조회수: 5684 작성자: Aili Industry 출시 시간: 2026-09-24 출처: 아이 리 산업
직답 : EFU 출구 풍속의 설정은 '클린 타겟 → 급기 영역 → 목표 풍속 → 풍량 역추정 → 균일성 확인'의 순서로 이루어져야 합니다. 청정도 목표는 필요한 풍속 범위를 결정하고 공기 공급 영역은 공기량 요구를 결정합니다. 이 두 가지를 바탕으로 목표 풍속을 결정한 후 EFU의 필요 풍량과 팬 작동 지점을 추론합니다. 마지막으로 측정점 배치를 통해 공기 출구 표면의 풍속 분포가 균일한지 확인합니다. 풍속 설정은 단일 값이 아니며, 장비 구조, 필터 저항, 실제 작업 조건을 토대로 종합적으로 확인해야 합니다.
EFU 공기 출구 속도는 청정 구역의 공기 공급 범위 효과에 직접적인 영향을 미칩니다. 너무 높게 설정하면 에너지 소비와 소음이 증가하고, 너무 낮게 설정하면 청소 요구 사항을 충족하지 못할 수 있습니다. 다음은 공기 공급 면적, 청소 대상 및 균일성이라는 세 가지 측면에서 시작됩니다.
청정 목표는 출구 공기 속도 설정의 시작점입니다. 청정도 수준과 프로세스 요구 사항이 다르면 풍속 범위도 다릅니다.
깨끗한 대상 |
풍속 설정 방향 |
|---|---|
일반 얼룩 청소 |
적용 범위 요구 사항을 충족하기 위해 풍속을 적절하게 낮출 수 있습니다. |
더 높은 청결도 |
보다 안정적인 면풍속 유지 필요 |
단방향 흐름 청정 영역 |
일반적으로 안정적인 수직 단방향 흐름 풍속을 유지하는 것이 필요합니다. |
열원이나 먼지가 발생하는 공정 영역 |
기류 구성 및 오염 관리와 연계하여 확인 필요 |
정밀기기 내부 미세환경 |
장비구조와 폐색상태에 따라 확인이 필요합니다. |
청정도 목표가 결정되면 풍속을 어느 범위에서 설정해야 하는지 판단할 수 있다. 경험치로만 설정하면 실제 청소 요구 사항과 일치하지 않을 수 있습니다.
공기 공급 영역은 풍속 설정의 핵심 매개변수입니다. 확인해야 할 사항:
유효 공기 공급 면적 : 프레임과 씰링 스트립이 차지하는 면적을 제외하고 필터의 실제 공기 배출 면적을 기준으로 합니다.
구조적 방해 : 공기출구 표면 중 브라켓, 케이블, 장비 구조물 등으로 막혀 있는 부분의 포함 여부를 평가할 필요가 있다.
멀티 필터 구성 : 여러 개의 필터를 병렬로 연결할 때 공기 공급 면적은 각 필터의 유효 면적의 합입니다.
공기 공급 거리 : 공기 출구 표면에서 대상 지역까지의 거리는 대상 지역에 도달하는 실제 풍속에 영향을 미칩니다.
복귀 공기 경로 : 복귀 공기가 원활한지 여부는 공기 공급 효과와 풍속 안정성에 영향을 미칩니다.
풍량과 풍속의 관계는 풍량 = 목표 풍속 × 유효 급기 면적 입니다 . 공기 공급 영역을 확인한 후 필요한 공기량을 추론한 다음 팬 작동 지점에 맞출 수 있습니다.
EFU 출구 풍속을 다음 순서로 설정하는 것이 좋습니다.
1단계: 청정도 목표를 확인
하고 목표 청정도 수준, 입자 제어 요구 사항 및 공정 조건을 명확히 합니다.
2단계: 유효 공기 공급 면적이
프레임, 밀봉 스트립 및 구조적 장애물을 제외하고 필터의 실제 공기 배출 면적에 따라 계산되었는지 확인합니다.
3단계: 목표 풍속을 결정하고
청정도 목표와 장비 구조를 결합하여 목표 표면 풍속과 허용 편차 범위를 결정합니다.
4단계: 필요한 공기량을 반대로 합니다.
풍량=목표풍속×유효급기면적이며, 급기거리와 환기조건을 고려하여 적절하게 보정합니다.
5단계: 팬 작동 지점을 일치시키고,
필터 저항과 시스템 저항을 결합하고, 목표 풍량에서 팬 작동 지점을 확인합니다.
6단계: 균일성을 확인합니다.
측정점 배치를 통해 바람 출구 표면의 풍속 분포를 측정하여 균일성 요구 사항이 충족되는지 확인합니다.
출구풍속은 평균값만 볼 것이 아니라 분포가 균일한지도 확인해야 합니다. 균일성 확인의 핵심 사항은 다음과 같습니다.
측정 평면 : 일반적으로 공기 출구 표면으로부터 특정 거리에서 선택되며 특정 거리는 프로젝트에서 합의합니다.
측정 지점 수 : 공기 공급 면적을 기준으로 계산되며 각 필터당 최소 1개의 측정 지점이 있습니다.
측정점 분포 : 중심점만 측정하지 않도록 중심과 가장자리 영역을 균일하게 덮습니다.
평균 계산 : 각 측정 지점의 풍속을 더하고 측정 지점 수로 나눕니다.
불균일 평가 : 가능 (최대 풍속 - 최소 풍속) ¼ 평균 풍속 × 100% 평가;
작업조건 측정 : 필터상태와 팬의 작동상태를 확인하여 작업조건의 차이가 결과에 영향을 미치지 않도록 하십시오.
풍속이 고르지 않은 것으로 확인되면 팬 위치, 필터 상태 및 구조적 차폐의 세 가지 측면에서 조사할 수 있습니다. 구체적인 분석 방법은 다음을 참고하세요.EFU 공기 배출구 속도가 고르지 않은 경우 해결 방법 에 대한 문제 해결 아이디어 .
장비 장면 |
풍속 설정 기준 방향 |
|---|---|
반도체 장비 내부 미세환경 |
장비 구조 및 청결도 요구 사항에 따라 확인 |
SMT 배치 기계 |
헤드스페이스 및 급기거리를 기준으로 확인 |
정밀시험장비 |
청결 요구사항과 저소음 작동을 고려 |
정전기에 민감한 장비 |
정전기 방지 EFU 솔루션으로 확인 |
공간이 제한된 장치 |
박스 크기 및 필터 면적을 기준으로 확인 |
매우 얇거나 공간이 제한된 장치의 경우 다음을 참조하십시오.70mm 초박형 EFU 및소형 EFU 장비의 팬 필터 유닛 의 구조 계획은 풍속 설정과 박스 구조 간의 일치 관계를 확인합니다.
다음을 제공하는 것이 좋습니다: 프로젝트와 통신할 때:
목표 청정도 수준 및 입자 제어 요구 사항
유효급기면적 및 필터사양
바람 출구 표면에서 대상 지역까지의 거리;
복귀 공기 경로 및 현장 레이아웃
목표풍속 및 허용편차범위
필터 저항 및 시스템 저항 정보
팬 모델 및 제어 방법;
합격 측정 방법 및 판단 값.
Aili Industrial은 EFU 풍속 설정과 관련하여 다음과 같은 지원 조건을 갖습니다.
팬 매칭 : 자체 생산된 EC, DC, AC 모터 및 팬으로 목표 풍속에 따라 풍량 매개변수를 일치시킬 수 있습니다.
자체 생산 필터 : HEPA 및 ULPA 필터 생산 능력을 보유하고 있으며 필터 사양 및 저항 일관성을 제어할 수 있습니다.
구조 설계 : 장비 공간에 따라 상자의 내부 구조와 확산 공간을 설계하여 풍속 분포를 향상시킬 수 있습니다.
전체 기계 검증 : 공장을 떠나기 전에 풍속, 풍량 및 작동 테스트를 수행합니다.
맞춤화 기능 : 캐비닛, 공기 흡입 및 배출 방법, 설치 구조는 장비 공간에 따라 맞춤화 가능합니다.
더 많은 제품 정보를 원하시면,장비측 팬 필터 장치(EFU)、맞춤형 EFU 및DC EFU 장비 팬 필터 유닛。
청정도 목표, 급기면적, 장비구조에 따라 확인이 필요합니다. 애플리케이션마다 풍속 범위가 다르므로 고정된 값을 직접 적용하는 것은 적절하지 않습니다.
프레임과 씰링 스트립이 차지하는 면적을 제외하고 구조적 장애물과 다중 필터 구성을 고려한 필터의 실제 공기 배출 면적을 기준으로 합니다.
풍량 = 목표 풍속 × 유효 급기 면적. 공기 공급 면적을 확인한 후 필요한 공기량을 추론할 수 있습니다.
합의된 측정 평면에 측정점을 배치하고, 점별로 측정한 후 평균값과 불균일성을 계산합니다. 구체적인 판단 기준은 사업 당사자와 합의한다.
급기 면적을 기준으로 계산되며, 면적이 클수록 측정 지점이 많아집니다. 각 필터는 최소 1개 지점을 측정하고 중앙 및 가장자리 영역을 포함합니다.
회의. 필터에 먼지가 포함되면 저항이 증가합니다. 팬 속도가 변하지 않으면 공기량이 감소하고 그에 따라 출구 풍속도 감소합니다.
팬 위치, 필터 상태, 구조적 방해 등 세 가지 측면에서 확인할 수 있습니다. 구체적인 방법은 풍속이 고르지 않은 문제 해결 아이디어를 참조하세요.
제한된 공간으로 인해 풍속의 고르지 못한 분포를 피하기 위해서는 박스 내부의 확산 공간과 필터 영역을 확인하는 것이 필요합니다.
본 글의 내용은 참고용이므로 실제 프로젝트를 통해 확인해 주시기 바랍니다. 본 글에 포함된 풍속 설정, 급기 면적 계산, 측정 지점 레이아웃 및 판단 값은 제품 모델, 프로젝트 조건 및 실제 작업 조건에 따라 다를 수 있습니다. 구체적인 EFU 솔루션에 대해서는 실제 검증된 제품 기술문서, 도면, 테스트 결과를 참고하시기 바랍니다.