كيف تتعاون FFU لأشباه الموصلات مع التحكم AMC؟ كيفية تقسيم العمل بين الترشيح الجزيئي والترشيح الكيميائي

في الغرف النظيفة التي تحتوي على أشباه الموصلات، فإن الجسيمات الدقيقة وAMC ليسا نفس الشيء

غالبًا ما يشار إلى متطلبات الهواء للغرف النظيفة لأشباه الموصلات باسم 'النظافة'. ومع ذلك، في بيئات العمليات الفعلية، تنقسم الملوثات الموجودة في الهواء على الأقل إلى فئتين: الأولى هي الجسيمات العالقة، بما في ذلك الغبار والألياف والجزيئات المعدنية والحاملات الميكروبية، وما إلى ذلك؛ والآخر هو الملوثات الجزيئية الغازية، وهي AMC (التلوث الجزيئي المحمول جوا)، بما في ذلك الغازات الحمضية والغازات القلوية والغازات العضوية والغازات المخدرة وما إلى ذلك.

تختلف المصادر ومسارات المخاطر وطرق التحكم في هذين النوعين من الملوثات. يتم اعتراض المواد الجسيمية بشكل أساسي بواسطة مرشحات HEPA أو ULPA، بينما يتطلب AMC الامتزاز أو إزالة التفاعل بواسطة مواد الترشيح الكيميائي. باعتبارها المعدات الأساسية لترشيح وإمداد الهواء في الغرفة النظيفة، فإن FFU مسؤولة بشكل أساسي عن مهام التحكم في الجسيمات. ومع ذلك، إذا كان المشروع يحتوي على متطلبات التحكم في AMC، فيجب النظر في FFU ونظام الترشيح الكيميائي معًا بدلاً من مجرد زيادة مستوى HEPA.

في مشاريع دعم FFU لأشباه الموصلات، توصي Aili Industries عادةً بتوضيح أنواع الملوثات والتركيزات المستهدفة قبل اتخاذ قرار بشأن تقسيم العمل بين FFU والترشيح الكيميائي لتجنب الخلط بين نوعي المشكلات. للتعرف على الهيكل الأساسي لآلة FFU، يرجى الرجوع إلىوحدة فلتر مروحة FFU الصناعية من Aili。

تقسيم حدود العمل بين ترشيح الجسيمات والترشيح الكيميائي

ترشيح الجسيمات يحل مشكلة 'المواد الصلبة العالقة أو القطرات السائلة في الهواء'. تتمتع مرشحات HEPA بكفاءة ترشيح واضحة لجزيئات 0.3 ميكرون، وتتمتع مرشحات ULPA بكفاءة أعلى للجسيمات الأصغر. يستخدم FFU مروحة لدفع الهواء عبر الفلتر عالي الكفاءة، واحتجاز المواد الجسيمية على مادة الفلتر، ثم إرسالها إلى المنطقة النظيفة. ترتبط فعالية ترشيح الجسيمات بكفاءة المرشح، وسلامة الختم، وتغطية هواء الإمداد، وتنظيم تدفق هواء الغرفة.

الترشيح الكيميائي يحل مشكلة 'الجزيئات الغازية في الهواء'. حجم جسيمات جزيئات AMC أصغر بكثير من حجم الجسيمات ولا يمكن اعتراضها بشكل فعال بواسطة HEPA أو ULPA. تستخدم المرشحات الكيميائية عادةً الكربون المنشط أو الكربون المنشط المشرب أو مواد التبادل الأيوني أو وسائط الامتزاز الأخرى لإزالة الغازات المستهدفة من خلال الامتزاز أو التفاعلات الكيميائية. ويرتبط تأثير الترشيح الكيميائي بنوع الغاز المستهدف، والتركيز، واختيار مادة المرشح، ووقت الاتصال، ودورة الاستبدال.

كائنات التقييم بين الاثنين مختلفة. ينظر ترشيح الجسيمات إلى عدد الجسيمات وكفاءة الترشيح، بينما ينظر الترشيح الكيميائي إلى تركيز الغاز المستهدف ومعدل إزالته. لن تؤدي زيادة مستوى HEPA من H13 إلى U15 إلى تحسين مشكلات AMC تلقائيًا، ولن تحل محل الترشيح الكيميائي.

دور FFU في السيطرة على AMC

عادةً لا تتولى FFU نفسها مهمة معالجة AMC، ولكنها يمكن أن تصبح إحدى ناقلات الترشيح الكيميائي. في بعض حلول الغرف النظيفة المصنوعة من أشباه الموصلات، يمكن تجهيز FFU بمرشحات كيميائية لتشكيل وحدة إمداد هواء مدمجة 'لترشيح الجسيمات بالإضافة إلى الترشيح الكيميائي'. وتتمثل ميزة هذا التكوين في أن طرف إمداد الهواء يتعامل مع الجسيمات والملوثات الغازية في نفس الوقت، وهو مناسب للمناطق ذات متطلبات التحكم المحلية لـ AMC.

ومع ذلك، عندما تكون وحدة FFU مجهزة بالترشيح الكيميائي، يجب الانتباه إلى العديد من المشكلات الإضافية. عادة ما تكون مقاومة مواد الترشيح الكيميائي أعلى من مقاومة HEPA العادية. عندما يتم فرضه، فإنه سيؤثر على نقطة عمل وحدة FFU، ويجب إعادة فحص الضغط الثابت للمروحة وحجم الهواء. يختلف سمك وطريقة التثبيت ودورة الاستبدال لمواد المرشح الكيميائي عن HEPA، مما سيؤثر على مساحة الصيانة ومسار الاستبدال لـ FFU. يتأثر عمر مواد المرشح الكيميائي بتركيز الغاز المستهدف ووقت التشغيل، ولا يمكن معالجته وفقًا لمنطق استبدال HEPA.

إذا كان المشروع يتطلب FFU دعم الترشيح الكيميائي، يمكنك الرجوع إلىالمرشحات الكيميائية FFU تفهم هيكل المحول. لدى Aili Industrial أيضًا خط إنتاج كامل في مجال الترشيح الكيميائي والتحكم في التلوث الجزيئي AMC، والذي يمكن الاطلاع عليهالمرشحات الكيميائية والتحكم في التلوث الجزيئي AMC تعرف على خيارات الترشيح للغازات المستهدفة المختلفة.

تأثير تراكب المقاومة على اختيار FFU

عندما تكون وحدة FFU مجهزة بمرشح جسيمات ومرشح كيميائي، ستزداد مقاومة النظام بشكل ملحوظ. تحتاج المروحة إلى الحفاظ على حجم الهواء المستهدف تحت مقاومة أعلى، مما يضع متطلبات أعلى على قدرة الضغط الثابت لوحدة FFU. إذا تم تركيب الترشيح الكيميائي مباشرة وفقًا لتكوين HEPA FFU العادي، فقد يحدث عدم كفاية حجم الهواء، أو زيادة السرعة، أو زيادة الضوضاء، أو زيادة حمل المحرك.

لذلك، في مشروع التحكم AMC، يجب ألا ينظر اختيار FFU إلى مستوى كفاءة HEPA فحسب، بل يجب أيضًا تأكيد خصائص المقاومة وموقع التثبيت ودورة الاستبدال المتوقعة للمرشح الكيميائي. بالنسبة للمناطق التي تحتاج إلى التعامل مع كل من المواد الجسيمية وAMC، فمن المستحسن أن يتم حساب FFU والمرشح الكيميائي ونظام إمداد هواء الغرفة ككل، بدلاً من تحديدها بشكل منفصل.

تتمتع Aili Industrial بقدرات إنتاجية كاملة في آلات FFU الكاملة والمرشحات الكيميائية وملحقات النظام. يمكنه إجراء حسابات شاملة لمطابقة المراوح والمرشحات ووحدات التحكم، مما يساعد المشاريع في الحفاظ على أداء مستقر لإمدادات الهواء بعد إضافة الترشيح الكيميائي. فيما يتعلق بخصائص الضغط الثابت وحجم الهواء لهياكل FFU المختلفة، يرجى الرجوع إلىلوحدة مرشح مروحة التيار المستمر .تعرف على التكوين المحدد

التحكم في AMC ليس مجرد مشكلة تصفية

يتضمن التحكم في AMC مصادر التلوث ومسارات تدفق الهواء ومواد الترشيح وطرق المراقبة، ولا يمكن حلها عن طريق مرشح واحد فقط. في الغرف النظيفة لأشباه الموصلات، قد يأتي AMC من الهواء النقي الخارجي، أو عوادم معدات المعالجة، أو تخزين المواد الكيميائية، أو عمليات الأفراد، أو إطلاق مواد البناء، وما إلى ذلك. إذا لم يتم تحديد مصدر التلوث، فإن إضافة الترشيح الكيميائي فقط في نهاية FFU قد لا يحل مشكلة التركيزات المحلية العالية.

في التشغيل الفعلي، عادةً ما يحتاج التحكم في AMC إلى التنسيق مع معالجة الهواء النقي وعادم العملية وتنظيم الهواء الراجع والعزل الإقليمي. وظيفة FFU هي توفير إمدادات الهواء المفلتر المتداولة. يمكن أن يتعاون مع الترشيح الكيميائي لتقليل تركيز AMC في هواء الإمداد، لكنه لا يمكن أن يحل محل التحكم في المصدر وتصميم العادم ومراقبة النظام.

بالنسبة لمشاريع أشباه الموصلات، يوصى بتوضيح أهداف AMC ومواقع مصادر التلوث ونقاط المراقبة واستراتيجيات التحكم أثناء مرحلة التصميم، ثم تحديد ما إذا كانت وحدة FFU تتطلب ترشيحًا كيميائيًا داعمًا، وما إذا كان تم تركيب الترشيح الكيميائي داخل وحدة FFU، في نهاية وحدة AHU، أو في وحدة ترشيح كيميائية مستقلة.

المشكلات التي يجب تأكيدها مسبقًا أثناء الاتصال بالمشروع

في مشاريع التحكم في FFU وAMC لأشباه الموصلات، يوصى بالتأكد مما يلي مع الشركة المصنعة لـ FFU ومورد الترشيح الكيميائي: نوع الغاز المستهدف ونطاق التركيز؛ أهداف التحكم AMC ومواد التصفية الموصى بها؛ خصائص المقاومة ودورات استبدال المرشحات الكيميائية؛ حجم الهواء وأداء الضغط الثابت لـ FFU بعد تركيب الترشيح الكيميائي؛ موقع التثبيت ومساحة استبدال المرشحات الكيميائية؛ طرق الكشف عن ترشيح الجسيمات والترشيح الكيميائي؛ مراقبة واستبدال شروط الحكم بعد تشغيل النظام.

يجب توضيح هذه المشكلات في مرحلة الاختيار لتجنب إجراء تعديلات لاحقة على الخطة بسبب المقاومة غير المتطابقة أو عدم كفاية مساحة الاستبدال.

ختاماً

يتحكم HEPA أو ULPA في FFU لأشباه الموصلات بشكل أساسي في المواد الجسيمية، ويتطلب التلوث الغازي AMC محلول ترشيح كيميائي منفصل. يختلف نوعا مهام التصفية ولا يمكن أن يحل كل منهما محل الآخر. يمكن استخدام FFU كأحد ناقلات الترشيح الكيميائي، ولكن يجب إعادة فحص المقاومة وحجم الهواء والضغط الساكن وظروف الصيانة.

تتمتع Aili Industrial بقدرات إنتاجية كاملة في آلات FFU الكاملة ومرشحات HEPA/ULPA والمرشحات الكيميائية. يمكنه توفير حلول داعمة لترشيح الجسيمات والترشيح الكيميائي لمشاريع أشباه الموصلات، مما يساعد المشاريع على إكمال قسم نظام التحكم FFU وAMC على أساس توضيح نوع التلوث. إذا كنت تخطط لحل التحكم AMC لغرفة نظيفة من أشباه الموصلات، فيمكنك البدء بهوحدة تصفية مروحة Aili Industrial FFU للتعرف على التكوين الكامل للماكينة، يمكنك أيضًا عرضهامرشحات HEPA وULPA والمرشحات الكيميائية والتحكم في التلوث الجزيئي AMC تعرف على أفكار اختيار مواد الترشيح.