Aili産業・設備メーカー様のサポート事例

半導体装置
風速均一性カスタマイズ事例

機器の要件に基づいて、ファン、制御システム、ボックスの設計を共同で調整します。

半導体装置メーカーが提起する風速均一性要件に対応して、愛利工業は関連する研究開発担当者を組織して、コンポーネント構成と機械全体の構造を調整するプロセスに参加するように組織し、サポート製品はプロジェクトの要件を満たしました。

顧客タイプ
半導体装置メーカー
プロジェクト 目標
風速 均一性
調整方向
ファン、コントロール、キャビネット
Aili産業用半導体装置へのクリーンエア供給の応用図。空気供給ユニットの上部は空気入口であり、下部は濾過された空気の出口です。
半導体装置へのクリーンエア供給の応用図。特定の製品構造と構成は、プロジェクトの要件に従って確認されます。
顧客の要件

供給空気の性能を装置の適用条件に適合させる

ある半導体装置メーカーは、クリーンエア供給を支援する製品の開発にあたり、風速均一性の要求を打ち出し、自社装置の使用条件に合わせたエア供給性能を求めていました。

Aili Industryは、顧客が提案した均一性目標を共同開発要件として取り入れ、ファンの動作、制御パラメータ、ボックスの設計を考慮し、関連コンポーネントと機械全体の共同調整を実行します。

社内共同開発

ファン、制御システム、キャビネットが連携して均一性を調整します。

Aili Industrialは、ファン、制御システム、機器の研究開発担当者を組織し、一緒に参加し、関連コンポーネントの動作特性を機械全体の構造と考慮し、構成の調整と構造の変更を結び付けました。

ファン

動作特性は総合評価に組み込まれます

全体的な空気供給目標に関連した電源構成の調整を維持するために、ファンの動作特性、制御パラメータ、およびボックスの設計を一緒に検討してください。

制御システム

動作調整とエア供給対象の接続

制御システムは機器の研究開発担当者と直接通信して、同じ均一性要件に沿った関連する制御調整を確認し、コンポーネントの動作が全体の計画と一致するようにします。

キャビネット設計

構造変更とコンポーネント構成の調整

筐体の設計はファンや制御系の調整と合わせて進められるため、構造変更や部品構成を個別に確認する必要がありません。

内部コラボレーションによってもたらされるプロジェクトの価値:関連する研究開発担当者が直接コミュニケーションをとり、コンポーネントの構成と構造の変更を結び付けます。この協調的なアプローチは、複数の翻訳、重複した確認、インターフェースの手直しを削減し、開発対応とプロジェクトコストを調整するのに役立ちます。

アイリ工業の製造能力

関連コンポーネントと完全な機械は社内で開発および製造されています。

Aili Industrial には 30,000 平方メートルの製造拠点があり、その研究開発と製造はモーター、ファン、制御システム ソフトウェアとハ​​ードウェア、フィルター、板金、完全な機械の組み立てとテストをカバーしています。プロジェクトをサポートする機器は、同じソリューションでコンポーネントの構成、構造インターフェース、動作要件をチェックして、性能のマッチングとその後の製造をサポートできます。

Aili産業用制御システムのタッチスクリーン操作の実際のショット、動作パラメータ設定インターフェイスを示しています

制御操作とパラメータ設定

制御インターフェイスとパラメータ設定は、機器の動作モードとインターフェイス要件に一致するように、内部技術ドッキング中に共同で確認されます。

アイリ工業の板金曲げ加工の様子。オペレーターは曲げ装置の前で構造部品を加工します。

箱および板金構造の製造

コンポーネントのレイアウト、設置インターフェース、構造図を組み合わせて、板金加工と完全な機械の組み立てを接続します。

Aili Industrial FFUの完全な機械テストの実際のショット。空気供給ユニットはテスト機器とコンピュータに接続されています。

クリーンエア供給設備の全数検査

製品およびプロジェクトの要件に応じて、対応する動作および性能検査を実施し、具体的なテスト内容は技術段階で共同確認されます。

上記は、Aili Industrial 関連の製造およびテストの実際の写真で、対応する機能を示しています。この場合、それらは顧客の写真ではありません。

プロジェクトの成果

サポート製品はプロジェクトの風速均一性要件を満たしています

ファン、制御システム、ボックス設計を共同で最適化した後、サポート製品は、関連コンポーネントと機械全体の共同調整の開発方法を反映して、プロジェクトで要求される風速の均一性を達成しました。

結果は、このプロジェクトの構成
と検証条件に一致します。

新しい機器プロジェクトでは、均一性目標、測定ポイント、作業条件、合格基準を共同で確認し、対応する製品構成と検証の取り決めを評価する必要があります。

同様の新しいプロジェクトに関する技術的なコミュニケーション

まずは目的や測定箇所、作業条件などを共同で確認し、設定を進めていきます。

同様のプロジェクトは、内部関節調整の開発方法から学ぶことができます。各種機器の設置条件や稼働状況にはそれぞれ特徴があります。技術コミュニケーションの際には、以下の事項についてご説明いただければ幸いです。 Aili Industry は、プロジェクト要件に基づいてさらなる確認が必要なフィードバックを提供します。

半導体装置技術ドッキングポイント 風速均一化プロジェクト
確認事項連絡内容ドッキング方向の給気
目標目標の空気量または速度、有効な空気供給範囲、および均一性の要件。評価すべきエア供給性能と構成の方向性を明確にする。
測定場所試験面、試験距離、測定点の配置。テスト場所をデバイスの実際の対象領域に対応させます。
設備の稼働状況設置スペース、吸排気条件、フィルター構成、機器の稼働状況。構造、抵抗、設置条件による影響を併せてご確認ください。
制御状態電源、操作ギア、速度制御信号、機器連携要件。性能評価時に制御・動作状況を確認します。
合格基準計算能力、合格基準、および均一性に関する記録要件。相互に確認した条件に基づいて技術的なドッキングと検証通信を実施します。
関連製品と技術サポート

機器設置位置から対応するクリーンエア供給製品を接続します。

製品構成や選定範囲を知りたい場合は、EFUシリーズ、FFUシリーズをご覧ください。具体的な整合方向は、設置場所、給気範囲、フィルタ構成、機器制御要件に基づいて確認してください。

デバイス側 EFU

装置内部および局所領域にクリーンな空気を供給するには、設置スペース、確保された開口部、目標の空気供給性能、フィルタ構成、装置インターフェースを重点的に確認してください。

EFU 製品範囲を見る

FFUファンフィルターユニット

クリーンルーム用のフィルター付き空気供給パッケージと対応する機器は、設置場所、風量、フィルター抵抗、動作モード、制御要件に基づいて選択されます。

FFU 製品範囲を見る
プロジェクトに関するよくある質問

均一性マッチングと技術確認について

このケースの開発方法、結果の適用条件、および新しいプロジェクトのドッキングに焦点を当てて、最初にいくつかの共通の問題を明確にします。

この場合の風速均一性の結果を他のモデルにそのまま使用できますか?

この事例の結果は、本プロジェクトの製品構成および検証条件に該当します。その他の機器項目については、均一性目標、テスト面、測定点、作業条件、合格基準を再確認し、対応する構成を評価する必要があります。

この場合、風速の均一性を調整するにはどうすればよいでしょうか?

Aili Industrialは、ファン、制御システム、機器の研究開発担当者を組織して一緒に参加し、ファンの動作特性、制御パラメータ、ボックスの設計を考慮し、顧客が提案した均一性の目標に沿って共同調整を実施しました。

新規プロジェクトの場合、最初に確認すべき検証条件は何ですか?

まずは目標とする風量や速度、均一性の要件、測定場所や装置の設置状況などを説明し、操作装置、フィルター構成、試験方法、合格口径などを合わせて確認することをお勧めします。

Aili Industrial に連絡した後、どのような技術的なフィードバックが得られますか?

装置の使用法、設置図、空気供給要件についてお知らせください。 Aili Industryは、プロジェクトの条件に基づいて、選択と構成の提案、必要な追加の技術情報、図面とインターフェースのドッキング指示に関するフィードバックを提供し、フォローアップのプロトタイプと検証の取り決めについて連絡します。

半導体装置プロジェクトのコミュニケーション

機器の空気供給要件については、Aili Industrial にお問い合わせください。

装置の用途、設置図、空きスペース、目標風量、風速均一性、ろ過構成、制御要件などをお知らせください。情報はまだ完全ではありません。最初にアプリケーション シナリオと現在の主なニーズについて説明してください。

Aili Industrialは、プロジェクトの条件に基づいて、選択と構成の提案、補足が必要な技術情報、図面とインターフェースの確認指示についてフィードバックを提供します。ファン、制御システム、フィルター、構造、機械一式の研究開発と製造の社内連携に基づいて、性能のマッチング、プロトタイプの検証、その後の調達手配について共同で議論します。

プロジェクトドッキングのフィードバック

  • 製品の選択と構成の提案
  • 必要な追加の技術条件
  • 図面、構造、制御インターフェースで方向性を確認
  • プロトタイプと検証の通信手配
Aili Industrial に連絡してプロジェクトのニーズを伝えます

nancy@ailigy.com

Aili Industrial は、FFU、EFU、HEPA/ULPA エア フィルター、高効率給気ベント、ファン ボックス、その他のクリーン エア機器を開発、製造しています。モーター、ファン、制御システム、フィルター、および完全な機械サポート機能を利用して、クリーン ルームおよび生産設備プロジェクトの選択とカスタマイズのサポートを提供します。

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