어떤 정밀 전자 장치 및 센서 포장이 HEPA 또는 ULPA여야 합니까?

포장 작업장은 일반적으로 전반적인 청결도 수준을 가지고 있지만 실제로 수율을 결정하는 것은 전체 작업장의 평균 입자 농도가 아니라 주요 작업대에서 수십 센티미터 이내의 공기 상태인 경우가 많습니다.。

센서 칩, 광학 창, 금 와이어 본딩 지점 및 MEMS 구조는 작업장의 다른 영역보다 입자에 훨씬 더 민감합니다. 몇 미크론의 입자가 접합 영역에 떨어지면 가상 납땜이나 단락이 발생할 수 있습니다. 광학 센서 표면에 떨어지면 교정 결과에 직접적인 영향을 미칠 수 있습니다. 따라서 선택의 첫 번째 단계는 '포장 작업장에서 HEPA 또는 ULPA를 사용해야 하는지'를 묻는 것이 아니라 '어느 작업 스테이션, 어떤 입자, 얼마나 많은 위험'을 묻는 것입니다.

먼저 실제로 보호가 필요한 위치를 식별하십시오.

정밀 전자 장치 및 센서 패키징에는 다양한 공정이 포함되며 입자 영향 정도는 매우 다양합니다.

다이 본딩 및 와이어 본딩 : 칩 표면과 패드가 직접 노출되어 본딩 인터페이스에 떨어지는 입자가 연결 강도에 영향을 미칩니다. 이러한 워크스테이션은 일반적으로 국부적인 청소 및 보호가 필요합니다.

광센서 포장 : 렌즈, 필터, 포토다이오드 표면에 입자가 오염되면 비정상적인 암전류나 결상 불량이 발생할 수 있습니다. 이러한 응용 분야는 서브미크론 입자에도 민감합니다.

MEMS 및 박막 센서 : 이동 가능한 구조물이나 박막 영역은 입자 접착으로 인해 실패할 수 있으므로 입자에 대한 더 높은 제어가 필요합니다.

포장 후 검사 및 테스트 : 제품이 포장된 경우 입자의 영향은 상대적으로 작지만 프로브 카드 및 테스트 소켓 근처에는 여전히 청결에 대한 요구 사항이 있습니다.

모든 공정에 동일한 등급이 필요한 것은 아닙니다. 전체 포장 라인을 최고 수준으로 구성하는 데는 비용이 많이 들고 반드시 주요 문제가 해결되는 것은 아닙니다. 보다 합리적인 접근 방식은 작업대를 분류하고 노출된 영역에 자원을 집중시키는 것입니다.

HEPA와 ULPA 중에서 선택하는 방법

지역 공기 공급 장치에서는 HEPA 및 ULPA가 일반적인 옵션입니다. 선택은 주로 입자 감도 및 공정 요구 사항을 기반으로 합니다.

H14 고효율 필터 : 0.3 미크론 입자의 여과 효율에 대한 명확한 요구 사항이 있습니다. 합리적인 공기 공급량과 공기 흐름 범위로 주요 워크스테이션에 로컬 100레벨 환경을 구축할 수 있습니다. 대부분의 정밀 전자 포장 스테이션에서 주 제어 장치가 미크론 크기 입자인 경우 일반적으로 H14가 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 특정 제품을 참조할 수 있습니다. HEPA 고효율 필터 에 대한 설명입니다 .

U15 또는 U16 초고효율 필터 : 프로세스가 0.1 미크론 크기 입자에 민감하거나 프로젝트 승인 기준에서 분명히 더 낮은 침투를 요구하는 경우 ULPA를 고려할 수 있습니다. 광학 센서, 특정 MEMS 패키지 및 결함률 요구 사항이 높은 시나리오가 사용될 수 있습니다. 제품 유형은 다음을 참조할 수 있습니다. ULPA 초고효율 필터。

하지만 성적만이 유일한 변수는 아닙니다. 잘 밀봉된 H14 로컬 공기 공급 장치의 실제 보호 효과는 제대로 밀봉되지 않은 U16보다 더 나을 수 있습니다. 기류 범위, 설치 인터페이스 및 유지 관리 방법은 모두 등급과 함께 고려해야 합니다.

지역 공기 공급을 구성하는 방법

정밀 전자 포장을 위한 주요 워크스테이션은 일반적으로 전체 클린룸에 의존하는 대신 로컬 공기 공급을 사용합니다.

FFU 형태 : 워크스테이션 상부에 설치공간이 있는 경우 사용 가능 FFU 팬 필터 장치는 부분적인 단방향 흐름 범위를 제공합니다. 필터 요소는 입자 제어 목적에 따라 HEPA 또는 ULPA일 수 있습니다.

EFU 형태 : 보호 영역이 기기 내부에 있거나 설치 공간이 제한적인 경우 사용 가능 EFU 장비측 팬 필터 유닛 . 이러한 유형의 적용은 장비 구조, 움직이는 부품 및 공기 공급 경로를 함께 고려해야 합니다. 필터 요소의 두께와 분해 및 조립 방법은 등급보다 솔루션의 타당성에 영향을 미치는 경우가 많습니다.

효율적인 공기 공급 출구 형태 : 중앙 집중식 공기 공급 시스템의 최종 공기 공급 출구에는 다음과 같은 장착이 가능합니다. HEPA/ULPA 공기 필터는 워크스테이션의 공기량에 따라 선택됩니다.

형태에 관계없이 밀봉 및 누출 감지 기능이 마련되어 있어야 합니다. 지역공기공급의 가치는 보호지역에 깨끗한 공기를 정확하게 전달하는 것입니다. 인터페이스에서 누출이 발생하고 필터링되지 않은 공기가 혼합되면 레벨이 아무리 높아도 손상될 수 있습니다.

업그레이드나 리모델링 시 확인해야 할 사항

원래 계획은 H14를 사용하는 것이었지만 현재 ULPA로 업그레이드를 고려하고 있다면 사전에 확인해야 할 몇 가지 사항이 있습니다.

팬 마진. ULPA의 저항은 일반적으로 동일한 크기의 H14보다 높으며 업그레이드 후 공기량이 감소할 수 있습니다. 목표 풍량에서 새 필터 요소의 저항 데이터를 가져와 팬 곡선에 따라 작동점을 계산해야 합니다.

설치 공간. 새 필터 엘리먼트의 두께나 구조가 원래 제품과 다를 수 있습니다. 기존 박스에 장착이 가능한지, 출입문을 닫을 수 있는지, 교체 경로가 원활한지 확인이 필요합니다.

봉인된 인터페이스. 개스킷이나 액체 탱크의 치수가 일치하는지 외관뿐만 아니라 품목별로 확인해야 합니다. 밀봉 구조와 관련된 문제는 관련 인터페이스 검증 방법을 참조하십시오.

누출 감지 방법. U15와 U16의 판단 한계는 H14보다 엄격합니다. 현장 누출 감지 장비의 측정 범위와 스캐닝 방법은 새로운 수준의 요구 사항을 충족할 수 있어야 합니다.

검증 과정은 생략할 수 없습니다. 업그레이드 후에는 프로젝트 요구 사항에 따라 공기량을 다시 측정하고, 누출 감지를 수행하고, 보호 구역의 입자 농도를 확인해야 합니다. 업그레이드 전의 운영 데이터는 비교 기준으로 유지되어야 합니다.

프로젝트 판단 예

특정 센서 포장 라인의 전체 클린룸은 클래스 1,000이지만 광학 창 장착 스테이션에서 불량 입자가 가끔 발생합니다.

조사 결과 워크스테이션은 장비 내부에 위치했고 그 위에서 기계 팔이 움직이며 전체 클린룸의 공기 흐름이 워크스테이션을 효과적으로 덮을 수 없는 것으로 나타났습니다. 원래 계획에서는 독립적인 여과 없이 장비 케이스의 공기 공급 포트만 열었습니다.

이 경우 해결책은 전체 클린룸을 업그레이드하는 것이 아니라 작업 스테이션에 로컬 공기 공급 장치를 추가하는 것입니다. 입자 감도에 따라 H14 또는 U15 필터 요소를 선택할 수 있으며 장비의 내부 구조에 따라 공기 덕트 및 환기 경로를 설계할 수 있습니다. 설치 방법은 장비의 움직이는 부분 및 유지 관리 접근과 함께 확인되어야 합니다. 특정 구성을 결합할 수 있습니다. EFU 장비 끝단의 팬 필터 유닛 구조 방안에 대한 논의 .

선택 및 승인 체크리스트

Aili Industrial의 포장 클린 패키지 정보

정밀 전자 장치 및 센서 패키징을 위한 클린 솔루션의 경우 단일 제품에 문제가 있는 것이 아니라 워크스테이션 구조, 공기 흐름 경로 및 여과 수준을 조정하는 데 어려움이 있는 경우가 많습니다.

Aili Industrial의 제조 시스템은 필터, 모터, 팬, 제어 시스템 및 전체 기계 조립을 포괄하며 다양한 등급의 HEPA/ULPA 제품과 지원 공기 공급 장비를 제공할 수 있습니다. 필터는 다음과 함께 사용할 수 있습니다. FFU 팬 필터 장치、EFU 장비 엔드 팬 필터 유닛은 풍량, 저항 및 설치 인터페이스를 함께 검사하여 풍량 불일치 또는 워크스테이션 수정 후 설치 불가 현상을 줄입니다.

문의 시 여과 수준과 공기 공급 형태의 조합을 결정하는 데 도움이 되는 워크스테이션 구조, 입자 제어 대상, 사용 가능한 공간 및 허용 방법을 제공하십시오. 구체적인 성능은 제품 기술 데이터 및 프로젝트 승인 결과에 따라 달라질 수 있습니다.