FFU bán dẫn hợp tác với điều khiển AMC như thế nào? Cách phân chia công việc giữa lọc hạt và lọc hóa học
Trong phòng sạch bán dẫn, vật chất dạng hạt và AMC không giống nhau
Yêu cầu về không khí của phòng sạch bán dẫn thường được gọi là 'độ sạch'. Tuy nhiên, trong môi trường quy trình thực tế, các chất ô nhiễm trong không khí ít nhất được chia thành hai loại: một là chất dạng hạt lơ lửng, bao gồm bụi, sợi, hạt kim loại, chất mang vi sinh vật, v.v.; loại còn lại là các chất ô nhiễm phân tử dạng khí, cụ thể là AMC (Ô nhiễm phân tử trong không khí), bao gồm khí axit, khí kiềm, khí hữu cơ, khí pha tạp, v.v.
Nguồn, con đường nguy hiểm và phương pháp kiểm soát của hai loại chất gây ô nhiễm này là khác nhau. Vật chất hạt chủ yếu bị chặn bởi các bộ lọc HEPA hoặc ULPA, trong khi AMC yêu cầu hấp phụ hoặc loại bỏ phản ứng bằng vật liệu lọc hóa học. Là thiết bị cốt lõi của lọc tuần hoàn phòng sạch và cung cấp không khí, FFU chủ yếu chịu trách nhiệm kiểm soát các hạt vật chất. Tuy nhiên, nếu dự án có yêu cầu kiểm soát AMC thì FFU và hệ thống lọc hóa học cần phải được xem xét cùng nhau thay vì chỉ đơn giản là tăng mức HEPA.
Trong các dự án hỗ trợ FFU bán dẫn, Aili Industries thường khuyến nghị làm rõ các loại chất ô nhiễm và nồng độ mục tiêu trước khi quyết định phân công lao động giữa FFU và lọc hóa học để tránh trộn lẫn hai loại vấn đề. Cấu trúc cơ bản của máy FFU các bạn có thể tham khảoBộ lọc quạt công nghiệp Aili FFU。
Phân chia ranh giới lao động giữa lọc hạt và lọc hóa học
Lọc hạt giải quyết vấn đề 'chất rắn lơ lửng hoặc giọt chất lỏng trong không khí'. Bộ lọc HEPA có hiệu suất lọc rõ ràng đối với các hạt 0,3 micron và bộ lọc ULPA có hiệu suất cao hơn đối với các hạt nhỏ hơn. FFU sử dụng quạt để dẫn không khí qua bộ lọc hiệu suất cao, giữ lại các hạt vật chất trên vật liệu lọc và sau đó đưa nó đến khu vực sạch. Hiệu quả của quá trình lọc hạt có liên quan đến hiệu quả của bộ lọc, tính toàn vẹn của vòng đệm, độ bao phủ không khí cung cấp và tổ chức luồng không khí trong phòng.
Lọc hóa học giải quyết vấn đề “phân tử khí trong không khí”. Kích thước hạt của các phân tử AMC nhỏ hơn nhiều so với vật chất dạng hạt và không thể bị chặn bởi HEPA hoặc ULPA một cách hiệu quả. Bộ lọc hóa học thường sử dụng than hoạt tính, than hoạt tính tẩm, vật liệu trao đổi ion hoặc phương tiện hấp phụ khác để loại bỏ khí mục tiêu thông qua hấp phụ hoặc phản ứng hóa học. Hiệu quả của quá trình lọc hóa học liên quan đến loại khí mục tiêu, nồng độ, lựa chọn vật liệu lọc, thời gian tiếp xúc và chu kỳ thay thế.
Đối tượng đánh giá của hai bên là khác nhau. Lọc hạt xem xét số lượng hạt và hiệu quả lọc, trong khi lọc hóa học xem xét nồng độ khí mục tiêu và tốc độ loại bỏ. Việc tăng mức HEPA từ H13 lên U15 sẽ không tự động cải thiện các vấn đề về AMC cũng như không thay thế quá trình lọc hóa học.
Vai trò của FFU trong kiểm soát AMC
Bản thân FFU thường không đảm nhận nhiệm vụ xử lý AMC, nhưng nó có thể trở thành một trong những chất mang chức năng lọc hóa học. Trong một số giải pháp phòng sạch bán dẫn, FFU có thể được trang bị bộ lọc hóa học để tạo thành bộ phận cung cấp không khí kết hợp “lọc hạt cộng với lọc hóa học”. Ưu điểm của cấu hình này là đầu cấp không khí xử lý các hạt vật chất và khí gây ô nhiễm cùng lúc, phù hợp với các khu vực có yêu cầu kiểm soát cục bộ đối với AMC.
Tuy nhiên, khi FFU được trang bị lọc hóa học, một số vấn đề bổ sung cần được chú ý. Độ bền của vật liệu lọc hóa học thường cao hơn HEPA thông thường. Khi chồng lên nhau, nó sẽ ảnh hưởng đến điểm làm việc của FFU, đồng thời cần phải kiểm tra lại áp suất tĩnh và thể tích không khí của quạt. Độ dày, phương pháp lắp đặt và chu trình thay thế của vật liệu lọc hóa học khác với HEPA, điều này sẽ ảnh hưởng đến không gian bảo trì và đường dẫn thay thế của FFU. Tuổi thọ của vật liệu lọc hóa học bị ảnh hưởng bởi nồng độ khí mục tiêu và thời gian vận hành và không thể xử lý theo logic thay thế HEPA.
Nếu dự án yêu cầu FFU hỗ trợ lọc hóa học, bạn có thể tham khảoBộ lọc hóa học FFU hiểu cấu trúc bộ chuyển đổi. Aili Industrial còn có dòng sản phẩm hoàn chỉnh về lọc hóa học và kiểm soát ô nhiễm phân tử AMC, có thể xem tại đâyBộ lọc hóa học và Kiểm soát ô nhiễm phân tử AMC Tìm hiểu về các tùy chọn lọc cho các loại khí mục tiêu khác nhau.
Tác động của chồng chất kháng thuốc lên việc lựa chọn FFU
Khi FFU được trang bị cả bộ lọc hạt và bộ lọc hóa học, điện trở của hệ thống sẽ tăng lên đáng kể. Quạt cần duy trì thể tích không khí mục tiêu dưới sức cản cao hơn, điều này đặt ra yêu cầu cao hơn về khả năng áp suất tĩnh của FFU. Nếu quá trình lọc hóa học được lắp đặt trực tiếp theo cấu hình của HEPA FFU thông thường, lượng không khí không đủ, tốc độ tăng, tiếng ồn tăng hoặc tải động cơ tăng có thể xảy ra.
Do đó, trong dự án điều khiển AMC, việc lựa chọn FFU không chỉ xem xét mức hiệu quả của HEPA mà còn xác nhận đặc tính điện trở, vị trí lắp đặt và chu kỳ thay thế dự kiến của bộ lọc hóa học. Đối với các khu vực cần xử lý cả vật chất hạt và AMC, nên tính toán FFU, bộ lọc hóa học và hệ thống cung cấp không khí trong phòng một cách tổng thể, thay vì chọn riêng lẻ.
Aili Industrial có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về máy móc hoàn chỉnh, bộ lọc hóa học và phụ kiện hệ thống của FFU. Nó có thể tính toán tổng thể về sự phù hợp của quạt, bộ lọc và bộ điều khiển, giúp các dự án duy trì hiệu suất cung cấp không khí ổn định sau khi bổ sung lọc hóa học. Về đặc tính áp suất tĩnh và thể tích không khí của các cấu trúc FFU khác nhau, vui lòng tham khảocủa bộ lọc quạt DC .Tìm hiểu về cấu hình cụ thể
Kiểm soát AMC không chỉ là vấn đề về bộ lọc
Kiểm soát AMC liên quan đến các nguồn ô nhiễm, đường dẫn khí, vật liệu lọc và phương pháp giám sát và không thể giải quyết chỉ bằng một bộ lọc. Trong phòng sạch bán dẫn, AMC có thể đến từ không khí trong lành ngoài trời, khí thải của thiết bị xử lý, kho chứa hóa chất, hoạt động của nhân viên, giải phóng vật liệu xây dựng, v.v. Nếu không xác định được nguồn ô nhiễm, chỉ bổ sung lọc hóa học ở cuối FFU có thể không giải quyết được vấn đề nồng độ cục bộ cao.
Trong vận hành thực tế, việc kiểm soát AMC thường cần phối hợp với xử lý không khí trong lành, xử lý khí thải, tổ chức không khí hồi lưu và cách ly khu vực. Chức năng của FFU là cung cấp nguồn không khí được lọc tuần hoàn. Nó có thể phối hợp với quá trình lọc hóa học để giảm nồng độ AMC trong không khí cung cấp, nhưng không thể thay thế việc kiểm soát nguồn, thiết kế khí thải và giám sát hệ thống.
Đối với các dự án bán dẫn, nên làm rõ mục tiêu AMC, vị trí nguồn ô nhiễm, điểm giám sát và chiến lược kiểm soát trong giai đoạn thiết kế, sau đó xác định xem FFU có yêu cầu lọc hóa học hỗ trợ hay không và liệu lọc hóa học có được lắp đặt bên trong FFU, ở cuối AHU hay trong bộ lọc hóa học độc lập hay không.
Các vấn đề cần xác nhận trước trong quá trình truyền thông dự án
Trong các dự án kiểm soát FFU và AMC bán dẫn, nên xác nhận những điều sau với nhà sản xuất FFU và nhà cung cấp lọc hóa học: loại khí mục tiêu và phạm vi nồng độ; Mục tiêu kiểm soát AMC và vật liệu lọc được đề xuất; đặc tính điện trở và chu kỳ thay thế của bộ lọc hóa học; thể tích không khí và hiệu suất áp suất tĩnh của FFU sau khi lọc hóa học chồng chất; vị trí lắp đặt và không gian thay thế các bộ lọc hóa học; phương pháp phát hiện lọc hạt và lọc hóa học; theo dõi và thay thế các điều kiện phán đoán sau khi vận hành hệ thống.
Những vấn đề này cần được làm rõ trong giai đoạn lựa chọn để tránh phải điều chỉnh phương án sau này do lực cản không phù hợp hoặc không đủ không gian thay thế.
Tóm lại
HEPA hoặc ULPA trong FFU bán dẫn chủ yếu kiểm soát các hạt vật chất, còn ô nhiễm khí AMC cần có giải pháp lọc hóa học riêng. Hai loại nhiệm vụ lọc này khác nhau và không thể thay thế nhau. FFU có thể được sử dụng như một trong những chất mang lọc hóa học, nhưng cần phải kiểm tra lại điện trở, thể tích không khí, áp suất tĩnh và các điều kiện bảo trì.
Aili Industrial có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về máy móc hoàn chỉnh FFU, bộ lọc HEPA/ULPA và bộ lọc hóa học. Nó có thể cung cấp các giải pháp hỗ trợ lọc hạt và lọc hóa học cho các dự án bán dẫn, giúp các dự án hoàn thiện việc phân chia hệ thống kiểm soát FFU và AMC trên tiền đề làm rõ loại ô nhiễm. Nếu bạn đang lên kế hoạch sử dụng giải pháp điều khiển AMC cho phòng sạch bán dẫn, bạn có thể bắt đầu vớiBộ lọc quạt Aili Industrial FFU để tìm hiểu về cấu hình máy hoàn chỉnh, bạn cũng có thể xemBộ lọc HEPA và ULPA vàBộ lọc hóa học và Kiểm soát ô nhiễm phân tử AMC Tìm hiểu về các ý tưởng lựa chọn vật liệu lọc.
