EFUの選び方は？どのようなパラメータを考慮する必要がありますか?
EFU（装置ファンフィルターユニット）は主に装置内や局所へのクリーンエアのろ過と給気のために使用されます。
EFUは通常の標準化された機器とは異なり、特定の機器内に設置する必要があるため、製品サイズやモーター出力だけで選ぶことはできません。
適切な EFU では、以下を考慮する必要があります。
設置スペース、風量、風速、フィルター、風圧、モーター、ファン、制御方式、機器インターフェース。
一部の半導体、太陽光発電、リチウム電池、パネルディスプレイ、電子製造装置では、特定のプロセス要件に基づいて製品の調整が必要になる場合があります。
では、EFUはどのように選べばよいのでしょうか？
1. まず、EFU が設置されている場所を決定します。
これは EFU 選択の最初のステップです。
製品を決定する前に、次の点を明確にする必要があります。
EFUはどこに設置されますか?
例えば：
デバイスの上部
デバイス側
装置の内部
プロセスチャンバーの近く
地元のクリーンエリア
自動化装置の内部
設置場所により商品構造も異なる場合がございます。
特に機器の内部設置の場合は、次の重要な確認が必要です。
長さ、幅、高さ、設置方法。
2. EFUの設置可能スペースを確認する
デバイス側 EFU は通常、デバイスの内部スペースによって制限されます。
したがって、選択する前に次のことを確認することをお勧めします。
取り付け長さ
設置幅
最大許容高さ
吸気スペース
換気スペース
メンテナンススペース
例えば、機器内部に設置できるのは高さ70mm程度の製品のみであり、通常構造のEFUを直接設置できない場合もあり、超薄型構造を検討する必要があります。
EFU製品開発プロセスにおいて、愛利工業は機器の設置スペースに応じて製品構造、モーター、ファン、フィルター、内部空気流路を総合的にマッチングさせます。
一部の EFU 製品の高さは約 70 mm に達することがあり、一部の機器のスペースが限られているシナリオに適しています。
3. 必要な空気量を決定します。
風量は EFU の選択にとって重要なパラメータです。
簡単に言えば:
風量によって、EFU が単位時間あたりに供給できる空気の量が決まります。
機器が異なれば、必要な空気量も異なります。
通常、風量には次の組み合わせが必要です。
装置内部空間
給気エリア
プロセス要件
清潔さの要件
風速要件
空気出口エリア
確認する。
したがって、機器のサイズのみに基づいて EFU 風量を直接決定することはお勧めできません。
4. 目標風速を決定する
機器に局所空気流速に関する明確な要件がある場合、選択段階で目標風速を決定する必要があります。
例えば：
0.Xm/秒
または、装置のプロセス要件に応じて特定の風速範囲を決定します。
風速は風量、吹出口面積、気流構造に関係します。
したがって：
風速を決めるときは、風量と吹き出し面積の両方を考慮する必要があります。
一部の半導体装置、リチウム電池装置、精密製造装置では、風速が EFU 選択の重要なパラメータとなる場合があります。
5. HEPA と ULPA のどちらを使用するかを決定します
EFU は通常、清浄度要件に基づいて対応するフィルターを使用して構成できます。
一般的な選択肢は次のとおりです。
HEPAフィルター
ULPAフィルター
特定の選択肢は以下と組み合わせる必要があります。
清潔さの要件
目標濾過効率
風量
フィルター抵抗
取付寸法
装置内部空間
判断を下す。
すべての EFU を同じフィルターで構成する必要はありません。
6. フィルターのサイズも EFU の構造に影響します
これは、デバイス側 EFU に関する見落とされやすい問題です。
フィルターは濾過性能に影響を与えるだけでなく、ある程度の設置スペースも必要とします。
機器の内部の高さが非常に制限されている場合は、次のことも考慮する必要があります。
フィルター厚 + ファン高さ + モーターサイズ + エアフローチャネル + ボックス構造
したがって、超薄型 EFU の設計では、通常、単にキャビネットの高さを下げるだけではなく、内部構造の再考が必要になります。
7. 風圧要件を決定する
風量と風速に加えて、風圧も考慮する必要があります。
空気が通過するため、
ファン → 内部エアダクト → フィルター → 排気エリア
途中で抵抗もあるでしょう。
特にフィルターには一定の抵抗があるため、ファンは十分な圧力を提供する必要があります。
これは単純に次のように理解できます。
目標風量 + システム抵抗 → ファンの動作点を決定します。
したがって、EFU を選択するときは、単に次のように言うことはできません。
「どのくらいの風量が欲しいの？」
また、次のことをできるだけ知っておく必要があります。
フィルターの種類、フィルター抵抗、システム抵抗。
8. モーターの選び方は？
モーターはファンに適合する必要があります。
選択する際の考慮事項:
力
スピード
速度調整方式
動作電圧
制御方法
長期にわたる要件
EFU で風速を調整する必要がある場合は、モーターと制御システムのマッチングも考慮する必要があります。
Aili Industrial は独自のモーターを製造し、ファンや制御システムとともに設計しています。これは、機器側での EFU のパラメーターのマッチングにとって実用的に重要です。
9. 扇風機の選び方は？
ファンは主に空気力を生成する役割を果たします。
ファンを選択するときは、次の点を考慮する必要があります。
目標風量＋目標空気圧＋設置スペース
適切なファン ソリューションを決定します。
機器の内部スペースが比較的小さい場合は、ファンのサイズと内部の空気流路の両方を考慮する必要があります。
したがって、EFU のファンの選択は、通常、製品構造全体から独立して決定することはできません。
10. 速度調整は必要ですか?
装置が異なる作業条件下で異なる風量や速度を必要とする場合は、速度調整機能を検討できます。
例えば：
低速動作
通常動作
高速動作
または、機器の制御システムに応じて自動的に調整します。
速度調整が必要な場合は、事前に決定する必要があります。
速度規制範囲、制御信号、制御インターフェース、機器通信方式。
11. 設備制御システムとの連携は必要ですか？
これはカスタム EFU の一般的な要件です。
例えば：
デバイス起動→EFU起動
デバイス停止→EFU停止
または：
設備の稼働状況が変化 → EFUが風速を自動調整
この場合、EFU は独立した空気処理装置であるだけでなく、装置制御システムと連携する必要があります。
Aili Industrial は、自社開発の自動制御システム ソフトウェアおよびハードウェアを開発する生産能力を備えているため、特定のプロジェクト要件に応じて EFU の制御および連携方法を検討できます。
12. 騒音・振動への配慮が必要
EFUを装置内に設置する場合は、騒音や振動にも注意が必要です。
特に：
動作音や機械振動は実機要件に基づいて管理する必要があります。
これには以下が必要です。
モーター、ファン、構造、設置方法
複数の側面を考慮してください。
13. 異業種におけるEFU選定のポイント
半導体装置
焦点を当てる：
クリーン度、風速の均一性、設置スペース、風量、制御方法
太陽光発電装置
焦点を当てる：
風量、風速、ろ過要件と装置構造
リチウム電池設備
焦点を当てる：
風速、風量、濾過要件、装置内部スペース
パネル表示装置
焦点を当てる：
清浄度、気流分布、風量、風速、構造サイズ
SMT装置
焦点を当てる：
設置スペース、製品サイズ、風量、風速、機器連携
自動化装置
焦点を当てる：
サイズ、設置方法、風量、風速、制御インターフェース
14. 標準 EFU またはカスタマイズされた EFU?
機器の設置スペース、風量、フィルタ、制御方式が比較的従来通りであれば、標準仕様をご検討いただけます。
次の条件が存在する場合:
設置高さに制限がある
特別なサイズ
比風量
特定の風速
特殊フィルター
特殊な制御方法
機器連携
特殊な空気入口および出口方向
EFU のカスタマイズを検討できます。
これも、デバイス側 EFU と通常の標準製品との明らかな違いの 1 つです。
15. Aili Industry はどのように EFU をカスタマイズしますか?
EFU のカスタマイズは、単に製品シェルのサイズを変更することではありません。
Aili Industry は複数のコア リンクから照合できます。
モーター
↓
ファン
↓
フィルター
↓
板金構造
↓
制御システム
↓
機械全体の組み立て
これらのリンクはすべて、Aili Industrial 独自の生産システムに属しています。
したがって、顧客が次のように尋ねると、
「装置内の空間は狭いですが、ある程度の風量と風速が必要です。」
製品設計では、次のことを同時に考慮する必要があります。
スペース、ファン、モーター、フィルター、空気流路。
たとえば、超薄型 EFU では、単にケーシングを縮小するのではなく、限られた高さ内で内部コンポーネントとエアフロー チャネルを再配置する必要があります。
16. EFU の選択にはどのような情報が必要ですか?
EFUメーカーに見積や技術確認を依頼する場合は、以下の情報をご用意いただくことをお勧めします。
1. デバイス名
例えば：
半導体装置、太陽光発電装置、装着機など
2. 取付寸法
供給：
長さ×幅×高さ
3. 風量
例えば：
目標風量または風量範囲
4. 風速
例えば：
目標風速または風速範囲
5. フィルタリング要件
例えば：
HEPA、ULPA、またはその他の濾過要件
6. 電源供給
含む：
電圧、周波数など。
7. 管理要件
例えば：
独立した速度調整、機器連携、通信制御など
8. 入口と出口の風向き
装置内部の空気の流れ方向または構造図を提供します。
9. その他の要件
例えば：
超薄型、低騒音、低振動、特殊取付方法など。
通常、機器の図面、設置場所の写真、または 3D 構造資料を提供していただくと、製品のマッチングにさらに有利になります。
17.Aili Industrial EFU製品
Aili Industrial は EFU、FFU、その他の精製装置を生産しており、その生産システムは以下をカバーしています。
モーター、ファン、自動制御システムのソフトウェアとハードウェア、板金、フィルター、および完全な機械アセンブリ。
コアコンポーネントから完全な機械の製造に至るまで、多くの重要なリンクが当社の自社生産によって完成されています。
デバイス側 EFU の場合は、お客様の以下に基づくことができます。
設置スペース、風量、風速、ろ過条件、制御方法、装置構造
製品を設定します。
現在、さまざまなアプリケーション要件に合わせて設計できます。
標準 EFU
超薄型EFU
大風量EFU
デバイスカスタマイズEFU
などの商品企画もございます。
たとえば、機器の内部の高さが制限されているプロジェクトの場合、モーター、ファン、フィルターの厚さ、内部の空気流路に焦点を当てて構造のマッチングを行うことができます。
18. EFU選定のまとめ
EFU の選択は 1 つのパラメータだけを参照することはできません。
より合理的な選択のアイデアは次のとおりです。
設置スペース
↓
風量
↓
風速
↓
フィルター
↓
風圧
↓
モーターとファン
↓
制御方法
↓
機器の設置および連携の要件
↓
EFU計画の決定
標準アプリケーションであれば標準仕様でご利用いただけます。
装置に特殊なサイズ、特殊な風量、風速、または制御要件がある場合は、さらにカスタマイズされた設計が必要です。
19. よくある質問
EFU の選択で最も重要なパラメータは何ですか?
通常は単一のパラメータだけを見るのではなく、設置スペース、風量、風速、フィルタ、風圧、制御方法などを総合的に検討する必要があります。
EFUの風量は大きいほど良いのでしょうか？
不確かな。適切な風量は、機器の実際のニーズに基づいて決定する必要があります。空気量が多すぎると、局所的な空気の流れの状態が変化する場合もあります。
EFU には必ず HEPA が必要ですか?
HEPA を使用するかどうかは、特定の清浄度要件に基づいて決定する必要があります。アプリケーション要件に基づいて、ULPA などの濾過ソリューションも検討できます。
デバイスのサイズに応じて EFU をカスタマイズできますか?
機器の設置スペースや技術要件に応じて、構造とパラメータを適合させることができます。
EFU はどれくらい薄くできますか?
風量、フィルター、モーター、ファン、内部構造などを総合的に判断する必要があります。 Aili Industrialの一部のEFU製品の高さは約70mmに達する場合があり、特定の製品計画が優先されます。
EFUは装置PLCに接続できますか?
対応する制御インターフェイスと通信方法はプロジェクトの要件に応じて設定でき、具体的なニーズは機器制御システムに応じて決定されます。
