ما هي الملوثات التي يجب التركيز عليها بالمرشحات الكيميائية في منطقة الطباعة الحجرية؟

تعد حساسية عملية الطباعة الحجرية الضوئية للبيئة بارزة نسبيًا في تصنيع أشباه الموصلات. عادةً ما يكون التحكم في الجسيمات محكمًا، لكن التلوث الجزيئي للهواء (AMC) يمكن أن يؤثر أيضًا على التعرض وجودة الصورة.

إن AMC الذي يحتاج إلى الاهتمام في مجال الطباعة الحجرية ليس مجرد 'غاز' عام. تؤثر المكونات المختلفة على عملية الطباعة الحجرية الضوئية بطرق مختلفة ولها أهداف تحكم مختلفة. عند الاختيار، يجب عليك أولاً التأكد من ماهية الملوثات الرئيسية، ثم تحديد وسائط التصفية الكيميائية المقابلة. يرجى الرجوع إلى التصنيف المحدد مناقشة ما يشير إليه تلوث AMC في الهواء .

بدءا من متطلبات المعدات

نقطة البداية لتكوين المرشحات الكيميائية في منطقة الطباعة الحجرية هي المتطلبات المحددة لمعدات الطباعة الحجرية والعملية.

قد تكون الكائنات الحساسة لأنظمة العمليات المختلفة مختلفة. تتميز الطباعة الحجرية العميقة فوق البنفسجية (DUV)، والطباعة الحجرية فوق البنفسجية القصوى (EUV)، والطباعة الحجرية ذات شعاع الإلكترون بحساسية مختلفة تجاه AMC والمكونات المثيرة للقلق. يجب أن يستخدم المشروع مواصفات المعدات المقابلة وبيانات الفحص في الموقع، ولا يمكنه نسخ تكوين خطوط الإنتاج الأخرى.

لا يمكن لأهداف إزالة روائح الهواء العادية أن تحل محل حماية عملية التركيز المنخفض. مستويات التركيز المثيرة للقلق في منطقة الطباعة الضوئية عادة ما تكون أقل بكثير من عتبة حاسة الشم البشرية، ويجب استخدام طرق الكشف وخطط الترشيح المناسبة للتركيز المستهدف. لمعرفة الاختلافات المحددة، يرجى الرجوع إلى مناقشة لماذا يجب اختيار المرشحات الكيميائية وفقا للغازات المستهدفة .

يتم أيضًا إطلاق مقاومات الضوء ومواد الطلاء. قد تؤدي مقاومات الضوء، والطلاءات المضادة للانعكاس، والمخففات، والمطورات إلى إطلاق أبخرة عضوية أثناء الاستخدام. يقع هذا الجزء من مصدر الإطلاق داخل المعدات أو بالقرب من محطة الطلاء، ويحتاج إلى تقييمه بالتزامن مع مسار تدفق الهواء.

فئات الملوثات الرئيسية

وفقًا للأشياء الحساسة الشائعة في عملية الطباعة الحجرية الضوئية، تستحق الأنواع التالية من الملوثات اهتمامًا خاصًا.

غاز قلوي. تعد المكونات القلوية مثل الأمونيا والأمينات من أكثر مركبات AMC شيوعًا في مجال الطباعة الحجرية الضوئية. قد تؤدي الكميات الضئيلة من المواد القلوية إلى تحييد الحمض الضوئي الموجود في مقاوم الضوء، مما يؤثر على دقة النمط بعد التعرض. تختلف الخصائص الجزيئية للأمونيا والأمينات المختلفة، ويجب التحقق من مدى ملاءمة الوسط بشكل منفصل. لمعرفة الاختلافات المحددة، يرجى الرجوع إلى كيفية اختيار المرشحات الكيميائية والمرشحات للتلوث بالغاز الأميني مناقشة ما إذا كانت المرشحات الكيميائية يمكنها إزالة الأمونيا من الهواء .

الغاز الحمضي. قد تؤدي المكونات الحمضية مثل ثاني أكسيد الكبريت وكلوريد الهيدروجين وأكاسيد النيتروجين إلى تآكل أو تلويث المكونات البصرية للمعدات أو مقاوم الضوء أو أسطح الرقائق. قد يتم إدخال الانبعاثات الصناعية الخارجية أو العمليات أو عوامل التنظيف. لمعرفة الاختلافات المحددة، يرجى الرجوع إلى مناقشة شروط استخدام ترشيح غاز كلوريد الهيدروجين التي يجب الاهتمام بها .

بخار عضوي. يمكن أن تترسب المكونات العضوية مثل المواد المتطايرة والمذيبات والملدنات والسيلوكسانات على سطح العدسات البصرية أو الرقائق لتكوين أغشية رقيقة، مما يؤثر على نفاذية الضوء أو العمليات اللاحقة. تعتبر مقاومة الضوء وعوامل التنظيف والمطورين المستخدمة في مجال الطباعة الحجرية الضوئية من المصادر الشائعة. لمعرفة طرق الاختيار المحددة، يرجى الرجوع إلى مناقشة حول كيفية اختيار مرشح كيميائي للهواء للتلوث بالتولوين .

المنشطات. قد تتواجد مركبات المنشطات مثل البورون والفوسفور بكميات ضئيلة في الهواء في منطقة الطباعة الحجرية الضوئية، مما يؤثر على الخواص الكهربائية للجهاز. غالبًا ما تتطلب هذه المكونات طرق كشف متخصصة ووسائط ترشيح.

قم بإدراج هذه الأنواع من الملوثات بشكل منفصل، ثم حدد الأولويات بناءً على منطقة العملية وبيانات الكشف. لا تحتاج كل منطقة طباعة حجرية إلى التحكم في جميع الفئات في وقت واحد.

طرق التعرف على الملوثات الرئيسية

لا يمكن أن يعتمد تكوين المرشح الكيميائي في مجال الطباعة الحجرية الضوئية على الخبرة وتطبيق القائمة فقط.

الاختبار أولا. أخذ عينات من منطقة الطباعة الحجرية الضوئية ومدخل الهواء النقي للكشف عن المكونات المستهدفة مثل المواد القلوية والحمضية والعضوية والمنشطات. ينبغي أن تغطي نقاط أخذ العينات المنطقة المجاورة للمعدات الرئيسية ومناطق الهواء العائد ومداخل الهواء النقي. للحصول على طرق محددة، يرجى الرجوع إلى ما إذا كان يجب أخذ عينات من الهواء قبل اختيار مرشح كيميائي . ناقش

التحقق من مواصفات المعدات. عادةً ما توفر الشركات المصنعة لمعدات الطباعة الحجرية مكونات حساسة ومتطلبات تركيز لـ AMC. يجب أن تترجم وثائق المشروع هذه المتطلبات إلى مدخلات لاختيار المرشح الكيميائي.

التمييز بين المدخلات الخارجية والإصدار الداخلي. إذا كان المصدر الرئيسي هو الهواء النقي، فركز على قسم الهواء النقي؛ إذا كان المصدر الرئيسي هو الإطلاق الداخلي للمعدات، فيجب مراعاة ترشيح الدورة الدموية أو حماية نهاية المعدات. لمعرفة الاختلافات المحددة، يرجى الرجوع إلى لماذا يحتاج MAU إلى تكوين قسم المرشح الكيميائي و مناقشة ما يمكن معالجة التلوث المحلي الذي يمكن لـ FFU بالإضافة إلى المرشح الكيميائي معالجته .

يجب أن تتطابق قدرات الكشف. قد يكون مستوى التركيز المثير للقلق في منطقة الطباعة الحجرية الضوئية أقل، ويجب أن يفي حد الكشف لطريقة الكشف بالمتطلبات. لمزيد من التفاصيل، يرجى الرجوع إلى مناقشة سبب إدراج تقارير أداء المرشح الكيميائي لغازات مستهدفة محددة .

مخطط الترشيح وتنسيق النظام

بعد تحديد الملوثات الرئيسية، يمكن تكوين قسم الترشيح الكيميائي المقابل.

معالجة قسم الهواء النقي. عندما يكون المدخل الخارجي هو المصدر الرئيسي، قم بإعداد قسم الترشيح الكيميائي في وحدة الهواء النقي. يتم تحديد نوع وسائط الفلتر بناءً على الملوثات المكتشفة. للحصول على تكوين محدد، يرجى الرجوع إلى وصف الفلتر الكيميائي لصندوق MAU .

تصفية الدورة الدموية. عندما تتراكم الإطلاقات الداخلية أو المدخلات الخارجية في المنطقة النظيفة، يمكن إنشاء قسم ترشيح كيميائي على مسار دوران الهواء الراجع أو FFU. لمزيد من التفاصيل، يرجى الرجوع إلى تعليمات للمرشحات الكيميائية المقدمة مع FFU .

حماية من جانب الجهاز. تعتبر التصميمات الداخلية لمعدات الطباعة الحجرية حساسة لـ AMC وقد تتطلب ترشيحًا كيميائيًا موضعيًا مستقلاً. بالنسبة للتطبيقات على جانب الجهاز، يرجى الرجوع إلى مناقشة حول سبب حاجة EFU إلى المرشحات الكيميائية الداعمة .

يجب مراعاة مقاومة النظام. ستؤدي إضافة قسم الترشيح الكيميائي إلى زيادة المقاومة الإجمالية للنظام. من الضروري التحقق من هامش المروحة للتأكد من أن حجم إمداد الهواء يلبي المتطلبات. للحصول على طرق محددة، يرجى الرجوع إلى مناقشة مدى تأثير المقاومة المضافة للمرشح الكيميائي على زيادة استهلاك المروحة للكهرباء .

قد تتطلب الملوثات المتعددة تكوينات مشتركة. في حالة وجود غاز قلوي وبخار عضوي في نفس الوقت، فقد يلزم وضع طبقات مختلفة من الوسائط، أو يمكن استخدام مواد ترشيح مركبة. لمعرفة الاختلافات المحددة، يرجى الرجوع إلى الغرفة النظيفة ملوثة بالغاز الحمضي والمذيبات في نفس الوقت. مناقشة حول كيفية الجمع بين محاليل الترشيح .

تتبع الجري

يتطلب تأثير المرشحات الكيميائية في منطقة الطباعة الحجرية الضوئية تتبعًا طويل المدى.

تعد اتجاهات تركيز المخرج أكثر أهمية من القراءات الفردية. عادة ما تكون كفاءة مادة المرشح الجديدة عالية عند إدخالها لأول مرة. ومع زيادة وقت التشغيل، قد يزيد تركيز المخرج. افحص المنفذ بانتظام، وحدد توقيت الاستبدال بناءً على وقت التشغيل وحمل المدخل. للحصول على تقييم محدد للحياة، يرجى الرجوع إلى مناقشة مدة بقاء المرشحات الكيميائية .

لا يمكنك الحكم بمجرد الضغط على الفارق. قد لا تتغير مقاومة المرشح الكيميائي كثيرًا على مدار عمره، ولكن قد تكون قدرة معالجة الغاز قد انخفضت. لا يعني اختلاف الضغط الطبيعي أن المنفذ يصل إلى المستوى القياسي. لمعرفة الاختلافات المحددة، يرجى الرجوع إلى مناقشة ما إذا كان من الممكن استبدال الفلتر الكيميائي بناءً على فرق الضغط .

تسجيل ظروف التشغيل وتاريخ الاستبدال. يجب تسجيل تركيز المدخل وحجم الهواء ووقت التشغيل وأسباب الاستبدال. إذا تغير التأثير لاحقًا، فيمكن أن يساعد في تحديد ما إذا كان الأمر يتعلق باستهلاك الوسائط أو مشكلات الواجهة الأمامية أو التغييرات في ظروف العمل.

مثال حكم المشروع

بعد تشغيل المعدات لفترة من الوقت في منطقة معينة من الطباعة الضوئية، وجد أن دقة بعض دفعات الرسومات متقلبة.

تم التحقق من أن التحكم في الجسيمات طبيعي ولم يكن هناك تغيير كبير في معلمات المعدات والعملية. وكشف المزيد من الاختبارات لمكونات الهواء أن تركيز الأمونيا بالقرب من معدات الطباعة الحجرية كان مرتفعًا نسبيًا، وكان المصدر مرتبطًا بعملية التنظيف المحيطة ومدخل الهواء النقي الخارجي.

اتجاه التعديل: أضف قسم ترشيح كيميائي للغازات القلوية في قسم الهواء النقي، وقم بإعداد ترشيح مساعد على مسار الهواء الراجع لمعدات الطباعة الحجرية. قبل تكوين قسم المرشح، تم إعادة فحص تركيز الأمونيا وحجم الهواء وظروف درجة الحرارة والرطوبة. بعد التعديل، انخفض تركيز الأمونيا وانخفضت تقلبات دقة الرسومات.

توضح هذه الحالة أنه يجب تحديد الملوثات الرئيسية للمرشح الكيميائي في منطقة الطباعة الحجرية الضوئية بناءً على الكائنات الحساسة للعملية وبيانات الكشف. تنطوي عند اختيار سلسلة منتجات المرشحات الكيميائية ، يوصى بتقديم متطلبات المعدات وبيانات الاختبار وظروف النظام إلى المورد للتحقق منها.

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

حول حزمة الترشيح الكيميائي الخاصة بشركة Aili Industrial لمنطقة الطباعة الحجرية الضوئية

إن جوهر تكوين المرشحات الكيميائية في منطقة الطباعة الحجرية الضوئية هو مطابقة الأشياء الحساسة للمعدات ومصادر الملوثات وظروف النظام.

تتمتع Aili Industrial بقدرات تصنيع مستقلة في مجال المرشحات والمحركات والمراوح وأنظمة التحكم ومعالجة الصفائح المعدنية، ويمكنها توفير سلسلة منتجات المرشحات الكيميائية ومعدات إمداد الهواء الداعمة. بالنسبة لمشاريع منطقة الطباعة الحجرية الضوئية، يمكن الجمع بين مواصفات المعدات والغازات المستهدفة ونطاقات التركيز وأحجام الهواء ومساحات التثبيت للمساعدة في التحقق من نوع مادة المرشح والتكوين الهيكلي. عندما يتم مطابقة المرشح مع MAU، FFU، EFU وغيرها من المعدات، يمكن تأكيد المقاومة والواجهة وطرق الصيانة بشكل موحد.

المنتجات ذات الصلة:سلسلة منتجات الفلتر الكيميائي、مرشح كيميائي مربع MAU、يأتي FFU مع مرشح كيميائي . إن توفير قائمة بالملوثات المستهدفة ونطاقات التركيز وظروف النظام عند طلب عرض أسعار يمكن أن يساعد في تأكيد حل الترشيح المناسب. يخضع الاختيار المحدد للوثائق الفنية ونتائج الاختبار التي يؤكدها المشروع.