Anzahl der Aufrufe: 6879 Autor: Aili Industry Veröffentlichungszeit: 05.10.2026 Quelle: Ai Li Industrial
Die Hauptaufgabe der MAU (Make-up Air Unit) besteht darin, Frischluft von außen einzuführen, sie aufzubereiten und dann in den Reinraum oder Prozessbereich zu leiten, um das durch die Abluft entnommene Luftvolumen zu ergänzen.
Viele Projekte sind im MAU mit primären, mittleren und hocheffizienten Filterabschnitten ausgestattet, und die Partikelkontrolle ist gut, aber die Gasverschmutzung wird nicht behandelt. Gasförmige Schadstoffe in der Frischluft – saure Gase, alkalische Gase, organische Dämpfe und äußere Gerüche – gelangen zusammen mit der Frischluft direkt in den sauberen Bereich oder die Anlage. Wenn diese Komponenten Auswirkungen auf den Prozess oder die Anlage haben, kann die Partikelfiltration allein das Problem nicht lösen.
Aus diesem Grund muss MAU mit einem chemischen Filterbereich ausgestattet sein: um die gasförmige Verschmutzung aus dem Frischlufteinlass zu kontrollieren, anstatt darauf zu warten, dass sie in den Reinraum gelangt, und dann eine Lösung zu finden. Informationen zur spezifischen Auswahllogik finden Sie unter Diskussion darüber , was chemische Filter sind und welche Probleme sie hauptsächlich lösen .
Bevor Sie einen chemischen Filterabschnitt konfigurieren, sollten Sie sich zunächst darüber im Klaren sein, was sich möglicherweise in der Frischluft befindet.
in der Nähe befindliche Emissionsquellen. Industrieparks, Verkehrsadern, Kläranlagen und Chemieunternehmen können gasförmige Schadstoffe in die Atmosphäre abgeben. Der Standort des neuen Luftauslasses und die Umgebung haben direkten Einfluss auf die eingebrachte Schadstoffbelastung. Spezifische Bewertungsmethoden finden Sie unter Die Fabrik befindet sich in der Nähe der Verschmutzungsquelle und es wird darüber diskutiert, wie die Verlegung des Lufteinlasses mit einer chemischen Filterung in Einklang gebracht werden kann.
Jahreszeiten und Windwechsel. Die Schadstoffbelastung kann je nach Windrichtung und Jahreszeit unterschiedlich sein. Berücksichtigen Sie bei der Planung die ungünstigsten Bedingungen oder reservieren Sie Spielraum für Anpassungen.
Erkennungsdaten. Probenahme von Frischlufteinlässen in repräsentativen Zeiträumen zur Bestätigung der Hauptgaskomponenten und Konzentrationsbereiche. Spezifische Methoden finden Sie unter , ob eine Luftprobenahme durchgeführt werden soll, bevor Sie sich für einen chemischen Filter entscheiden . Besprechen Sie
Urteilen Sie nicht allein aufgrund Ihrer Erfahrung. Einige Schadstoffquellen haben keinen offensichtlichen Geruch, haben jedoch Auswirkungen auf bestimmte Prozesse. Inspektionsdaten sind zuverlässiger als sensorische Beurteilungen.
Wo der chemische Filterabschnitt des MAU platziert werden soll, sollten die Systemstruktur und die Umgebungsbedingungen berücksichtigen.
Segmentreihenfolge filtern. Die übliche Reihenfolge ist: anfänglicher Effekt → mittlerer Effekt → chemischer Filterabschnitt → Oberflächenkühler → Heizung/Befeuchtung → hoher Wirkungsgrad. Der Standort des chemischen Filterabschnitts wirkt sich auf dessen Arbeitsumgebung aus.
Vorder- oder Rückseite des Oberflächenkühlers? Die Lufttemperatur vor dem Oberflächenkühler ist hoch und die Luftfeuchtigkeit niedrig; Die Lufttemperatur hinter dem Oberflächenkühler ist niedrig und die Luftfeuchtigkeit hoch, und es können Tröpfchen mitgerissen werden. Einige chemische Medien reagieren empfindlich auf Feuchtigkeit und erfordern möglicherweise zusätzliche Maßnahmen zur Wasserentfernung, nachdem sie in den Oberflächenkühler gegeben wurden. Eine ausführliche Diskussion finden Sie unter Diskussion darüber, ob der MAU-Chemiefilter vor oder nach dem Oberflächenkühler installiert werden soll .
Partikelvorfilterschutz. Der Staub in der Frischluft bedeckt das chemische Medium und verkürzt die Lebensdauer. Durch die Einrichtung einer geeigneten Partikelvorfiltration vor der chemischen Filterung kann die Medienbelastung reduziert werden. Bitte beachten Sie die konkrete Arbeitsteilung Diskussion zur Arbeitsteilung zwischen Chemiefiltern und Primärfiltern .
Wartungskanal. Der Austauschzyklus des chemischen Filterabschnitts unterscheidet sich von dem des Partikelfilterabschnitts und Wartungskanäle müssen während der Entwurfsphase reserviert werden.
Durch das Hinzufügen eines chemischen Filterabschnitts ändert sich der Systemwiderstand, und der Betriebspunkt der gesamten Maschine muss erneut überprüft werden.
Der Widerstand häuft sich. Addieren Sie den Anfangswiderstand und den Endwiderstand der Filter auf allen Ebenen sowie den Widerstand von Oberflächenkühlern, Heizungen, Luftkanälen usw., um den Gesamtwiderstand des Systems zu erhalten. Vergleichen Sie die Lüfterkurve, um zu bestätigen, ob der Betriebspunkt bei der Auslegungsluftmenge akzeptabel ist. Spezifische Abrechnungsmethoden finden Sie unter Diskussion darüber, um wie viel der zusätzliche Widerstand des chemischen Filters den Stromverbrauch des Ventilators erhöht .
Luftmengenverteilung. Wenn die MAU mehrere Bereiche mit Luft versorgt, kann sich die Luftvolumenverteilung jedes Zweigs nach dem Hinzufügen eines chemischen Filterabschnitts ändern. Es ist notwendig, die Öffnung des Zweigluftventils oder die Einstellungsmethode erneut zu überprüfen. Spezifische Auswuchtmethoden finden Sie unter , ob eine Änderung der chemischen Filterung eine erneute Luftmengenbilanzierung erfordert . Besprechen Sie
Abdichten und umgehen. Die Installation und Abdichtung des chemischen Filterabschnitts muss zuverlässig sein. Durch den Rahmenbypass kann unbehandelte Luft am Medium vorbeiströmen, und die Auslasskonzentration nimmt natürlich nicht ab. Spezifische Inspektionsmethoden finden Sie unter Diskussion darüber , wie der Rahmenbypass nach der Installation eines chemischen Filters überprüft werden kann .
Probenahmestellen sind reserviert. Vor und nach dem Filterabschnitt sind Probenahmeöffnungen vorhanden, um die spätere Verfolgung von Änderungen der Auslasskonzentration zu erleichtern.
Die Konfiguration des chemischen Filterabschnitts ist Teil der AMC-Steuerung, aber nicht alles.
Innenquelle. Wenn es im Reinraum zu einer Materialfreisetzung oder Prozessableitung kommt, kümmert sich die MAU um den Frischluftanteil, und die Innenraumfreisetzung muss auch durch zirkulierende Filterung, lokale Absaugung oder Quellenkontrolle verwaltet werden.
Geräteseitiger Schutz. Einige empfindliche Geräte erfordern möglicherweise eine unabhängige lokale Filterung und können sich nicht ausschließlich auf die Frischluftaufbereitung des MAU verlassen. Geräteseitige Anwendungen wie z FFU mit chemischem Filter oder EFU ist mit chemischen Filtern ausgestattet , die je nach Geräteanforderungen separat konfiguriert werden können.
Die Arbeitsteilung im System muss klar sein. Der Umfang der Frischluftaufbereitung, der Zirkulationsfiltration und des Geräteendschutzes sollte bereits in der Planungsphase geklärt werden. An die MAU können nicht alle AMC-Kontrollanforderungen gestellt werden. Bitte beachten Sie die konkrete Arbeitsteilung welche Lüftungssysteme für den Einbau chemischer Filter geeignet sind . Diskussion darüber,
Die Frischluftanlage einer Halbleiterfabrik war ursprünglich nur mit einer Partikelfiltersektion ausgestattet. Nach dem Betrieb wurde festgestellt, dass es in einigen Prozessbereichen zu gasförmigen Verunreinigungen kam.
Die Untersuchung bestätigte, dass sich in der Nähe des Frischlufteinlasses chemische Emissionsquellen befinden. Nachdem die sauren Gase und organischen Dämpfe der Frischluft in den Reinraum gelangten, beeinträchtigten sie einige Prozesse. Das Partikelfiltersystem funktioniert normal, verfügt jedoch über keine Gasverarbeitungsfunktionen.
Anpassungsplan: Fügen Sie der Frischlufteinheit einen chemischen Filterabschnitt hinzu und konfigurieren Sie separate Medien für die erkannten sauren Gase und organischen Stoffe. Die Filtersektion ist vor dem Oberflächenkühler angeordnet, um den Einfluss hoher Luftfeuchtigkeit zu vermeiden. Der Systemwiderstand wurde neu berechnet und der Betriebspunkt des Lüfters wurde als akzeptabel bestätigt. Nach der Anpassung konnte die gasförmige Schadstoffbelastung der Frischluft deutlich reduziert und die Probleme im Prozessbereich gemildert werden.
Dieser Fall veranschaulicht: MAU ist mit einem chemischen Filterabschnitt ausgestattet, um gasförmige Verschmutzungen aus der Frischluft zu beseitigen. involvierend Bei der Auswahl chemischer Kastenfilter von MAU wird empfohlen, dem Lieferanten die Daten zur Frischlufterkennung und die Systembedingungen zur Überprüfung zur Verfügung zu stellen.
Artikel prüfen |
Bestätigen Sie wichtige Punkte |
|---|---|
Frischluftqualität |
Identifizieren Sie die Zusammensetzung und Konzentration des Einlassgases |
Systemstandort |
Überprüfen Sie Feuchtigkeit, Tropfen und Wartungsbedingungen |
Betriebsfähigkeit |
Überprüfen Sie die Überlagerung von Restdruck und Widerstand der Luftmenge |
Umfang des Schutzes |
Unterscheiden Sie externe Eingänge von Innenquellen |
Der Kern des MAU-Bereichs für die chemische Filterung besteht darin, die Eigenschaften der Frischluftverschmutzung, die Systembedingungen und die Schutzziele anzupassen.
Aili Industrial verfügt über unabhängige Fertigungskapazitäten für Filter, Motoren, Lüfter, Steuerungssysteme und Blechverarbeitung und kann chemische Filterproduktserien und unterstützende Luftversorgungsgeräte liefern. Bei MAU-Projekten können Frischlufterkennungsdaten, Luftvolumen, Position des Filterabschnitts und Ersatzraum kombiniert werden, um die Überprüfung des Medientyps und der strukturellen Konfiguration zu unterstützen. Wenn der Filter mit MAU, FFU, EFU und anderen Geräten kombiniert wird, können Widerstand, Schnittstelle und Wartungsmethoden einheitlich bestätigt werden.
Verwandte Produkte:Produktreihe chemischer Filter、Chemischer MAU-Kastenfilter、FFU wird mit chemischem Filter geliefert . Geben Sie bei Ihrer Anfrage Frischlufterkennungsdaten, Systembedingungen und Schutzanforderungen an, um die geeignete Konfiguration des Filterabschnitts zu bestätigen. Die konkrete Auswahl erfolgt vorbehaltlich der durch das Projekt bestätigten technischen Unterlagen und Prüfergebnisse.