Anzahl der Aufrufe: 5684 Autor: Aili Industry Veröffentlichungszeit: 24.09.2026 Quelle: Ai Li Industrial
Direkte Antwort: Die Einstellung der EFU-Auslasswindgeschwindigkeit sollte in der Reihenfolge „sauberes Ziel → Luftversorgungsbereich → Zielwindgeschwindigkeit → umgekehrte Schätzung des Luftvolumens → Bestätigung der Gleichmäßigkeit“ erfolgen. Das Sauberkeitsziel bestimmt den erforderlichen Windgeschwindigkeitsbereich und das Luftversorgungsgebiet den Luftmengenbedarf. Nachdem daraus die Zielwindgeschwindigkeit ermittelt wurde, werden die erforderliche Luftmenge und der Lüfterbetriebspunkt der EFU abgeleitet. Abschließend wird anhand der Messpunktanordnung überprüft, ob die Windgeschwindigkeitsverteilung auf der Luftaustrittsfläche gleichmäßig ist. Die Einstellung der Windgeschwindigkeit ist kein Einzelwert, sondern muss anhand der Gerätestruktur, des Filterwiderstands und der tatsächlichen Arbeitsbedingungen umfassend bestätigt werden.
Die EFU-Luftauslassgeschwindigkeit wirkt sich direkt auf die Luftzufuhr-Abdeckungswirkung des sauberen Bereichs aus. Wenn Sie den Wert zu hoch einstellen, erhöht sich der Energieverbrauch und die Geräuschentwicklung. Wenn Sie ihn zu niedrig einstellen, werden die Reinigungsanforderungen möglicherweise nicht erfüllt. Im Folgenden wird von drei Aspekten ausgegangen: Luftzufuhrbereich, Reinigungsziel und Gleichmäßigkeit.
Das Reinigungsziel ist der Ausgangspunkt für die Einstellung der Abluftgeschwindigkeit. Unterschiedliche Reinheitsgrade und Prozessanforderungen haben unterschiedliche Windgeschwindigkeitsbereiche:
sauberes Ziel |
Richtung der Einstellung der Windgeschwindigkeit |
|---|---|
Allgemeine Fleckenreinigung |
Die Windgeschwindigkeit kann entsprechend niedrig sein, um den Abdeckungsanforderungen gerecht zu werden |
Höheres Sauberkeitsniveau |
Es muss eine stabilere Seitenwindgeschwindigkeit aufrechterhalten werden |
Reinraum mit Einwegströmung |
Normalerweise ist es notwendig, eine stabile vertikale, unidirektionale Windgeschwindigkeit aufrechtzuerhalten |
Bereiche mit Hitze- oder Staubquellen bearbeiten |
Muss in Verbindung mit der Organisation des Luftstroms und der Schadstoffkontrolle bestätigt werden |
Interne Mikroumgebung von Präzisionsgeräten |
Dies muss anhand der Gerätestruktur und der Okklusionsbedingungen bestätigt werden. |
Nachdem das Sauberkeitsziel festgelegt wurde, kann beurteilt werden, in welchem Bereich die Windgeschwindigkeit eingestellt werden sollte. Wenn Sie es nur auf Basis von Erfahrungswerten einstellen, entspricht es möglicherweise nicht dem tatsächlichen Reinigungsbedarf.
Der Luftzufuhrbereich ist ein wichtiger Parameter bei der Einstellung der Windgeschwindigkeit. Muss bestätigt werden:
Effektive Luftzufuhrfläche : basierend auf der tatsächlichen Luftauslassfläche des Filters, ohne die vom Rahmen und Dichtungsstreifen eingenommene Fläche;
Strukturelle Behinderung : Der Teil der Luftaustrittsfläche, der durch Halterungen, Kabel oder Gerätestrukturen blockiert ist, muss bewertet werden, ob er einbezogen werden soll;
Konfiguration mit mehreren Filtern : Wenn mehrere Filter parallel geschaltet sind, ist die Luftzufuhrfläche die Summe der effektiven Flächen jedes Filters;
Luftzufuhrentfernung : Die Entfernung von der Luftauslassoberfläche zum Zielgebiet beeinflusst die tatsächliche Windgeschwindigkeit, die das Zielgebiet erreicht;
Rückluftweg : Ob die Rückluft gleichmäßig ist, wirkt sich auf den Luftzufuhreffekt und die Stabilität der Windgeschwindigkeit aus.
Die Beziehung zwischen Luftvolumen und Windgeschwindigkeit ist: Luftvolumen = Zielwindgeschwindigkeit × effektive Luftversorgungsfläche . Nach Bestätigung des Zuluftbereichs kann auf die erforderliche Luftmenge geschlossen und diese dann an den Betriebspunkt des Ventilators angepasst werden.
Es wird empfohlen, die EFU-Auslasswindgeschwindigkeit in der folgenden Reihenfolge einzustellen:
Schritt 1: Bestätigen Sie das Reinheitsziel
und klären Sie den angestrebten Reinheitsgrad, die Partikelkontrollanforderungen und die Prozessbedingungen.
Schritt 2: Bestätigen Sie, dass die effektive Luftzufuhrfläche
entsprechend der tatsächlichen Luftauslassfläche des Filters berechnet wird, ohne Rahmen, Dichtungsstreifen und strukturelle Hindernisse.
Schritt 3: Bestimmen Sie die Zielwindgeschwindigkeit,
kombinieren Sie das Sauberkeitsziel und die Gerätestruktur und bestimmen Sie die Zielwindgeschwindigkeit an der Oberfläche und ihren zulässigen Abweichungsbereich.
Schritt 4: Erforderliche Luftmenge umkehren.
Luftmenge = Zielwindgeschwindigkeit × effektive Luftzufuhrfläche, und nehmen Sie entsprechende Korrekturen auf der Grundlage der Luftzufuhrentfernung und der Rückluftbedingungen vor.
Schritt 5: Passen Sie den Lüfterarbeitspunkt an,
kombinieren Sie den Filterwiderstand und den Systemwiderstand und bestätigen Sie den Lüfterarbeitspunkt bei der Zielluftmenge.
Schritt 6: Bestätigen Sie die Einheitlichkeit.
Messen Sie die Windgeschwindigkeitsverteilung auf der Windaustrittsfläche durch die Anordnung der Messpunkte, um zu bestätigen, ob die Gleichmäßigkeitsanforderungen erfüllt sind.
Die Auslasswindgeschwindigkeit sollte nicht nur den Durchschnittswert betrachten, sondern auch bestätigen, ob die Verteilung gleichmäßig ist. Zu den wichtigsten Punkten für die Homogenitätsbestätigung gehören:
Messebene : Wird normalerweise in einem bestimmten Abstand von der Luftauslassoberfläche ausgewählt. Der spezifische Abstand wird im Projekt vereinbart.
Anzahl der Messpunkte : berechnet basierend auf der Luftzufuhrfläche, mindestens 1 Messpunkt für jeden Filter;
Messpunktverteilung : Decken Sie die Mittel- und Randbereiche gleichmäßig ab, um zu vermeiden, dass nur der Mittelpunkt gemessen wird.
Durchschnittsberechnung : Addieren Sie die Windgeschwindigkeit an jedem Messpunkt und teilen Sie sie durch die Anzahl der Messpunkte.
Ungleichmäßigkeitsbewertung : verfügbar (maximale Windgeschwindigkeit − minimale Windgeschwindigkeit) ÷ durchschnittliche Windgeschwindigkeit × 100 %-Bewertung;
Arbeitsbedingungen messen : Überprüfen Sie den Status des Filters und den Betriebsstatus des Lüfters, um zu vermeiden, dass Unterschiede in den Arbeitsbedingungen die Ergebnisse beeinflussen.
Wenn sich herausstellt, dass die Windgeschwindigkeit ungleichmäßig ist, kann dies unter drei Aspekten untersucht werden: Ventilatorposition, Filterstatus und strukturelle Abschirmung. Spezifische Analysemethoden finden Sie unterwas zu tun ist, wenn die EFU-Luftauslassgeschwindigkeit ungleichmäßig ist .Ideen zur Fehlerbehebung,
Ausrüstungsszene |
Referenzrichtung für die Einstellung der Windgeschwindigkeit |
|---|---|
Interne Mikroumgebung von Halbleitergeräten |
Bestätigen Sie anhand der Gerätestruktur und der Sauberkeitsanforderungen |
SMT-Bestückungsmaschine |
Bestätigen Sie anhand des Kopfraums und der Luftzufuhrentfernung |
Präzisionsprüfgeräte |
Unter Berücksichtigung der Sauberkeitsanforderungen und eines geräuscharmen Betriebs |
Elektrostatisch empfindliche Geräte |
Bestätigt mit antistatischer EFU-Lösung |
Geräte mit begrenztem Platzangebot |
Bestätigen Sie anhand der Boxgröße und des Filterbereichs |
Informationen zu ultradünnen oder platzbeschränkten Geräten finden Sie unter70 mm ultradünnes EFU undDer Strukturplan der Lüfterfiltereinheit der kleinen EFU-Ausrüstung bestätigt die passende Beziehung zwischen der Windgeschwindigkeitseinstellung und der Kastenstruktur.
Es wird empfohlen, bei der Kommunikation mit dem Projekt Folgendes anzugeben:
Gezielte Reinheitsgrade und Partikelkontrollanforderungen;
Effektiver Luftzufuhrbereich und Filterspezifikationen;
Der Abstand von der Windaustrittsfläche zum Zielgebiet;
Rückluftweg und Standortlayout;
Zielwindgeschwindigkeit und zulässiger Abweichungsbereich;
Informationen zum Filterwiderstand und zum Systemwiderstand;
Lüftermodell und Steuerungsmethode;
Akzeptanzmessmethoden und Beurteilungswerte.
Aili Industrial hat die folgenden unterstützenden Bedingungen in Bezug auf die Einstellung der EFU-Windgeschwindigkeit:
Lüfteranpassung : selbst hergestellte EC-, DC-, AC-Motoren und Lüfter, die die Luftvolumenparameter entsprechend der Zielwindgeschwindigkeit anpassen können;
Selbst hergestellte Filter : Es verfügt über die Produktionskapazität von HEPA- und ULPA-Filtern und kann die Filterspezifikationen und die Widerstandskonsistenz steuern;
Strukturdesign : Die interne Struktur und der Diffusionsraum des Kastens können entsprechend dem Geräteraum gestaltet werden, um die Windgeschwindigkeitsverteilung zu verbessern;
Überprüfung der gesamten Maschine : Führen Sie Windgeschwindigkeits-, Luftvolumen- und Betriebstests durch, bevor Sie das Werk verlassen.
Anpassungsmöglichkeiten : Das Gehäuse, die Lufteinlass- und -auslassmethoden sowie die Installationsstruktur können je nach Geräteraum individuell angepasst werden.
Weitere Produktinformationen finden Sie unterGeräteseitige Lüfterfiltereinheit (EFU)、Benutzerdefinierte EFU undDC-EFU-Gerätelüfter-Filtereinheit。
Es muss anhand des Reinheitsziels, des Luftversorgungsbereichs und der Gerätestruktur bestätigt werden. Unterschiedliche Anwendungen haben unterschiedliche Windgeschwindigkeitsbereiche und es ist nicht angebracht, feste Werte direkt anzuwenden.
Basierend auf der tatsächlichen Luftaustrittsfläche des Filters, ohne die vom Rahmen und Dichtungsstreifen eingenommene Fläche und unter Berücksichtigung struktureller Hindernisse und der Konfiguration mehrerer Filter.
Luftvolumen = Zielwindgeschwindigkeit × effektive Luftzufuhrfläche. Nach Bestätigung des Luftzufuhrbereichs kann auf die erforderliche Luftmenge geschlossen werden.
Ordnen Sie die Messpunkte auf der vereinbarten Messebene an und berechnen Sie den Durchschnittswert und die Unebenheit, nachdem Sie Punkt für Punkt gemessen haben. Die konkreten Beurteilungsstandards werden mit der Projektpartei vereinbart.
Berechnet auf Basis der Luftzufuhrfläche gilt: Je größer die Fläche, desto mehr Messpunkte. Jeder Filter misst mindestens 1 Punkt und deckt die Mittel- und Randbereiche ab.
treffen. Nachdem der Filter Staub enthält, erhöht sich der Widerstand. Bei unveränderter Lüftergeschwindigkeit nimmt die Luftmenge ab und die Austrittswindgeschwindigkeit nimmt entsprechend ab.
Es kann anhand von drei Aspekten überprüft werden: Ventilatorposition, Filterstatus und strukturelle Verstopfung. Spezifische Methoden finden Sie in der Fehlerbehebungsidee bei ungleichmäßiger Windgeschwindigkeit.
Es ist notwendig, den Diffusionsraum innerhalb des Kastens und des Filterbereichs zu überprüfen, um eine ungleichmäßige Verteilung der Windgeschwindigkeit aufgrund des begrenzten Platzes zu vermeiden.
Der Inhalt dieses Artikels dient nur als Referenz. Bitte bestätigen Sie ihn anhand des tatsächlichen Projekts. Die in diesem Artikel verwendeten Windgeschwindigkeitseinstellungen, Berechnungen der Luftzufuhrfläche, Messpunktanordnung und Beurteilungswerte können je nach Produktmodell, Projektbedingungen und tatsächlichen Arbeitsbedingungen variieren. Informationen zu spezifischen EFU-Lösungen finden Sie in den aktuell bestätigten technischen Dokumenten, Zeichnungen und Testergebnissen des Produkts.