Количество просмотров: 2799 Автор: Aili Industry Время выпуска: 19.05.2027 Источник: Ай Ли Индастриал
Могут ли подсчет частиц и онлайн-мониторинг заменить сканирование обнаружения утечек ULPA?
фильтров ULPA подсчет частиц или онлайн-мониторинг не могут автоматически заменить сканирование обнаружения утечек. При тестировании Концентрация в окружающей среде отражает состояние частиц в точке измерения, а сканирующее обнаружение утечек используется для выявления локальных проблем с целостностью фильтрующего элемента и системы установки. Онлайн-мониторинг сообщает вам, «сколько частиц находится в данный момент», а сканирование обнаружения утечек сообщает вам, «где находится эта точка утечки». Первое — это точечное измерение, а второе — сканирование площади; первый находит отклонения, а второй определяет причину. Они решают разные проблемы и не могут заменить друг друга. Айли ИндустрияБлок вентиляторного фильтра ФФУ иВ схеме управления вентиляторным фильтрующим блоком на стороне оборудования EFU данные онлайн-мониторинга и записи обнаружения утечек управляются отдельно: данные мониторинга используются для предупреждения о тенденциях, записи обнаружения утечек используются для проверки целостности и поддержки.Система компьютерного группового контроля ФФУ может выдавать два типа данных одновременно, но не заменит заключения течеискания показаниями контроля.
1. Четкость объектов измерения: измерение точек и сканирование поверхности решают различные проблемы.
Онлайн-датчики контролируют ограниченные места и периоды времени, а на показания также влияют поток воздуха, активность и отбор проб; возможно, он не сможет обнаружить небольшие локальные утечки.
Отверстие для отбора проб онлайн-датчика частиц обычно располагается в фиксированном положении, и концентрация частиц вблизи этого положения контролируется. Если точка утечки находится далеко от отверстия для отбора проб, показания датчика могут оставаться нормальными, даже если имеется локальная утечка. Сканирующее обнаружение утечек означает, что датчик сканирует по точкам поверхность фильтра и поверхность уплотнения, чтобы найти место локальной утечки. Айли ИндустрияПри доставке сверхвысокоэффективного фильтра ULPA можно объяснить метод обнаружения утечек и охват модели, и участник проекта может соответствующим образом организовать проверку целостности вместо использования данных мониторинга окружающей среды для определения состояния фильтрующего элемента. Взаимосвязь между уровнями и требованиями фильтрации можно найти вСравнение уровня чистоты ISO。
2. Пусть разные тесты дополняют друг друга: используйте тенденции для поиска аномалий, а затем проверяйте полноту
Используйте тенденции для выявления аномалий, а затем при необходимости проверяйте объем воздуха, источники загрязнения и целостность установки. Тот факт, что показания первичных частиц низкие, не означает, что обнаружение утечек, указанное в проекте, может быть опущено.
Преимущество онлайн-мониторинга заключается в непрерывности и тенденции: можно обнаружить, что концентрация частиц на определенной территории медленно возрастает в течение нескольких дней или недель, что указывает на возможное накопление пыли в фильтре, старение уплотнений или изменение источников загрязнения. После обнаружения неисправности используйте сканирование для обнаружения утечек, чтобы подтвердить целостность, и проверку объема воздуха, чтобы подтвердить рабочую точку и определить причину. Айли ИндустрияСистема управления компьютерной группой ФФУ связывает данные онлайн-мониторинга, данные об объемах воздуха и записи об обнаружении утечек по точкам. Если тенденция является аномальной, можно быстро получить полные данные о соответствующих точках, чтобы указать направление для расследования. Информацию о совместном методе мониторинга и обнаружения утечек см.HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору。
3. Альтернативные решения должны иметь соответствующую основу: что делать, если конструкцию невозможно отсканировать
Если структуру невозможно отсканировать, следует оценить возможности и охват метода в соответствии с проектом и спецификациями, а также объяснить ограничения, чтобы не переименовывать обычный онлайн-мониторинг в проверку целостности.
Это правда, что внутренняя структура некоторого оборудования затрудняет проведение планового сканирования и обнаружения утечек. В этом случае можно рассмотреть и другие методы проверки целостности, но применимость и охват метода необходимо объяснить и четко зафиксировать в проектных документах. Айли ИндустрияНестандартные фильтры ULPA иВ проектах с ограниченным пространством, таких как ультратонкие EFU , осуществимость метода обнаружения утечек будет оцениваться на основе конструкции оборудования. Если обычный путь сканирования ограничен, решения могут быть предложены с точки зрения резервирования интерфейса обнаружения, частичной разборки или альтернативных методов проверки, а не использования данных онлайн-мониторинга в качестве полного заключения. Ограничения на условия внутреннего тестирования оборудования см.Часто задаваемые вопросы по EFU и техническая поддержка。
4. Если точка измерения находится далеко от точки утечки кадра, счетчик все равно может быть низким.
Показатели могут по-прежнему быть низкими, если точки измерения находятся далеко от утечек кадра, и интерфейс следует подтвердить, указав тестирование целостности, а не просто перемещая датчик для поиска хороших результатов. На диффузию частиц местных утечек влияет направление воздушного потока. Если отверстие для отбора проб расположено с наветренной стороны от утечки или в мертвой зоне воздушного потока, показания могут не отражать наличие утечки.
Айли ИндустрияОбнаружение утечек сверхвысокоэффективного фильтра ULPA охватывает всю площадь в зависимости от поверхности фильтра и уплотняющей поверхности и не полагается на одну точку измерения для оценки целостности;Расположение точек онлайн-мониторинга компьютерной системы управления FFU может быть спроектировано на основе направления воздушного потока и схемы процесса, но оптимизация точек мониторинга не может заменить требования к покрытию при обнаружении утечек установки. Информацию о взаимосвязи между расположением точек мониторинга и зоной обнаружения утечек см.Часто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA。
5. Похожие вопросы и ответы
Доказывает ли увеличение количества онлайн-частиц, что ULPA нарушена?
Нет, такие причины, как персонал, загрязнение процесса, поток воздуха и инструменты, также должны быть исследованы.
Если данные экологического мониторинга достоверны, нужно ли мне еще выполнять обнаружение утечек в установке?
нуждаться. Мониторинг окружающей среды отражает концентрацию в точке измерения, а обнаружение утечек установки проверяет целостность уплотнения. Это две проверки на разных уровнях.
Что делать, если конструкцию не удается просканировать на герметичность?
Применимость и охват альтернативных методов должны быть оценены в соответствии с проектами и спецификациями, а также должны быть объяснены ограничения. Данные онлайн-мониторинга не могут быть напрямую использованы в качестве заключения о полноте.
6. Статьи по теме
Часто задаваемые вопросы и руководство по выбору сверхвысокоэффективного фильтра ULPA
Система управления компьютерной группой ФФУ
Часто задаваемые вопросы по EFU и техническая поддержка
HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору
7. Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле
Проверить элементы |
Проверьте ключевые моменты |
|---|---|
Объект измерения |
Различные варианты использования точечного мониторинга и сканирования территорий |
Охват мониторинга |
Связь между расположением точки отбора проб и направлением воздушного потока |
Координация данных |
Связь между предупреждением о тенденциях и обнаружением целостности |
альтернатива |
Применимые основания и ограничения, когда структура ограничена |
Проверить независимость |
Данные мониторинга не заменяют выводы об обнаружении утечек установки. |
8. Подбор продуктов и техническая поддержка от Aili Industrial.
Айли ИндустрияБлок вентиляторного фильтра ФФУ ивентиляторным фильтрующим блоком на стороне оборудования EFU данные онлайн-мониторинга и записи обнаружения утечек управляются отдельно.В схеме управления Компьютерная система управления группой ФФУ одновременно отображает данные мониторинга, данные об объеме воздуха и записи обнаружения утечек и соотносит их по точкам. Если тренд ненормальный, можно получить полные данные соответствующей точки.Сверхвысокоэффективное обнаружение утечек фильтра ULPA охватывает всю поверхность фильтра и поверхность уплотнения и не полагается на одну точку измерения для определения целостности;Нестандартные фильтры ULPA иДля проектов с ограниченным пространством, таких как ультратонкие EFU , осуществимость метода обнаружения утечек может быть оценена на основе структуры оборудования, а решения могут быть предложены на основе резервирования интерфейса обнаружения, частичной разборки или альтернативных методов проверки. Предоставляйте цели процесса, установочные чертежи, условия эксплуатации и требования приемки, а также можете дополнительно сообщать стандартные спецификации ULPA, нестандартные интерфейсы, образцы и соответствие партий. Конкретные параметры и диапазон испытаний основаны на подтвержденной модели и технической документации.