HEPA と ULPA を使用する場合、FFU はプロジェクト要件に基づいてどのように選択すればよいですか?

HEPAとULPAの基本的な違い

FFU で使用されるフィルターは、主に HEPA と ULPA の 2 つのカテゴリに分類されます。 HEPAフィルターはEN1822規格によりH13、H14などの効率レベルに分かれており、0.3ミクロンの粒子に対して高い濾過効率を持っています。 ULPAフィルターはU15、U16、U17などに分かれており、より小さな粒子に対する濾過効率が高くなります。

どちらもクリーン ルームでの粒子制御に使用されますが、効率レベルと適用可能なシナリオが異なります。どのフィルターを選択するかは、プロジェクトの清浄度レベル、プロセスの感度、FFU の完全な機械のマッチングに基づいて選択する必要があります。

Aili Industry は、FFU 完成機と高効率フィルターの完全な生産能力を備えており、HEPA および ULPA フィルター構成ソリューションを提供できます。 FFU マシンの基本構造については、以下を参照してください。Aili Industrial FFUファンフィルターユニット。

清浄度レベルはフィルターの選択にどのように対応しますか?

清浄度レベルが異なれば、フィルター効率に対する要件も異なります。 ISO クラス 5 からクラス 6 では、通常、H13 または H14 HEPA フィルターを使用できます。 ISO クラス 3 からクラス 4 には、H14 または U15 が必要な場合があります。 ISO クラス 1 からクラス 2 には通常、U15 またはそれ以上の効率の ULPA フィルターが必要です。

フィルターグレードと清浄度グレードの関係はこちらをご参照ください。FFU ろ過グレードが ISO 清浄度グレードと直接同等にならない理由を理解してください。フィルターの効率は清浄度の 1 つの条件にすぎません。部屋の空気の流れの構成、密閉性、発塵も最終的な清浄度に影響します。

プロセス感度が選択に与える影響

プロセスが異なれば、粒子に対する感度も異なります。半導体リソグラフィー、ウェーハ製造、その他のプロセスは微粒子の影響を受けやすいため、ULPA フィルターが必要になる場合があります。一般的な電子アセンブリ、PCB 製造、食品包装、その他のシナリオでは、HEPA フィルターが要件を満たす可能性があります。

医療および生物学的クリーンエリアには微生物や粒子に対する要件もあり、フィルターの選択は関連する仕様と組み合わせる必要があります。プロジェクトに特別なプロセス要件がある場合は、プロセス当事者に確認する必要があります。

抵抗が機械全体のマッチングに与える影響

ULPA フィルターはより効率的ですが、一般に HEPA フィルターよりも抵抗が高くなります。抵抗が増加すると、FFU ファンの動作点が移動し、風量が減少する場合があります。 FFUファン静圧マージンが不足している場合、目標風量を維持できない場合があります。

ULPAフィルタを選定する際には、目標風量におけるFFUの静圧能力を再確認してください。詳細については、を参照してください。FFUフィルターレベルを上げると風量は影響を受けますか?抵抗の影響を理解する。抵抗が大幅に増加する場合は、より大きなファン容量の FFU を選択するか、制御方法を調整する必要がある場合があります。

封印方法との連携方法

HEPA フィルターと ULPA フィルターの両方に、シールが正しく取り付けられている必要があります。一般的なシール方法には、ガスケットシールとタンクシールがあります。液体タンクのシールは、通常、半導体や製薬のクリーン ルームなど、高いシール要件が必要なシナリオで使用されます。

フィルターを選択するときは、FFU ボックスのシール面がフィルターのシール方法と一致していることを確認してください。詳細については、を参照してください。FFUリキッドタンクシールとガスケットシールの選び方とシール方法について説明します。

フィルターのサイズと厚みの確認方法

HEPA フィルターと ULPA フィルターのサイズと厚さはさまざまです。選定の際は、フィルタとFFUボックスの取付寸法が一致していること、フィルタの厚みが加圧機構やメンテナンススペースに影響を与えないことをご確認ください。

フィルター厚みが変わった場合には、FFUのメンテナンス構造やファンの動作点を再確認する必要があります。詳細については、を参照してください。FFUフィルターの厚みを変更した後、ファンやメンテナンス構造を再確認する必要があるのはなぜですか?

Aili工業用フィルターアクセサリー

Aili Industry は、FFU 完成機と高効率フィルターの完全な生産能力を備えており、H13 から U17 までのさまざまな効率レベルのフィルターと完成機マッチング ソリューションを提供できます。このフィルターは 1 つずつスキャンするリーク検出プロセスを採用しており、検出データは完全なマシン番号に関連付けられています。

プロジェクトで FFU に一致する ULPA フィルターが必要な場合は、以下を参照してください。FFUにはULPA超高効率フィルターが搭載されており、インターフェイスと構成を理解できます。プロジェクトで液体タンクの密閉 ULPA フィルターが必要な場合は、以下を参照してください。液体タンクシールULPA超高性能フィルター。

プロジェクトコミュニケーション時に事前に確認すべき事項

FFU フィルタの選択段階では、FFU の製造元およびプロセス関係者に次の点を確認することをお勧めします。目標の清浄度レベル。プロセス粒子の感度。フィルター効率レベル。フィルターの抵抗とサイズ。 FFUファン静圧マージン;密封方法。メンテナンススペース。検出および漏れ検出の要件。

FFU に HEPA または ULPA フィルターを選択している場合は、次のサイトにアクセスしてください。Aili Industrial FFU ファン フィルター ユニットの完全なマシン構成については、こちらも参照してください。さまざまな効率レベルのHEPA および ULPA フィルターについて学ぶか、選択サポートについては Aili Industrial にお問い合わせください。

結論は

FFU が HEPA フィルターを使用するか ULPA フィルターを使用するかは、目標の清浄度レベル、プロセス感度、フィルター抵抗に基づいて判断する必要があります。 ULPA は効率が高くなりますが、抵抗が増加する可能性があるため、ファンの動作点を確認する必要があります。シール方法やサイズ、メンテナンススペースなども同時に確認する必要があります。

Aili Industry は、FFU 完成機と高効率フィルターの完全な生産能力を備えており、HEPA および ULPA フィルター構成ソリューションを提供できます。 FFU フィルターの選択について詳しく知りたい場合は、次のサイトを参照してください。Aili Industrial FFU ファン フィルター ユニット、プロジェクト サポートについては、Aili Industrial にお問い合わせいただくことも歓迎します。