1. 液槽シールフィルターとクリーンルームの対応
クリーン ルームは、空気中の浮遊粒子の濃度に基づいて、ISO クラス 1 (最高) から ISO クラス 9 (最低) までのさまざまな ISO クラス (ISO 14644-1 規格) に分類されます。クリーンルームのレベルが異なると、空気濾過システムに対する要件も異なります。その中で、最終的な高効率フィルターの設置と密閉方法が重要な関係となります。
クリーンルームにおける液体タンク密閉型高効率フィルターの適用は、主に ISO レベル 5 以上の高清浄度エリアに集中しています。これは、清浄度が高くなると、フィルタ取り付けフレームの漏れ許容度がどんどん低くなるためです。 ISO クラス 6 以下のクリーン ルームでは、通常のシール ストリップ フィルターのバイパス漏れが全体の清浄度に及ぼす影響は比較的制御可能です。ただし、ISO クラス 5 以上の環境では、フレームのわずかな漏れにより、局所的な清浄度が基準を超える可能性があります。
2. クリーンルームISOグレードとフィルター選定の比較
ISOグレード
清浄度要件 (≥0.5μm 粒子/m³)
推奨フィルターの種類
推奨されるシール方法
ISOクラス1
≤20
ウルパ (U15-U17)
タンクシール
ISOレベル2
≤100
ウルパ (U15-U17)
タンクシール
ISOレベル3
≤1000
ウルパ (U15-U16)
タンクシール
ISOクラス4
≤10000
ULPA (U15) または H14
タンクシール
ISOクラス5
≤100000
H14
タンクシール
ISOクラス6
≤1000000
H13～H14
シールストリップまたはタンク
ISOクラス7
≤3520000
H13
シールストリップ
ISOクラス8
≤35200000
H13
シールストリップ
ISO クラス 5 以上のクリーン ルームでは、液体タンク シールがより一般的な構成です。 ISO レベル 6 はオンデマンドで選択でき、ISO レベル 7 以下は通常、要件を満たすためにゴム ストリップでシールされます。
3. 液体タンクシールフィルターの一般的な応用シナリオ
(1) 医薬品GMPクリーンルーム
製薬業界の GMP 基準では、クリーン ルームを国際基準とは異なる方法で分類しており、通常はクラス A、クラス B、クラス C、クラス D の 4 つのレベルに分かれています。
レベル A : 高リスク作業領域 (無菌充填、無菌調製など)。 H14またはULPAフィルターが必要で、タンクシールが標準装備されています。
レベル B : レベル A エリアの背景環境 (無菌生産クリーン ルームなど)。 H14フィルターも必要で、液体タンクは密閉されています。
レベル C および D : 非滅菌生産エリアまたは低リスク作業エリア。 H13～H14のフィルタが使用可能で、用途に応じてシール方式を選択できます。
クラス A およびクラス B のクリーンエリアでは、液体タンクシールフィルターの使用が非常に一般的です。これは、GMP検査におけるクリーンルーム内の浮遊粒子や微生物の監視基準が厳しく、フレーム漏れがあると監視データが基準を超える可能性があるためです。
(2) 半導体・電子機器製造業
プロセスノードの縮小に伴い、半導体チップ製造における清浄度の要件は高まり続けています。
フォトリソグラフィーやエッチングなどのフロントエンド プロセス : 通常、ISO 3 ～ 4 の清浄度が必要で、ULPA (U15 ～ U16) 液体タンク シーリング フィルターを使用します。
拡散、成膜 : 通常 ISO 4-5 の清浄度が要求され、H14 または U15 の液体タンクシールフィルターが使用可能です。
後工程のパッケージングとテスト : 清浄度要件は比較的低く (ISO レベル 6 ～ 7)、フィルターのシールには H13 ～ H14 のゴム ストリップを使用できます。
半導体前工程では液槽シールフィルタの使用率が高い。ウェーハ表面のパーティクル汚染は製品の歩留まりに直接影響を与えるため、わずかなリークも無視できないからです。
(3) 病院及び医療施設
空気清浄度の要件が最も高い病院内のエリアは次のとおりです。
層流手術室 : 通常、ISO レベル 5 の清浄度が必要で、H14 液体タンク シール フィルターを使用します。手術中、手術領域は一方向の流れを維持する必要があり、フィルター設置のシール性能は術後の感染率に直接関係します。
ICU (集中治療室) : 一部の ICU では ISO 6 ～ 7 の清浄度が要求され、H14 フィルターが使用可能で、特定の要件に従って密閉方法が選択されます。
血液病棟および火傷病棟 : 免疫機能が低い患者は空気清浄度に対する要求が高く、通常は H14 液体タンク密閉フィルターが装備されています。
(4) バイオセーフティ実験室
バイオセーフティ研究所 (レベル P3 および P4) には、排気システムに対するより厳しい要件があります。排気フィルターは、病原性微生物が外部環境に漏れないようにする必要があります。
このようなシナリオでは、液体タンク シールの役割は、内部の清浄度を確保するだけでなく、有害な生物学的エアロゾルの漏洩を防ぐことでもあります。
(5) 精密製造施設および科学研究施設
精密光学製造 : 光学レンズ、レーザー、光ファイバーなどの精密製品の生産環境では、粒子状物質がミクロンレベル以下に管理されます。 ISO 4-5 のクリーン ルームには通常、液体タンク シール フィルターが装備されています。
医療機器の製造 : 植込み型医療機器および高精度診断装置の生産には、通常 ISO クラス 5 のクリーン ルームが備えられ、H14 液体タンク シール フィルターが使用されます。
ナノマテリアルの研究 : ナノマテリアルの合成と特性評価は、環境中の粒子状物質に非常に敏感です。通常はISO 3～4のクリーンルームを備え、U15以上のULPA液体タンクシールフィルターを使用しています。
(6) 食品・健康製品の製造
より高いレベルの清浄度が必要とされる食品およびヘルスケア製品業界のリンクには、次のようなものがあります。
無菌充填ライン : 乳児用粉ミルク、液体ミルク、その他の製品の無菌充填エリアには、通常 ISO クラス 5 のクリーン ルームが装備されており、H14 液体タンク シーリング フィルターが使用されます。
健康製品生産ワークショップ : GMP 要件に従って、一部の健康製品生産エリアは ISO 6 ～ 7 の清浄度レベルを満たす必要があります。特定の要件に応じてフィルターの種類とシール方法を選択できます。
4. 液体タンクのシールはどのような場合に必要ですか?
クリーン ルームで液体タンク シール フィルターを使用する必要があるかどうかを判断するには、次の側面から評価することをお勧めします。
清浄度レベルの要件 : 清浄度レベルが ISO レベル 5 以上に達した場合、液体タンク シールの使用をお勧めします。クリーン度が高くなるほど、液体タンクのシールの必要性が高くなります。
規制要件 : 医薬品 GMP クラス A およびクラス B のクリーン エリア、バイオセーフティ P3 および P4 研究所には通常、液体タンク シールを使用するための明確な要件または業界慣行があります。
プロセスの敏感さ : 半導体フォトリソグラフィー、無菌充填、精密光学処理、および粒子状物質に敏感なその他のプロセスでは、たとえ清浄度レベルの要件がわずかに低い場合でも、液体タンクのシールを優先することをお勧めします。
リーク検出要件 : プロジェクトが設置後に各フィルターの PAO リーク検出を必要とし、リーク率基準が厳格な場合、液体タンクシールフィルターの通過率は高くなります。
5. Aili工業用液体タンクシールフィルターのクリーンルームへの応用
アイリ工業は液槽密閉式高効率フィルターの分野において以下のような特徴を持っています。
効率レベルを完全にカバー
Aili工業用液体タンクシールフィルターの効率グレードは、H14およびULPA U15、U16、U17の全シリーズをカバーしており、ISOレベル5以上のさまざまなクリーンルームのニーズを満たします。
液体タンクの構造設計
アルマイト処理されたアルミニウム合金フレームを採用し、主流のクリーンルーム用FFUや空調ボックス本体のナイフエッジ構造に合わせて液タンクの形状とサイズを最適化しました。
適合するシーラント
ナイフエッジを埋め込んだ後、シーラントが流れてすべての隙間を確実に埋めるために、流動性と硬化特性に優れたポリウレタン (PU) 液体タンク シーラントを使用してください。
産業チェーン全体の独立した生産
Aili Industryは、20年以上にわたり浄化装置の分野に深く関わっており、ファンの研究開発、制御システムの開発から高効率フィルタの生産に至る閉ループ産業チェーンを構築しており、すべてのリンクで制御可能な品質を備えています。
一つ一つテストする
各液体タンクのシールフィルターは、工場から出荷される前に 1 つずつスキャンされ、漏れがないかテストされており、製薬、半導体、その他の業界のフィルター検証要件を満たすテストレポートが付属しています。
特定のクリーン ルーム シナリオにおける液体タンク シール フィルターの選択推奨事項について詳しく知りたい場合は、Aili Industrial Engineering 技術チームに連絡し、清浄度レベルと設置条件を提供して適応計画を入手してください。
6. 関連するよくある質問
HEPA の設置は、現場で確認された空気の流れの方向と設置図に従って実行する必要があります。最初にフィルターとフレームを確認し、次に設置面を清掃し、シールを均等に押し、最後に指定された動作条件で風量とシールを確認します。
HEPAの設置、建設、メンテナンス
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HEPAの設置、建設、メンテナンス
HEPAを購入する際には、少なくとも外枠サイズ、効率レベルと適用規格、定格風量、抵抗、構造、シール方法、使用環境、試験データの要件を明確にする必要があります。古いフィルターエレメントの交換プロジェクトには、設置フレームと分解および組み立て経路の情報も必要です。
HEPAの調達選択と申請
高効率フィルターの見積もりの違いは、効率レベル、フィルター材質、構造寸法、抵抗要件、シール方法、検出範囲、注文数量によって生じる場合があります。価格を比較する場合は、まず各見積が同じ技術条件に該当するかどうかを確認する必要があります。
HEPAの調達選択と申請
液体タンク高効率フィルターの取り付け品質は、シール効果と清浄度に直接影響します。取り付け前に、フィルターの外観に変形や損傷がないこと、液タンクに損傷がないこと、ボックスナイフの刃先が平坦でバリがないことを確認する必要があります。施工の際は、シール剤の注入量を液タンクの深さの70％～80％に制御し、液タンクの周囲に沿って均一かつ連続的に接着剤を注入するように注意してください。フィルターはナイフエッジに垂直に埋め込まれ、所定の位置に押し込まれる必要があります。設置後は、目視検査、PAO 漏れテスト、初期抵抗記録を実施することをお勧めします。一般的な問題には、シーラントのオーバーフロー (接着剤が多すぎる)、シーラントの不足 (接着剤が少なすぎる)、フィルターを押し込むのが困難である (傾きまたはサイズの不一致)、PAO リーク検出フレームの漏れ (挿入深さが不十分であるか、接着剤が欠落している) などがあります。 Aili工業用液体タンク高効率フィルターにはポリウレタンシーラントと設置指導資料が付属しており、エンジニアリング技術チームが設置技術指導サポートを提供できます。
HEPAの設置、建設、メンテナンス
無隔壁フィルタには、液槽用高効率フィルタと通常の無隔壁高効率フィルタが含まれます。大きな違いはフレーム構造とシール方法にあります。液タンクフィルター枠には液タンク溝があり、液状シール剤を注入して密閉します。シーラントが流れて不規則な隙間をすべて埋めます。長期信頼性が高く、ISOクラス5以上のクリーンルームに適しています。隔壁のない通常のフィルターはシールテープ押出成形によりシールされるため、構造が簡単で低コストであり、ISOクラス5以下のシナリオに適しています。同じサイズのタンクフィルターの濾過面積はわずかに小さく（約5％〜10％小さく）、価格は高く、交換作業はよりクリーンです。機種選定の際は、清浄度、漏れ検知要件、交換頻度、予算などを総合的に判断してください。 Aili Industrial は、H13、H14、U15 ～ U17 をカバーする効率レベルの 2 種類のフィルターを同時に生産しています。各ユニットはテストされており、テストレポートが発行されています。
HEPAの調達選択と申請
無隔壁フィルタには、液槽用高効率フィルタと通常の無隔壁高効率フィルタが含まれます。大きな違いはフレーム構造とシール方法にあります。液タンクフィルター枠には液タンク溝があり、液状シール剤を注入して密閉します。シーラントが流れて不規則な隙間をすべて埋めます。長期信頼性が高く、ISOクラス5以上のクリーンルームに適しています。隔壁のない通常のフィルターはシールテープ押出成形によりシールされるため、構造が簡単で低コストであり、ISOクラス5以下のシナリオに適しています。同じサイズのタンクフィルターの濾過面積はわずかに小さく（約5％〜10％小さく）、価格は高く、交換作業はよりクリーンです。機種選定の際は、清浄度、漏れ検知要件、交換頻度、予算などを総合的に判断してください。 Aili Industrial は、H13、H14、U15 ～ U17 をカバーする効率レベルの 2 種類のフィルターを同時に生産しています。各ユニットはテストされており、テストレポートが発行されています。
HEPAの調達選択と申請
V タイプの高効率フィルターは、EN1822:2009 規格の H13 および H14 レベルに達します。 H13 の合計 MPPS 効率は 99.95% 以上、局所浸透率は 0.25% 以下です。 H14 の合計 MPPS 効率は ≥99.995%、局所浸透率は ≤0.025% です。 H13 は ISO7 ～ 8 のクリーン ルーム、電子組立、食品加工、その他のシナリオに適しています。 H14はISO5-6のクリーンルーム、医薬品GMP、病院の手術室、半導体製造などの重要な場所に適しています。 V型フィルターはV型構造で設計されており、H13、H14グレードともに大風量搬送と制御可能な抵抗値を実現します。選択する場合は、清浄度レベルの要件、業界仕様、システム風量に基づいて総合的に判断する必要があります。 Aili工業用Vタイプ高効率フィルターはEN1822規格に厳密に準拠しており、効率レベルはH13およびH14をカバーしています。 H14 レベルの製品は 1 つずつスキャンされ、漏れがないかテストされ、テストレポートが提供されます。
HEPAの調達選択と申請
初期抵抗値は、新型V型高効率フィルタの定格風量下での圧力差の値（Pa）であり、選定、運転、保守の基本パラメータとなります。 V 型フィルター H13 グレードの初期抵抗は通常 ≤ 200Pa、H14 グレードの初期抵抗は通常 ≤ 250Pa です。同じ条件下では、H14 の抵抗は H13 よりわずかに高くなります。初期抵抗値は選定時のファンヘッド計算や消費電力評価に使用され、運用時の交換判断の基準として使用されます。通常、最終抵抗値は初期抵抗値の2倍に設定されます。実測の初期抵抗が大きすぎる場合は、実際の風量が定格風量と一致しているか、設置が規格化されているかを確認する必要があります。初期抵抗は運用コストに影響を与える重要なパラメータです。 Aili工業用V型高効率フィルターは低抵抗設計です。 H13の初期抵抗は≤200Pa、H14の初期抵抗は≤250Paです。各ユニットは耐性についてテストされており、テストレポートが発行されています。
HEPA高効率フィルターパラメータ
V タイプの高効率フィルターは、一定風量 (CAV) と可変風量 (VAV) の両方の HVAC システムに適しています。 CAVシステムの風量は一定であり、動作条件が安定しています。 V型フィルターは設計風量に応じて選択することで低抵抗、高効率を発揮します。 VAV システムの風量は、負荷の変化に応じて動的に調整されます。 V字型フィルターは構造が強く、幅広い風速に適応します。風速変動条件に適応し、250Paの初期抵抗条件下で風速は2.5m/sに達します。 VAV システムを選択する場合は、最大設計風量を基準として使用し、ファン圧力ヘッドの 20% ～ 30% のマージンを確保する必要があります。リアルタイムで抵抗を監視するために差圧トランスミッターを構成することも推奨されます。 V型フィルターの効率グレード(H13/H14)は風量システムの適応性に影響しません。 Aili Industrial V タイプ高効率フィルターは堅牢な構造で、定格風量 2400 ～ 4200m³/h をカバーし、CAV および VAV システムに適しています。各ユニットは 1 台ずつスキャンされ、漏れがないかテストされ、テストレポートが発行されます。
HEPAの調達選択と申請
大風量V型高効率フィルターの選択には、定格風量、全体サイズ、初期抵抗、効率レベルの4つの主要なパラメータを総合的に考慮する必要があります。共通仕様としては、定格風量850～4200m³/h、外形寸法287×592×292mm～1220×610×292mm、初期抵抗200Pa以下と低い。選定手順としては、システムの総風量の計算、単体の必要風量の決定、パラメータ表による全体寸法の選定、設置スペースの確認（特に奥行き方向、標準は292mm）、効率レベルの選定（H13またはH14）、初期抵抗の確認、交換サイクルの評価などが含まれます。深さ寸法、効率レベルによる風量への影響、初期抵抗と最終抵抗の差を無視しないように、モデルを選択する際には 10% ～ 20% の風量マージンを確保することをお勧めします。 Aili Industrial は、定格風量が 850 ～ 4200m³/h をカバーする、さまざまな寸法と V 字型構成を提供します。 EN1822規格に厳密に準拠しています。各ユニットは 1 台ずつスキャンされ、漏れがないかテストされ、テストレポートが発行されます。
HEPAの調達選択と申請
V型高効率フィルタは、複数のフィルタエレメントを隔壁のないV字型に配置しており、同一外形寸法において一般的な平板型フィルタに比べろ過面積が3～5倍に拡大します。その基本原理は、フレームの奥行き方向を最大限に活用し、フィルター素材を2次元平面から3次元空間に拡張することです。ろ過面積の増加により、低抵抗（初期抵抗は 200Pa 以下に抑えられます）、大風量（定格風量は 2400 ～ 4200m³/h に達します）、高い塵埃保持能力、フィルターの数の減少などの実用的な利点がもたらされます。 V タイプ フィルターは、空調ボックスの端、コンパクトな HVAC システム、クリーンな工場の戻り空気ダクト、既存システムのアップグレードなど、限られたスペースでの大風量シナリオに適しています。選定の際は設置深さの確認、風量に応じたV字形状の選定、システム抵抗の確認が必要です。 Aili 産業用 V タイプ高効率フィルタは、EN1822 規格に厳密に準拠しており、3V、4V、および 5V 仕様で入手可能です。各ユニットは 1 台ずつスキャンされ、漏れがないかテストされ、テストレポートが発行されます。
HEPAの調達選択と申請
V-Bank高効率フィルタ（V型複合高効率フィルタ）は、複数のフィルタエレメントを隔壁のないV字型構造で使用します。定格風量は2400-4200m³/hに達します。一定風量 (CAV) および可変風量 (VAV) HVAC システムに適しています。一般的なアプリケーション シナリオには、病院の手術室や ICU、医薬品の GMP ワークショップ、電子および半導体のクリーン ワークショップ、食品加工工場、データ センター、ホテル、学校、その他の商業ビル、さらには発電所などの産業用換気施設が含まれます。 V バンク フィルターは、HVAC システムの空調ボックスの端で高効率濾過または ULPA 事前保護として使用できま�リチウム電池、パネルディスプレイ、電子機器などのアプリケーション向けに特別に設計されています。モーター、ファン、フィルター、制御システムをコンパクトな構造に統合し、装置内に安定した制御可能なクリーンエアを提供します。
HEPAの調達選択と申請
V型隔壁レス高効率フィルタは、複数の隔壁レスフィルタエレメントをV字型構造に配置したものです。濾過面積は通常のフィルターの3〜5倍に達し、定格風量は2400〜4200m³/hに達し、初期抵抗は≤200Paまで低くなります。大風量システムにおいては、一般的な高効率フィルタに比べ、Vタイプフィルタはフィルタ枚数の削減、設置スペースの節約、設置コストの削減、運転エネルギー消費量の削減、交換サイクルの延長などのメリットがあります。効率レベルは H13 および H14 をカバーしており、空調ボックス、電子半導体、製薬および医療、発電所の末端濾過などの大風量シナリオに適しています。選定の際は、定格風量、初期抵抗、効率レベル、全体寸法などのパラメータに注意する必要があります。 Aili Industrial V タイプのパーティションレス高効率フィルターは、EN1822 規格に厳密に準拠しており、大風量設計、低抵抗、高防塵容量、オプションのマルチマテリアルフレーム、およびユニットごとの検査サービスを提供します。
HEPAの調達選択と申請
V型高効率フィルター(V-Bank)は、複数のフィルターエレメントを隔壁のないV字構造で使用しています。濾過面積は通常のフィルターの3〜5倍に達します。設計風量は隔壁付高効率フィルターに比べ2倍以上です。初期抵抗は ≤200Pa まで低くすることができます。 Vタイプフィルタは一般的な高効率フィルタに比べ、同一風量下での設置工数が少なく、設置スペースが小さく、作�バーしており、主に空調ボックスの末端濾過、大風量 HVAC システム、電子半導体、製薬、医療、発電所などのシナリオで使用されます。 Aili産業用Vタイプ高効率フィルターはEN1822規格に厳密に準拠しており、複数の仕様を提供し、1つずつテストされ、カスタマイズされた生産をサポートしています。
HEPAの調達選択と申請
隔壁のない高効率フィルターの厚さ（50mm、70mm、90mm、120mm）とフィルター面積は、空気容量、初期圧力差、ダスト保持容量、寿命に直接影響します。 70mm は FFU の標準構成であり、占有スペースとパフォーマンスのバランスが取れています。 90mmと120mmはエアコンボックスなどのスペースに余裕のある機器に適しており、フィルター面積が大きく交換サイクルも長くなります。選
HEPAの調達選択と申請
隔壁のない高効率フィルターは、超極細ガラス繊維濾紙とホットメルト接着剤によるライン分離技術を採用しており、H13、H14、ULPA U15、U16、U17の効率レベルの全範囲をカバーできます。 EN1822 規格によると、H13 効率 ≥ 99.95%、H14 ≥ 99.995%、U15 ≥ 99.9995%、U16 ≥ 99.99995%、U17 ≥ 99.999995%。異なるレベルは異なる清浄度要件に対応します。H13 は ISO 7 ～ 8 のクリーン ルームに適しており、H14 は ISO 5 ～ 6 のクリーン ルームに適しており、H13 と H14 の局所浸透率は 10 倍異なります。 ULPAは0.1～0.2μmの粒径範囲で効率評価を実施しており、ISOレベル4以上の高清浄度環境に適しています。モデルを選択する場合は、清浄度レベル、業界標準、システム風量、予算に基づいて総合的なバランスを考慮する必要があります。 Aili Industrial は業界チェーン全体にわたって独立した生産能力を備えており、EN1822 規格に厳密に従っています。各フィルターは 1 つずつスキャンされ、漏れがないかテストされ、テストレポートが提供されます。 H13、H14、U15-U17 のフルシリーズのカスタマイズをサポートします。
HEPAの調達選択と申請
FFU、EFU、クリーンシェッド等のクリーン機器の設置スペースが限られている場合には、仕切りのない高効率フィルターをご検討ください。隔壁のない構造は、接着ラインを使用してフィルター素材の折り目距離を固定し、フィルターの厚さ、フィルター面積、内部構造の点で一定の設計スペースを確保します。実際の選定はフィルターの厚みだけでなく、濾過効率、目標風量、初期抵抗、ファン静圧、シール方法、その後の交換スペースなどを総合的に考慮して選定する必要があります。 Aili Industryは、機器の設置寸法と動作パラメータに基づいて、仕切りなしで高効率フィルターの仕様を適合させることができます。
HEPAの調達選択と申請
パーティションレスの高効率フィルターは、半導体、電子製造、太陽光発電、製薬、研究室、精密製造などのクリーン環境でさまざまな仕様に応じて使用でき、FFU、EFU、クリーンシェッド、クリーンルームターミナル給気装置と組み合わせて使用されることがよくあります。用途が異なれば、ろ過効率、風量、抵抗、サイズ、厚さ、シール方法などの要件も異なるため、特定の機器とクリーン環境に基づいて選択する必要があります。 Aili Industry は、業界のアプリケーション、装置の構造、プロジェクトのパラメーターに基づいて、パーティションを作成せずに高効率フィルターの仕様を適合させることができます。
HEPAの調達選択と申請
隔壁のない高効率フィルターは通常、従来の紙隔壁やアルミ隔壁を使用せず、濾材の折り曲げ、接着ライン分離、外枠シール構造を採用しています。主な仕様としては、外形寸法、厚み、濾過効率、風量、初期抵抗、外枠材質、シール方式などが挙げられます。FFU、EFU、クリーンシェッド、クリーンルームターミナル給気装置に使用する場合は、設置スペース、ファン性能、目標風量に応じてマッチングする必要があります。アイリ工業では、装置のサイズ、風量、濾過効率、使用環境に応じて、仕切りのない高効率フィルターの仕様と構成をご提供いたします。
HEPAフィルターの構造
