라 비표준 구조도 조정이 가능합니다. 구체적인 가스 효과, 적용 가능한 환경 및 교체 주기는 해당 구성 데이터 및 현장 작업 조건을 기반으로 여전히 검증되어야 합니다. 실제 결과는 현장 누출 감지 및 가스 감지 결과에 따라 달라질 수 있습니다.

관련 질문과 답변

에칭 장비에는 공기 공급을 위한 케미컬 필터가 장착되어 있습니다. 공정 배기가스도 여전히 처리해야 합니까?
필요. 보충 공기 여과는 장비 주변으로 유입되는 주변 공기를 처리합니다. 공정 배기가스는 배기 및 처리 시스템을 통해 별도로 처리되어야 합니다. 둘은 서로를 대체할 수 없다.

보충 공기 흡입구의 위치가 AMC에 영향을 줍니까?
힘 있는. 공기 흡입구가 배기구 또는 오염원에 가까우면 부하가 더 높아질 수 있습니다. 조사 중에는 공기 흡입구 위치와 주변 환경을 기록해야 합니다.

Aili Industrial이 에칭 영역에 대한 추가 공기 여과 선택에 도움을 줄 수 있습니까?
공기 공급 경로, 대상 가스, 장비 공간을 기준으로 필터부 위치 및 제품 형태를 확인할 수 있습니다. 구체적인 계획은 제품 데이터와 현장 작업 조건을 바탕으로 확정되어야 합니다.

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