超薄型 FFU は従来の FFU とどう違うのですか?スペース削減後の性能確認

超薄型構造は単に高さを減らすだけではありません

クリーンルームの改修や設備サポートプロジェクトでは、吊り天井メザニンのスペースが限られている場合があります。従来の FFU は十分な高さに配置できないため、超薄型 FFU を検討する必要があります。超薄型FFUは従来のFFUに比べて外観高さが低くなります。単に筐体が薄くなったように見えますが、実際に比較してみると高さだけを見ることはできません。

超薄型 FFU の全高を下げるために、通常、エアダクト、ファン、フィルター、ボックス構造の調整が行われます。これらの調整は、風量、静圧、騒音、メンテナンス方法に影響を与える可能性があります。したがって、超薄型FFUと従来のFFUを比較するには、機械の全高、吸気口クリアランス、目標風量と静圧、フィルタ構成、メンテナンススペースなどを同時に確認する必要があります。

Aili Industry は、FFU 完全な機械構造に関して完全な生産能力を備えており、従来の FFU 構成と超薄型 FFU 構成の両方を提供できます。 FFUマシンの基本構造については、こちらをご覧ください。Aili Industrial FFUファンフィルターユニット。

機械全体の高さと吸気口クリアランスの確認方法

超薄型 FFU の最も直接的な違いは、マシン全体の高さです。超薄型 FFU ボックスはより薄く、天井の中二階で占める高さが低くなります。ただし、機械全体の高さを低くした場合は、空気入口クリアランスの確認も必要です。

従来の FFU の吸気口には、通常、空気が入るのに十分なスペースがあります。超薄型 FFU のボックスはより薄いため、空気吸入口と上部または構造体との間の距離はより小さくなる可能性があります。吸気クリアランスが不足すると風量に影響を与える場合があります。したがって、超薄型 FFU を選択する場合は、設置後に吸気口の上にどれだけのスペースが残るかを確認する必要があります。

天井メザニンの高さが制限されているプロジェクトの場合は、以下を参照してください。超薄型FFUと70mm の超薄型 EFU は、さまざまな高さ構成を認識します。

風路とファンのマッチングはどう変わるのか

超薄型FFUの空気経路は従来のFFUより短く、ボックス内の空気流路が異なります。空気経路の変化は、ファンの動作点に影響を与える可能性があります。ファンとフィルターのマッチングを再確認しないと、風量不足や静圧不足の可能性があります。

超薄型 FFU は通常、コンパクトな構造に適したファンを使用します。ファンのサイズ、速度、静圧容量が従来のFFUと異なる場合があります。選定の際には、超薄型FFUの静圧が目標風量下でシステム抵抗要件を満たしているかを確認する必要があります。

風量や静圧に関する明確な要件があるプロジェクトの場合は、見た目の高さだけを見るのではなく、同じ作業条件下で超薄型 FFU と従来の FFU の性能データを比較することをお勧めします。

フィルター設定の確認方法

超薄型 FFU は通常、キャビネットの高さに合わせてより薄いフィルターを使用します。フィルターの厚さを変更すると、有効濾材面積と抵抗に影響します。フィルターが薄いほど、同じ効率レベルでも抵抗が大きくなり、ダスト保持能力が低下する可能性があります。

より高い効率レベルやより長い交換サイクルが必要なプロジェクトの場合、超薄型 FFU に適合するフィルターが要件を満たしているかどうかを確認する必要があります。フィルターの厚みやシール方法、取り外し方法もボックスの構造に合わせて設定する必要があります。

ULPA フィルターが必要なプロジェクトについては、以下を参照してください。FFUはULPA超高性能フィルターを搭載しており、フィルターと機械全体のインターフェース要件を理解しています。

デバイス側アプリケーションの超薄型 FFU

超薄型 FFU は、天井メザニンが限られたクリーン ルームで使用されるだけでなく、機器側のサポート シナリオでも一般的に使用されます。半導体洗浄装置、エッチング装置、接着剤塗布・現像装置、検査装置などは、内部スペースがコンパクトであり、エア供給装置の高さ、設置方法、クリーン度などの要求が明確です。このようなアプリケーションの超薄型 FFU は通常、機器構造、可動部品、メンテナンス チャネルと連携する必要があり、マシン全体の設計とインターフェイスのカスタマイズに対してより高い要件が必要になります。

機器側のアプリケーションでは、超薄型 FFU は、限られた高さ内で空気量、静圧、フィルター構成を考慮する必要があります。ボックスの高さを低くした後は、ファンの選択、エアダクトの設計、フィルタのマッチングをすべて再計算する必要があります。同時に、装置側の FFU は、動作中の装置の振動、熱、メンテナンスのリズムに適応する必要があることが多く、また、機械全体の安定性とメンテナンス性に対する要件もあります。

Aili Industrial は、超薄型 FFU および機器側ファン フィルター ユニットの完全な生産チェーンと研究開発能力を備えています。ボックス構造、ファンマッチング、フィルターマッチング、制御システムに至るまで、すべてが独自のシステム内で完結します。同社は、70mmの超薄型EFU機器側ファンフィルターユニットを先に発売し、超薄型構造設計と完全な機械マッチングにおいて実践的なプロジェクト経験を蓄積してきました。半導体洗浄機などの装置側のアプリケーションでは、装置の内部スペースと給気要件に応じて超薄型 FFU またはカスタマイズされた EFU ソリューションを提供できます。具体的な構造については、こちらをご参照ください。70mm超薄型EFUとカスタマイズされたEFU装置側ファンフィルターユニット。

メンテナンススペースの確認方法

超薄型 FFU の高さの低減により、内部のメンテナンス スペースがよりコンパクトになる可能性があります。フィルタを交換する際には、作業スペースが十分であるか、加圧機構が操作しやすいかを確認する必要があります。着脱式超薄型FFUの場合、クリーンルーム側からフィルタを交換する場合は、動作クリアランスやツール使用スペースの確認が必要です。

メンテナンススペースが不足する場合は、設置場所の調整や別の構造の選択が必要となる場合があります。着脱式FFUのメンテナンススペース確認をご参照ください。取り外し可能なFFU。

騒音と振動の比較

超薄型FFUは筐体が薄いため、従来のFFUとは騒音・振動の抑制が異なる場合があります。キャビネットは薄いため、遮音性と制振性が異なる場合があります。プロジェクトにノイズ要件がある場合、目標速度での超薄型 FFU のノイズ データを確認する必要があります。

デバイス側のアプリケーションでは、振動の伝達にさらに注意が必要です。超薄型FFUを洗浄機などの精密機器に取り付けると、ファンの振動により機器の動作に影響を与える可能性があります。選定段階では設置方法や振動低減対策なども確認する必要があります。

超薄型 FFU を選択するのはどのような場合ですか?

超薄型 FFU は、天井の中二階の高さが制限されている場合、機器上部のスペースが不十分である場合、改修プロジェクトで中二階の高さを高くできない場合、または機器にコンパクトな空気供給が必要な場合に適しています。半導体洗浄機、試験装置、接着剤コーティングおよび開発装置などの装置側のアプリケーションは、超薄型 FFU の一般的な使用シナリオです。

スペースに余裕があれば、従来型FFUの方が風量、静圧、メンテナンススペースの面で余裕があるかもしれません。超薄型 FFU を選択する場合は、目標風量、静圧、フィルター構成、メンテナンス方法がプロジェクトの要件を満たしているかどうかを確認する必要があります。スペースとパフォーマンスの両方を考慮する必要がある場合は、一部の領域では超薄型 FFU を使用し、他の領域では従来の FFU を使用できます。

プロジェクトコミュニケーション時に事前に確認すべき事項

超薄型FFUと従来型FFUとの比較段階では、設置スペースの高さ、吸気口のクリアランス、設置スペースの高さ、吸気口のクリアランスなどをメーカーに確認することを推奨します。目標風量と静圧。フィルターの構成と厚さ。メンテナンス方法とスペース。騒音と振動の要件。インストール方法とインターフェース。機器側のカスタマイズが必要かどうか。 2 つの構造の混合が必要かどうか。パフォーマンステストデータ。

超薄型 FFU と通常の FFU を比較する場合は、次のサイトを参照してください。Aili Industrial FFU ファン フィルター ユニットの完全なマシン構成については、こちらも参照してください。超薄型FFU、70mm超薄型EFUとEFU 機器側ファン フィルター ユニットをカスタマイズして、さまざまな高さと機器側ソリューションについて学ぶか、選択サポートについて Aili Industrial にお問い合わせください。

結論は

超薄型FFUと従来のFFUを比較するには、機械の全高、吸気口クリアランス、風量と静圧、フィルタ構成、メンテナンススペースを同時に確認する必要があります。ボックスの高さを低くした場合、エアダクト、ファン、フィルターのマッチングが変わる場合があります。見た目だけ見てはいけません。超薄型 FFU では、デバイス側アプリケーションでの振動、設置インターフェイス、メンテナンス サイクルも考慮する必要があります。

Aili Industrial は、超薄型 FFU および機器側ファン フィルター ユニットの完全な生産チェーンと研究開発能力を備えています。同社は70mmの超薄型EFUをいち早く発売し、装置側の支援プロジェクトで実践経験を積んできた。超薄型 FFU の選択について詳しく知りたい場合は、次のサイトを参照してください。Aili Industrial FFU ファン フィルター ユニット、プロジェクト サポートについては、Aili Industrial にお問い合わせいただくことも歓迎します。