Как настроить скорость выхода воздуха из EFU? Зона подачи воздуха, целевой показатель чистоты и метод подтверждения однородности
Прямой ответ: Настройка скорости ветра на выходе ЭФУ должна осуществляться в порядке «чистая цель → зона подачи воздуха → целевая скорость ветра → обратная оценка объёма воздуха → подтверждение однородности». Целевой показатель чистоты определяет требуемый диапазон скорости ветра, а зона подачи воздуха определяет потребность в объеме воздуха. После того, как целевая скорость ветра определена на основе этих двух значений, выводятся необходимый объем воздуха и рабочая точка вентилятора EFU. Наконец, расположение точек измерения используется для подтверждения того, является ли распределение скорости ветра на поверхности выхода воздуха равномерным. Настройка скорости ветра не является единым значением, а требует всестороннего подтверждения с учетом конструкции оборудования, сопротивления фильтра и реальных условий работы.
Скорость выхода воздуха EFU напрямую влияет на эффект покрытия приточным воздухом чистой зоны. Установка слишком высокого значения приведет к увеличению энергопотребления и шума, а установка слишком низкого значения может не соответствовать требованиям по очистке. Нижеследующее будет начинаться с трех аспектов: зона подачи воздуха, цель очистки и однородность.
1. Целевой показатель чистоты определяет диапазон скорости ветра.
Чистая цель является отправной точкой для настройки скорости вытяжного воздуха. Различные уровни чистоты и технологические требования имеют разные диапазоны скорости ветра:
чистая цель |
Направление настройки скорости ветра |
Генеральная уборка пятен |
Скорость ветра может быть достаточно низкой для удовлетворения требований покрытия. |
Более высокий уровень чистоты |
Необходимо поддерживать более стабильную скорость встречного ветра. |
Чистая зона с односторонним потоком |
Обычно необходимо поддерживать стабильную скорость ветра вертикального однонаправленного потока. |
Технологические зоны с источниками тепла или пыли |
Требуется подтверждение в связи с организацией воздушного потока и контролем загрязнения. |
Внутренняя микросреда прецизионного оборудования |
Это необходимо подтвердить на основании конструкции оборудования и условий окклюзии. |
После того как определен целевой показатель чистоты, можно судить, в каком диапазоне следует устанавливать скорость ветра. Если вы установите его только на основе опытных значений, он может не соответствовать фактическим потребностям в уборке.
2. Зона подачи воздуха определяет потребность в объеме воздуха.
Площадь подачи воздуха является ключевым параметром при настройке скорости ветра. Необходимо подтвердить:
Эффективная площадь подачи воздуха : исходя из фактической площади воздуховыпускного отверстия фильтра, без учета площади, занимаемой рамкой и уплотнительной полосой;
Структурное препятствие : необходимо оценить, следует ли включать ту часть поверхности выхода воздуха, которая заблокирована кронштейнами, кабелями или конструкциями оборудования;
Конфигурация с несколькими фильтрами : при параллельном подключении нескольких фильтров площадь подачи воздуха представляет собой сумму эффективных площадей каждого фильтра;
Расстояние подачи воздуха : Расстояние от поверхности выхода воздуха до целевой области будет влиять на фактическую скорость ветра, достигающую целевой области;
Путь возвратного воздуха : плавность возвратного воздуха влияет на эффект подачи воздуха и стабильность скорости ветра.
Соотношение между объемом воздуха и скоростью ветра следующее: объем воздуха = заданная скорость ветра × эффективная площадь подачи воздуха . После подтверждения зоны подачи воздуха можно определить требуемый объем воздуха и затем сопоставить его с рабочей точкой вентилятора.
3. Последовательность настройки скорости выходного ветра
Рекомендуется задавать скорость ветра на выходе ЭФУ в следующем порядке:
Шаг 1: Подтвердите целевой уровень чистоты
и уточните целевой уровень чистоты, требования к контролю частиц и условия процесса.
Шаг 2. Убедитесь, что эффективная площадь подачи воздуха
рассчитана в соответствии с фактической площадью выхода воздуха из фильтра, без учета рам, уплотнительных полос и структурных препятствий.
Шаг 3: Определите целевую скорость ветра,
объедините целевой показатель чистоты и структуру оборудования, а также определите целевую скорость приземного ветра и допустимый диапазон ее отклонения.
Шаг 4: Измените требуемый объем воздуха.
Объем воздуха = целевая скорость ветра × эффективная площадь подачи воздуха. Внесите соответствующие поправки в зависимости от расстояния подачи воздуха и условий возврата воздуха.
Шаг 5: Сопоставьте рабочую точку вентилятора,
объедините сопротивление фильтра и сопротивление системы и подтвердите рабочую точку вентилятора при целевом объеме воздуха.
Шаг 6: Подтвердите однородность.
Измерьте распределение скорости ветра на поверхности выхода ветра с помощью расположения точек измерения, чтобы подтвердить, выполняются ли требования однородности.
4. Метод подтверждения однородности
Скорость выходного ветра должна не только учитывать среднее значение, но и подтверждать равномерность распределения. Ключевые моменты для подтверждения однородности включают в себя:
Плоскость измерения : обычно выбирается на определенном расстоянии от поверхности выхода воздуха, конкретное расстояние согласовывается проектом;
Количество точек измерения : рассчитывается в зависимости от площади подачи воздуха, минимум 1 точка измерения для каждого фильтра;
Распределение точек измерения : равномерно охватывайте центральную и краевую области, чтобы избежать измерения только центральной точки;
Расчет среднего значения : сложите скорость ветра в каждой точке измерения и разделите на количество точек измерения;
Оценка неравномерности : доступна (максимальная скорость ветра − минимальная скорость ветра) ÷ средняя скорость ветра × 100% оценка;
Измерьте условия работы : проверьте состояние фильтра и рабочее состояние вентилятора, чтобы избежать различий в рабочих условиях, влияющих на результаты.
Если скорость ветра оказывается неравномерной, ее можно исследовать по трем аспектам: положение вентилятора, состояние фильтра и структурное экранирование. Конкретные методы анализа см.что делать, если скорость выхода воздуха из ЭФУ неравномерна .Идеи по устранению неполадок,
5. Справочная информация о настройке скорости ветра в различных сценариях использования оборудования.
Сцена с оборудованием |
Опорное направление установки скорости ветра |
Внутренняя микросреда полупроводниковой аппаратуры |
Подтвердите на основе конструкции оборудования и требований к чистоте. |
Машина для размещения SMT |
Подтвердите выбор на основании свободного пространства над головой и расстояния подачи воздуха. |
Прецизионное испытательное оборудование |
Учет требований чистоты и малошумной работы. |
Статическое чувствительное оборудование |
Подтверждено антистатическим раствором EFU |
устройства с ограниченным пространством |
Подтвердите выбор, исходя из размера коробки и площади фильтра. |
Информацию об ультратонких устройствах или устройствах с ограниченным пространством см.Ультратонкий EFU толщиной 70 мм иКонструктивная схема вентиляторно-фильтровального агрегата малогабаритного оборудования ЭФУ подтверждает соответствие настройки скорости ветра коробчатой конструкции.
6. Информация, необходимая для настройки скорости ветра.
Рекомендуется предоставлять: при общении с проектом:
Целевые уровни чистоты и требования к контролю частиц;
Эффективная площадь подачи воздуха и характеристики фильтров;
Расстояние от ветровыпускной поверхности до целевой площади;
Путь возврата воздуха и планировка площадки;
Целевая скорость ветра и допустимый диапазон отклонения;
Информация о сопротивлении фильтра и сопротивлении системы;
Модель вентилятора и метод управления;
Методы приемочного измерения и оценочные значения.
7. Возможности поддержки настройки скорости ветра Aili Industrial EFU
Aili Industrial имеет следующие вспомогательные условия с точки зрения настройки скорости ветра EFU:
Согласование вентиляторов : двигатели и вентиляторы EC, постоянного и переменного тока собственного производства, которые могут соответствовать параметрам объема воздуха в соответствии с целевой скоростью ветра;
Фильтры собственного производства : он имеет производственную мощность фильтров HEPA и ULPA и может контролировать характеристики фильтра и постоянство сопротивления;
Структурная конструкция : внутренняя структура и диффузионное пространство коробки могут быть спроектированы в соответствии с пространством для оборудования, чтобы улучшить распределение скорости ветра;
Проверка всей машины : перед отправкой с завода проведите испытания скорости ветра, объема воздуха и работоспособности;
Возможности индивидуальной настройки : шкаф, методы впуска и выпуска воздуха, а также конструкция установки могут быть настроены в соответствии с пространством оборудования.
Для получения дополнительной информации о продукте см.Блок вентиляторного фильтра со стороны оборудования (EFU)、Пользовательский EFU иБлок фильтра вентилятора оборудования DC EFU。
Часто задаваемые вопросы
На какой скорости обычно устанавливается скорость ветра на выходе EFU?
Это необходимо подтвердить на основе целевого показателя чистоты, зоны подачи воздуха и конструкции оборудования. Различные приложения имеют разные диапазоны скорости ветра, и напрямую применять фиксированные значения нецелесообразно.
Как подтвердить зону подачи воздуха?
На основе фактической площади воздуховыпускного отверстия фильтра, без учета площади, занимаемой рамкой и уплотнительной полосой, а также с учетом структурных препятствий и конфигурации нескольких фильтров.
Какая связь между скоростью ветра на выходе и объемом воздуха?
Объем воздуха = заданная скорость ветра × эффективная площадь подачи воздуха. После подтверждения зоны подачи воздуха можно определить необходимый объем воздуха.
Как подтвердить равномерность скорости ветра?
Расположите точки измерения на согласованной плоскости измерения и рассчитайте среднее значение и неравномерность после измерения по точкам. Конкретные стандарты оценки согласовываются со стороной проекта.
Как определить количество точек измерения?
Рассчитывается исходя из площади подачи воздуха: чем больше площадь, тем больше точек измерения. Каждый фильтр измеряет как минимум 1 точку и охватывает центральную и краевую области.
Будет ли уменьшаться скорость ветра после увеличения сопротивления фильтра?
встреча. После попадания в фильтр пыли сопротивление увеличивается. Если скорость вентилятора остается неизменной, объем воздуха уменьшится и скорость выходящего ветра соответственно уменьшится.
Что делать, если скорость ветра неравномерная?
Его можно проверить по трем аспектам: положение вентилятора, состояние фильтра и структурное препятствие. Конкретные методы см. в разделе об устранении неполадок, связанных с неравномерной скоростью ветра.
На что следует обратить внимание при настройке скорости ветра ультратонкого ЭФУ?
Необходимо подтвердить диффузионное пространство внутри коробки и области фильтра, чтобы избежать неравномерного распределения скорости ветра из-за ограниченного пространства.
Содержание этой статьи предназначено только для справки, пожалуйста, сверьтесь с реальным проектом. Настройки скорости ветра, расчеты площади подачи воздуха, расположение точек измерения и оценочные значения, упомянутые в этой статье, могут различаться в зависимости от модели продукта, условий проекта и фактических условий работы. Для получения информации о конкретных решениях EFU см. действующие подтвержденные технические документы, чертежи и результаты испытаний продукта.
